一種氣相沉積設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及氣相沉積設備，尤其涉及一種具有變溫頂針的氣相沉積設備。
【背景技術】
[0002]在平板顯示(FPD)及半導體芯片(IC)領域，設備的反應腔室中通常都會用到頂針2’，用以承載基板，方便機械手的取放。
[0003]但是很多工藝在過程中會產生高溫——例如PVD、CVD等，基板I’本身容易被加熱后溫度較高。如圖1和圖2所示，當帶有高溫的基板I’被放置到頂針2’上時由于基板I’同頂針2’有接觸，會導致該接觸點位置的溫度下降過快，與基板I’的其他區域有差異。從而會導致產品制造過程中產生不良。
[0004]如圖3所示，假設正常區域(玻璃基板I’未被頂針2’接觸的區域)溫度為A，頂針2’區域的玻璃基板I’表面溫度為B，溫度A與溫度B差異過大則會導致溫度B區域出現廣品不良。
[0005]在該【背景技術】部分公開的上述信息僅是為了增進對本實用新型【背景技術】的理解，因此它可能包含在這個國家對本領域的普通技術人員來說未知的、不構成現有技術的信息。
[0006]有鑒于此，發明人提供了一種氣相沉積設備。
【實用新型內容】
[0007]針對現有技術中的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種氣相沉積設備，控制頂針的溫度，減小頂針與基板間的溫度差，避免了溫度差對產品的影響，有效減少產品不良率。
[0008]根據本實用新型的一個方面，提供一種氣相沉積設備，包含頂針機構，用于在所述氣相沉積設備的反應腔室內支撐基片，所述頂針機構包括:頂針和設置于所述頂針內部的溫控單元。
[0009]優選地，所述溫控單元包括設置于所述頂針內部的溫度傳感器和至少一加熱絲。
[0010]優選地，每個所述頂針包括可拆式連接的一溫控頂針端和一頂針基座；
[0011]所述溫度傳感器和加熱絲設置于所述溫控頂針端內部，所述溫控頂針端的底部設有若干第一電極金屬觸點，所述溫度傳感器通過數據線連接到所述第一電極金屬觸點，所述加熱絲的兩端分別連接到其他所述第一電極金屬觸點；
[0012]所述頂針基座內部設有若干電極引線，所述頂針基座的頂部設有若干第二電極金屬觸點，所述電極引線分別對應連接所述第二電極金屬觸點；
[0013]所述溫控頂針端與所述頂針基座連接時，所述第一電極金屬觸點分別與所述第二電極金屬觸點一一對應接觸并導通。
[0014]優選地，所述溫控頂針端的底部設有兩組所述第一電極金屬觸點，所述溫度傳感器通過所述數據線連接其中一組所述第一電極金屬觸點，所述加熱絲連接另一組；
[0015]所述頂針基座的頂部設有對應的兩組所述第二電極金屬觸點，其中一組與溫度傳感器導通，另一組與加熱絲導通。
[0016]優選地，所述頂針基座固定于所述反應腔室內或連接在一升降裝置上。
[0017]優選地，所述溫控頂針端的底部的中央設有一螺孔，所述頂針基座的頂部的中央設有一凸起的螺栓部，所述螺孔螺合于所述螺栓部。
[0018]優選地，所述若干第一電極金屬觸點環繞所述螺孔，所述若干第二電極金屬觸點環繞所述螺栓部。
[0019]優選地，所述溫控頂針端內部的所述加熱絲為直線型、圓弧型或者Z型中的一種。
[0020]優選地，所述溫控頂針端內部的所述加熱絲為螺旋型，所述加熱絲包圍所述溫度傳感器。
[0021]優選地，所述溫控頂針端內部的所述加熱絲為卷網狀，所述加熱絲環繞所述溫度傳感器。
[0022]優選地，所述溫度傳感器不接觸所述加熱絲。
[0023]本實用新型的氣相沉積設備通過在頂針內部設置溫控單元，以控制頂針的溫度，減小頂針與基板間的溫度差，避免了溫度差對產品的影響，有效減少產品不良率。
【附圖說明】
[0024]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯:
[0025]圖1為現有技術的氣相沉積設備中頂針升起的示意圖；
[0026]圖2為現有技術的氣相沉積設備中頂針支撐基板的示意圖；
[0027]圖3為現有技術中頂針與基板接觸區域的俯視圖；
[0028]圖4為本實用新型的第一種氣相沉積設備的示意圖；以及
[0029]圖5為本實用新型的第二種氣相沉積設備的示意圖。
[0030]附圖標記
[0031]I’ 基板
[0032]2，頂針
[0033]2 頂針
[0034]20溫控基座
[0035]21溫控頂針端
[0036]22溫度傳感器
[0037]23加熱絲
[0038]24數據線
[0039]25 螺孔
[0040]26第一電極金屬觸點
[0041]27螺栓部
[0042]28第二電極金屬觸點
[0043]29電極引線
【具體實施方式】
[0044]現在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應被理解為限于在此闡述的實施方式；相反，提供這些實施方式使得本實用新型將全面和完整，并將示例實施方式的構思全面地傳達給本領域的技術人員。在圖中相同的附圖標記表示相同或類似的結構，因而將省略對它們的重復描述。
[0045]所描述的特征、結構或特性可以以任何合適的方式結合在一個或更多實施方式中。在下面的描述中，提供許多具體細節從而給出對本實用新型的實施方式的充分理解。然而，本領域技術人員應意識到，沒有特定細節中的一個或更多，或者采用其它的方法、組元、材料等，也可以實踐本實用新型的技術方案。在某些情況下，不詳細示出或描述公知結構、材料或者操作以避免模糊本實用新型。
[0046]如圖4所示，本實用新型提供了一種氣相沉積設備，包含頂針機構，用于在氣相沉積設備的反應腔室內支撐基片1，頂針機構包括:頂針2和設置于頂針2內部的溫控單元。溫控單元包括設置于頂針2內部的溫度傳感器22和至少一加熱絲23。每個頂針2包括可拆式連接的一溫控頂針端21和一頂針