一種等離子體物理面控制系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種控制系統，具體涉及一種等離子體物理面控制系統，屬于磁控濺射鍍膜領域。
【背景技術】
[0002]磁控濺射鍍膜膜層均勻性直接影響著鍍膜產品質量，具體表現為產品透過率不均勻，鍍層顯色差，磁控濺射鍍膜技術一直被靶芯磁場強度設置不均勻，濺射靶材厚度和原料的變化等原因導致等離子體密度發生變化和不均勻所困擾，為解決這一技術難題，德國人實用新型了等離子體密度控制法(PEM)，由于該方法投資成本高，其纖維探頭在等離子體內容易被鍍層污染，所以很難推廣，目前國內磁控濺射鍍膜線大部分在采用破空調控等離子體物理面的方法，這種方法由于破空而增加了抽氣時間，而且未必一次調控到位，二次破空的幾率也很多，這種調控方法不同程度提高了生產成本。
【實用新型內容】
[0003](一)要解決的技術問題
[0004]為解決上述問題，本實用新型提出了一種等離子體物理面控制系統，在真空狀態下直接由電腦設置，伺服驅動傳動輸入，蛇形鏈接的不銹鋼片按設置坐標點產生位移來調控等離子體物理面，從而達到濺射鍍膜膜層均勻的目的。
[0005](二)技術方案
[0006]本實用新型的等離子體物理面控制系統，包括一組Y軸伺服驅動系統、兩組X軸伺服驅動系統、兩組型號相同的魚鱗屏蔽；所述魚鱗屏蔽安裝于孿生靶前的兩側基本擋板上；所述魚鱗屏蔽包括相互鏈接的十四片單面鱗片及基本擋板；所述單面鱗片安裝于孿生靶前的兩側基本擋板上；所述Y軸伺服驅動系統包括Y軸伺服電機、Y軸滑杠及Y軸螺旋機構；所述X軸伺服驅動系統包括X軸伺服電機、X軸鱗片推動桿、X軸一字齒條和X軸傳動桿；
[0007]所述魚鱗屏蔽通過X軸位移推拉桿鏈接軸孔與X軸鱗片推動桿連接；所述X軸鱗片推動桿通過咬合柱與X軸一字齒條連接；所述X軸一字齒條通過X軸主傳動齒輪與X軸傳動桿嚙合；所述X軸傳動桿安裝于Y軸滑杠內部，所述X軸傳動桿的一端通過磁流體對接螺母與X軸伺服電機連接；x軸傳動桿經過磁流體密封與X軸伺服電機連接的一端裝有X軸主傳動齒輪帶動X軸一字齒條，從而帶動X軸鱗片推拉桿使得魚鱗屏蔽進行橫向坐標位移；所述X軸伺服電機安裝于Y軸滑杠上方；所述Y軸滑杠通過X軸一字齒條固定架與Y軸滑杠導航桿上的直線軸承對接；所述Y軸滑杠上安裝有Y軸滑杠密封件；所述Y軸滑杠通過Y軸螺母橫桿對接方形法蘭與Y軸螺旋機構固連接；所述Y軸螺旋機構包括Y軸螺桿和Y軸螺母橫桿；所述Y軸螺桿活動安裝于Y軸螺桿行程固定架；所述Y軸伺服電機設置于Y軸螺桿上方，Y軸螺桿上端安裝的Y軸伺服電機傳動使得Y軸螺桿上下位移，從而聯動兩個Y軸滑杠作同步上下位移。
[0008]進一步地，所述每個單面鱗片的連接點處安裝有一 X軸鱗片推動桿；所述魚鱗屏蔽上設置有十五個對接坐標點和十五個位移坐標點。
[0009]再進一步地，所述魚鱗屏蔽由1mm蛇形鏈接的不銹鋼片制成。
[0010]進一步地，所述X軸鱗片推動桿上設置有推拉桿動態鎖定滑道；所述推拉桿動態鎖定滑道與基本擋板上的導航軸動態鎖定。
[0011]進一步地，所述X軸一字齒條固定架包括X軸一字齒條拖輪、X軸一字齒條抗輪、軸承及Y軸滑杠與導航桿直線軸承對接方形法蘭。
[0012]進一步地，所述Y軸滑杠密封件包括密封體蓋，及設置于密封體蓋下方的銅套、軸封、雙真空抽氣孔和0型金屬圈；所述銅套設置于軸封的下方；所述0型金屬圈設置于雙真空抽氣孔內側。
[0013]進一步地，所述Y軸滑杠與Y軸滑杠導航桿設置于基本擋板后側。
[0014]進一步地，所述X軸鱗片推動桿上設置有X軸一字齒條咬合孔及鱗片鏈接軸孔。
[0015](三)有益效果
[0016]與現有技術相比，本實用新型的等離子體物理面控制系統，兩組魚鱗屏蔽分別安裝在孿生靶前的兩側基本擋板上，兩組魚鱗屏蔽完全對稱，每片坐標點與對稱面準確對應，當Y軸伺服驅動時兩側同步對應魚鱗屏蔽坐標點，當兩個X軸伺服驅動時，相對應的兩個魚鱗屏蔽坐標點做同步反向位移，通常在測得鍍膜工藝片坐標點透過率值后，根據參數值設定對應點之間的物理面，把設定的模擬坐標點輸入電腦控制系統Y軸伺服驅動使Y軸和X軸開始動作，把每個魚鱗屏蔽坐標點移動到模擬的新坐標點，實現了通過更新坐標點使魚鱗屏蔽產生位移達到改變濺射物理面之目的。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型的魚鱗屏蔽的結構示意圖。
[0018]圖2是本實用新型的X軸鱗片推動桿的結構示意圖。
[0019]圖3是本實用新型的X軸伺服驅動的剖視結構示意圖。
[0020]圖4是本實用新型的X軸一字齒條的結構示意圖。
[0021]圖5是本實用新型的Y軸螺旋機構的剖視結構示意圖。
[0022]圖6是本實用新型的Y軸滑杠密封件的結構示意圖。
[0023]圖7是本實用新型的Y軸滑杠導航桿的結構示意圖。
[0024]附圖中的零部件標注為:1-單面鱗片，2-基本擋板，3-Y軸伺服電機，4-Y軸滑杠，5-X軸伺服電機，6-X軸鱗片推動桿，7-X軸一字齒條，9-X軸位移推拉桿鏈接軸孔，10-咬合柱，11-磁流體對接螺母，12-Y軸滑杠導航桿，13-直線軸承，14-Y軸螺母橫桿對接方形法蘭，15-Y軸螺桿，16-Y軸螺桿行程固定架，17-推拉桿動態鎖定滑道，18-X軸一字齒條拖輪，19-X軸一字齒條抗輪，20-軸承，21-Y軸滑杠與導航桿直線軸承對接方形法蘭，22-密封體蓋，23-銅套，24-軸封，25-雙真空抽氣孔，26-0型金屬圈，27-X軸一字齒條咬合孔，28-鱗片鏈接軸孔，29-X軸主傳動齒輪。
【具體實施方式】
[0025]如圖1至圖7所示的等離子體物理面控制系統，包括一組Y軸伺服驅動系統、兩組X軸伺服驅動系統、兩組型號相同的魚鱗屏蔽；所述魚鱗屏蔽包括相互鏈接的十四片單面鱗片1及基本擋板2 ;所述單面鱗片1安裝于孿生靶前的兩側基本擋板2上；所述Y軸伺服驅動系統包括Y軸伺服電機3、Y軸滑杠4及Y軸螺旋機構；所述X軸伺服驅動系統包括X軸伺服電機5、X軸鱗片推動桿6、X軸一字齒條7和X軸傳動桿(未圖不)；
[0026]所述魚鱗屏蔽通過X軸位移推拉桿鏈接軸孔9與X軸鱗片推動桿6連接；所述X軸鱗片推動桿6通過咬合柱10與X軸一字齒條7連接；所述X軸一字齒條7通過X軸主傳動齒輪29與X軸傳動桿(未圖示)嚙合