一種用于硅片的噴砂器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于硅片的噴砂器。
【背景技術】
[0002]硅片在生產過程中，將硅錠切割成硅片后部分硅片可能需要進行噴砂處理，以利于硅片的后續處理。
[0003]現有技術中沒有專門針對硅片進行噴砂處理的裝置，由于硅片生產過程中可能并不需要對所有硅片進行噴砂，因此，現有技術中對硅片進行噴砂時均在生產現場直接進行，硅片噴砂處理過程中砂料回收率低，并且，由于噴砂時沒有防護措施，硅片的噴砂過程對環境影響大。現有技術中有采用其它材料的噴砂裝置對硅片進行噴砂處理，但是現有技術中的噴砂裝置需要手工打開門體將硅片放入裝置內進行噴砂，操作十分不方便。
【發明內容】
[0004]本實用新型提供的一種用于硅片的噴砂器，旨在克服現有技術中噴砂裝置操作不方便的不足。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案:一種用于硅片的噴砂器，包括箱體，所述箱體內設有將箱體分為上腔和下腔的隔板，所述隔板上開設有排砂口，所述箱體上開設有取放窗口，所述箱體上還開設有觀察窗口，所述取放窗口和觀察窗口均與上腔相通，所述箱體上還固定有封閉觀察窗口的亞克力板，所述亞克力板通過固定螺釘固定在箱體上，所述箱體上設有封閉取放窗口的密封板，所述密封板滑動連接在箱體上，所述箱體上固定有滑軌，所述滑軌上開設有與密封板配合的滑槽，所述滑槽內填充有潤滑脂，所述箱體上還固定有驅動密封板滑動的絲杠，所述密封板上固定有與絲杠配合的螺母，所述箱體上還固定有驅動絲杠轉動的驅動電機，所述箱體上還固定有控制驅動電機的控制器，所述箱體上在取放窗口處還固定有檢測是否需要打開密封板的光線檢測器，所述光線檢測器包括發光器和接收器，所述發光器位于取放窗口的上端，所述接收器位于取放窗口的下端，所述接收器與控制器相互通訊，所述箱體上還固定有一對限制密封板極限位置的限位開關，所述限位開關與控制器相互通訊；該用于硅片的噴砂器還包括噴槍，所述噴槍位于上腔內，所述下腔內固定有噴砂器，所述上腔內還固定有控制噴砂器的控制裝置，所述控制裝置與控制器相互通訊，所述排砂口與噴砂器之間通過排砂管連接，所述噴砂器通過噴砂管與噴槍連接，所述隔板上開設有穿設噴砂管的通孔，所述箱體上還開設有檢修口，所述檢修口與下腔相通，所述箱體上固定有封閉檢修口的檢修門，所述箱體上還開設有兩個便于操作人員手持產品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封閉手持窗口的手套，所述手套位于上腔內。
[0006]上述構成中，密封板滑動連接在箱體上，并且在箱體上固定有驅動密封板滑動的絲杠，絲杠由固定在箱體上的驅動電機進行驅動，箱體上固定有控制驅動電機的控制器，光線檢測器用于檢測是否需要打開取放窗口，當需要打開取放窗口時，操作人員遮擋光線檢測器的發光器，此時接收器得到該信號并將該信號傳輸給控制器，控制器控制驅動電機工作，從而打開取放窗口，操作人員操作完畢后取消對發光器的遮擋，從而使得取放窗口自動恢復關閉狀態，操作十分方便；另外，控制裝置與控制器互相通訊，噴砂器與驅動電機可以形成互鎖效果，大大提高了噴砂器的安全性能。
[0007]—種可選的方案，所述箱體上開設有容納亞克力板的容納槽，所述容納槽與觀察窗口相通，所述亞克力板與容納槽之間固定有密封墊片，所述密封墊片粘接在容納槽內。箱體上開設容納槽并將亞克力板固定在容納槽內，亞克力板與容納槽之間粘接有密封墊片，亞克力板可以良好地將觀察窗口密封，減少了噴砂過程中對環境的污染。
[0008]—種可選的方案，所述檢修門通過連接螺釘固定在箱體上，所述檢修門上粘接有密封圈，所述檢修門上開設有容納密封圈的裝配槽。檢修門與箱體之間粘接密封圈，可以避免灰塵進入下腔內影響噴砂器的工作環境，提高了噴砂器工作時的穩定性能。
[0009]與現有技術相比，本實用新型提供的一種用于硅片的噴砂器，具有如下優點:在箱體上固定有封閉取放窗口的密封板，該密封板滑動連接在箱體上，箱體上還固定有驅動密封板滑動的絲杠，該絲杠由驅動電機驅動，箱體上固定有控制驅動電機的控制器，該控制器與光線檢測器相互通訊，需要將產品放入上腔時，操作人員遮擋光線檢測器的發光器，光線檢測器的接收器得到信號并將該信號傳至控制器，驅動電機動作打開取放窗口，操作人員操作完畢后取消遮擋發光器的動作，接收器得到信號后控制器控制驅動電機動作，將取放窗口關閉，操作人員在取放產品時，取放窗口自動打開或關閉，操作十分方便；另外，控制器與控制裝置相互通訊，可以將控制裝置、控制器組成互鎖結構，大大提高了噴砂操作的安全性能。
【附圖說明】
[0010]附圖1是本實用新型一種用于硅片的噴砂器的主視圖；
[0011]附圖2是本實用新型一種用于硅片的噴砂器的左視圖；
[0012]附圖3是附圖2中B-B處剖視圖；
[0013]附圖4是附圖1中A-A處剖視圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖，對本實用新型的一種用于硅片的噴砂器作進一步說明。如圖1、圖
2、圖3、圖4所示，一種用于硅片的噴砂器，包括箱體1，所述箱體1內設有將箱體1分為上腔2和下腔3的隔板4，所述隔板4上開設有排砂口 5，該用于硅片的噴砂器還包括噴槍19，所述噴槍19位于上腔2內，所述下腔3內固定有噴砂器20，所述上腔2內還固定有控制噴砂器20的控制裝置21，所述排砂口 5與噴砂器20之間通過排砂管22連接，所述噴砂器20通過噴砂管23與噴槍19連接，所述隔板4上開設有穿設噴砂管23的通孔；
[0015]參見圖1、圖4，所述箱體1上還開設有檢修口 24，所述檢修口 24與下腔3相通，所述箱體1上固定有封閉檢修口 24的檢修門25，所述檢修門25通過連接螺釘固定在箱體1上，所述檢修門25上粘接有密封圈，所述檢修門25上開設有容納密封圈的裝配槽；
[0016]參見圖2，所述箱體1上還開設有兩個便于操作人員手持產品的手持窗口 26，所述手持窗口 26上固定有封閉手持窗口 26的手套，所述手套位于上腔2內；
[0017]參見圖2，所述箱體I上開設有取放窗口 6，所述箱體I上還開設有觀察窗口 7，所述取放窗口 6和觀察窗口 7均與上腔2相通，所述箱體I上還固定有封閉觀