火焰水解蒸鍍裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種火焰水解蒸鍍裝置，更詳細地說，涉及一種能夠防止蒸鍍物飛散、提高蒸鍍效率的火焰水解蒸鍍裝置。
【背景技術】
[0002]一般地說，光通信系統中使用光耦合器、光開關，WDM/FDM等各種光部件，為了制作這種光部件，需形成優質的光波導膜。
[0003]用于光通信的光波導及平面型光波導元件為使用在如下情況的、在光通信系統中起到重要作用的元件:將從半導體激光發出的光線有效地結合到光纖維而最小化光損失，或者使得具有不同波長的光信號多路復用(multiplexing)而傳送到一個光纖維，將通過光纖維傳送的(多個渠道的)光信號分離為各自不同的波長，或與被動光元件之間的有效全士么云口口 ο
[0004]尤其，在開發根據波長多路復用的lOGbps以上的超高速光通信系統時，對系統的性能產生絕對影響，屬于用于系統構成的、必需的核心部件。
[0005]為了制作起到這種重要功能的光波導或波導型光元件，必需形成具有與光纖維相似的折射率分布及結構的波導膜，為此，必需形成由Si02構成的金屬保護(Clad)層及摻雜Ge02，P205，B203，Τ?02的核心(Core)層構成的二氧化硅厚膜。
[0006]作為這種二氧化娃厚膜(silica Thick Films)的形成方法，公開有使用了火焰水解蒸鍍(Flame Hydrolysis Deposit1n)的方法。火焰水解蒸鍍方法是，根據供應到吹管的氫及氧的反應而形成火焰，對注入到該吹管的SiCl4& GeCl 4等化合物進行火焰水解蒸鍍，從而在晶片上生成Si02及其他氧化物摻雜物質的方式。
[0007]S卩，對作為氣體的反應化合物進行火焰水解蒸鍍，從而生成固體的光波導物質并在晶片上進行蒸鍍的方法。
[0008]利用這種火焰水解來蒸鍍厚膜的裝置已記載于韓國授權專利10-0221550號等。
[0009]記載于上述授權專利的火焰水解蒸鍍裝置的基本構成包括:吹管，用于火焰水解蒸鍍；臺子，用于變更吹管與晶片的相對位置；轉盤，用于使晶片旋轉；及排氣部，用于排氣。
[0010]但是，用于火焰水解蒸鍍的吹管及排氣部是相互隔離的，因此，反應生成物(即固體粒子)不僅飛散到晶片的上部，還飛散到邊緣部，浪費了材料并增加了制造費用，同時，裝置受到飛散的生成物的污染，在執行反復的蒸鍍工藝之前，需清洗該裝置，導致生產率下降。
[0011]并且，針對被蒸鍍的反應物的厚度均勻性而言，根據吹管的火焰水解蒸鍍能力、供應的氣體量、晶片的旋轉速度、排氣量等多種變量的調整而實現，但排氣部被隔離而位于吹管的相反面，因此不易于調整排氣量。
[0012]同時，吹管因火焰的發生等原因，其壽命比其他部件短，更換時，需更換整個吹管，因此會增加費用，在更換吹管的時間內，工藝會停止而導致生產率的下降。
[0013]同時，現有的吹管因用于發生火焰的燃燒氣體及反應氣體由相同的路徑流入，在供應的氣體被混合的狀態下進行處理，因此反應率較低。
[0014]并且，現有的火焰水解蒸鍍裝置一次只能制作一個基板，收率(Yield)較低，不利于大量生產，發生根據高溫作業的轉臺16的熱變形或根據熱膨脹的光元件的翹曲等，導致不良率較高。
【實用新型內容】
[0015](要解決的技術問題)
[0016]考慮到所述問題的本實用新型所要解決的技術問題是提供如下的一種火焰水解蒸鍍裝置:能夠防止生成物的飛散而減少材料的浪費，能夠進行連續工藝。
[0017]同時，本實用新型所要解決的另一技術問題是提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置:可細微地調整排氣量而能夠確保被蒸鍍的厚膜的厚度均勻性。
[0018]并且，本實用新型所要解決的又一技術問題是提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置:能夠延長主要部件即吹管的壽命，能夠劃分氣體的供應路徑而易于火焰的產生，能夠提尚反應率。
[0019]并且，本實用新型提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置:能夠同時處理多個基板并防止轉盤的熱變形。
[0020](解決問題的手段)
[0021]用于解決如所述的技術問題的本實用新型的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，作為通過吹管產生火焰并進行加水分解反應氣體來生成生成物而蒸鍍在晶片上的火焰水解蒸鍍裝置，所述吹管通過多個被分開的分歧管而被供應所述反應氣體及用于生成所述火焰的燃燒氣體，吹管下端的外側與拆卸式的保護管結合而能夠選擇性地僅更換所述保護管。
[0022]根據本實用新型一實施例的的火焰水解蒸鍍裝置，作為通過吹管產生火焰并加水分解反應氣體從而生成生成物蒸鍍在晶片上的火焰水解蒸鍍裝置，所述吹管通過多個被分開的分歧管而被供應所述反應氣體及用于生成所述火焰的燃燒氣體，吹管下端的外側與拆卸式的保護管結合而能夠選擇性地僅更換所述保護管。
[0023]優選地，所述吹管包括:多個噴射管，各自的上部側相互連接，剖面為同心圓，下端是開放的；及多個分歧管，選擇性地配置于所述多個噴射管，分別將所述反應氣體及所述燃燒氣體供應到所述噴射管。
[0024]優選地，在所述吹管的下端外側配置飛散防止部，所述飛散防止部的一部分連接到排氣管而排出所述飛散防止部內的空氣。
[0025]優選地，所述飛散防止部，包括:飛散防止引導部，上端配置用于插入所述吹管的下端部的插入口，下部是開放的；及管道部，從所述飛散防止引導部的上部一部分向上延長，其末端連接到所述排氣管。
[0026]優選地，火焰水解蒸鍍裝置還包括:載入器，使所述吹管進行水平往復運動；及轉盤，在上面具備收容所述晶片的多個袋，根據馬達旋轉。
[0027]優選地，火焰水解蒸鍍裝置還包括:水平移動部，在上面配置收容所述晶片的多個袋，在所述吹管的下方，相對于所述吹管而向水平方向進行相對運動。
[0028]根據本實用新型的另一實施例的火焰水解蒸鍍裝置包括:傳動裝置(112)，通過電源的供應而驅動；驅動軸(114)，可聯動地連接到所述傳動裝置(112);轉臺(116)，固定結合到所述驅動軸(114)的上端，其上面形成向圓周方向安置晶片(124)的晶片槽(122)，在該晶片(124)的下部，以緊貼的狀態設置加熱器(128);機器人(152)，設有為了形成二氧化硅波導厚膜而向所述轉臺(116)的晶片(124)發射反應物的吹管(170)及用于排除所述吹管170發射反應物時產生的不純物的排氣線夾具(172)，與轉臺(116)平行地進行水平往復運動；升下降工具(130)，使由所述吹管(170)發射反應物而形成二氧化硅波導厚膜的晶片(124)自動地升下降；電源供應工具，向設置于所述轉臺(116)的下部的加熱器(128)供應電源；及排氣風門(178)，用于調整通過所述排氣線夾具(172)排出的排氣量。
[0029]優選地，所述升下降工具(130)，包括:杠桿(132)，其一端緊貼晶片(124)底部；桿(134)，與杠桿(132)的另一端固定、結合；凸輪(136)，根據電氣性信號而旋轉而使所述桿(134)升下降。
[0030]優選地，所述排氣風門(178)，通過聚四氟乙烯撓性軟管(180)連接到排氣線夾具(172)，其前端側設有壓力傳感器(182)，包括馬達(184)，馬達(184)根據由所述壓力傳感器(182)施加的信號而調整閥(186)的旋轉量，從而調整排氣量。
[0031]優選地，從所述轉臺(116)的晶片槽(122)到驅動軸(114)的下端部為止，形成了真空通道(126)。
[0032]優選地，所述機器人(152)被設置到腔室殼(150)側面。
[0033]優選地，所述機器人(152)通過支架(156，158，160)而直接粘貼到基底板(162)，能夠在與轉臺(116)的上面平行的線上進行往復運動。
[0034]優選地，用于