一種電子槍掃描信號波形控制電路及真空鍍膜機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜領域，具體涉及一種電子槍掃描信號波形控制電路及真空鍍膜機。
【背景技術】
[0002]在真空鍍膜行業中，將固體材料置于真空室內，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發，蒸發出的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當把一些加工好的基板材料放在其中時，蒸發出來的原子或分子就會吸附在基板上逐漸形成一層薄膜，這種方式叫真空鍍膜。
[0003]由于電子槍本身的特性決定，在相同的電子束流下，電子束斑在坩禍中不同的位置，其本身的能量是不一樣的，這樣就導致在滿坩禍掃描的狀態下，坩禍中的膜料不能被均勻的蒸發，從而影響膜料的蒸發角和浪費膜料。
[0004]現有的眾多的掃描控制器多采用類似于ICL8038專用波形發生集成電路和分離元件來產生掃描波形，這些電路產生的波形形狀都是固定不變的，導致現場調試困難，其幅值需要靠人為地調節，不能很好的滿足自動生產控制的需要。
【實用新型內容】
[0005]為了解決這些潛在問題，本實用新型的一種電子槍掃描信號波形控制電路通過改變掃描控制器的輸出波形，克服了現有技術中所存在的上述不足，從而達到根據不同的膜料改變輸出能量實現均勻蒸發材料的目的。
[0006]為了實現上述實用新型目的，本實用新型采用的技術方案是:
[0007]—種電子槍掃描信號波形控制電路，包括上位機、接口單元、數據處理單元和信號輸出單元；
[0008]所述上位機，用于編輯波形控制信號，將所述波形控制信號發送給所述接口單元，其中所述波形控制信號與電子槍和坩禍中不同的待蒸鍍膜料的特性相關；
[0009]所述接口單元，用于接收所述上位機發送的所述波形控制信號，并將所述波形控制信號發送給所述數據處理單元；
[0010]所述數據處理單元，用于接收所述接口單元發送的所述波形控制信號，存儲所述波形控制信號并將所述波形控制信號發送給所述信號輸出單元進行輸出；
[0011]所述信號輸出單元，用于當電子槍產生鍍膜所需的電子束時，將所述波形控制信號輸出作用于電子槍，以控制所述電子束的掃描能量大小與轟擊位置。
[0012]進一步地，所述接口單元包括接口芯片、外圍電路，所述接口芯片一端連接所述上位機，一端連接所述數據處理單元，
[0013]所述接口芯片用于接收和/或發送所述波形控制信號，
[0014]所述上位機還用于讀取所述數據處理單元存儲的至少一個波形控制信號，并對所述至少一個波形控制信號進行處理。
[0015]優選的，所述接口芯片的型號為MAX485CSA。
[0016]進一步地，所述接口單元還包括第一光耦合器、第二光耦合器，
[0017]所述第一光耦合器輸入端和所述第二光耦合器輸出端分別連接在所述接口芯片的接收端引腳和發送端引腳，所述第一光耦合器輸出端和所述第二光耦合器輸入端分別連接所述數據處理單元信號接收端和信號發送端。
[0018]優選的，所述第一光親合器、所述第二光親合器的型號為6N137。
[0019]本實用新型同時公開了一種真空鍍膜機，所述真空鍍膜機使用本實用新型的電子槍掃描信號波形控制電路。
[0020]與現有技術相比，本實用新型的有益效果
[0021]1、本實用新型的一種電子槍掃描信號波形控制電路，通過改變掃描控制器的輸出波形，實現電子槍輸出電子束的掃描能量大小與轟擊位置的調節，從而達到改變輸出能量實現均勻蒸發材料的目的。
[0022]2、本實用新型的一種電子槍掃描信號波形控制電路，通過在接口電路中設置光耦合器，實現了輸入與輸出間的電隔離，在不同電路之間傳輸電信號，保證高壓端與低壓端隔離，同時確保這些電路彼此間的電絕緣，起著干擾抑制與安全保障作用。
【附圖說明】
[0023]圖1是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的模塊框圖。
[0024]圖2是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的接口單元的接口芯片部分電路圖。
[0025]圖3是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的接口單元的光耦合器部分電路圖。
[0026]圖4是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的數據處理單元電路圖。
[0027]圖5所示是本實用新型的一個具體實施例中的一種真空鍍膜機的電子槍示意圖。
[0028]圖6是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的上位機X軸波形編輯界面。
[0029]圖7是本實用新型的一個具體實施例中的電子槍掃描信號波形控制電路的上位機Y軸波形編輯界面。
【具體實施方式】
[0030]下面結合【具體實施方式】對本實用新型作進一步的詳細描述。但不應將此理解為本實用新型上述主題的范圍僅限于以下的實施例，凡基于本【實用新型內容】所實現的技術均屬于本實用新型的范圍。
[0031]圖1所述為本實用新型實施例示出的一種電子槍掃描信號波形控制電路，包括上位機1、接口單元2、數據處理單元3和信號輸出單元4 ;
[0032]所述上位機1，用于編輯波形控制信號，將所述波形控制信號發送給所述接口單元2，其中所述波形控制信號與電子槍和坩禍中不同的待蒸鍍膜料的特性相關；
[0033]所述接口單元2，用于接收所述上位機I發送的所述波形控制信號，并將所述波形控制信號發送給所述數據處理單元3 ;
[0034]所述數據處理單元3，用于接收所述接口單元2發送的所述波形控制信號，存儲所述波形控制信號并將所述波形控制信號發送給所述信號輸出單元4進行輸出；
[0035]所述信號輸出單元4，用于當電子槍產生鍍膜所需的電子束時，將所述波形控制信號輸出作用于電子槍，以控制所述電子束的掃描能量大小與轟擊位置。
[0036]具體的，在一個鍍膜設備的實例中，所述鍍膜設備會根據具體要求，配置一個或多個電子槍，每個電子槍的工作特性會不一樣，通常設備在制作產品前會對控制器和電子槍的配套性進行調試，主要是調試其輸出的波形控制信號，通過調整波形信號可調整電子槍束斑在坩禍中的大小、位置和對應的能量的均勻性，直到最后確定出每個電子槍對應的波形控制信號。
[0037]由于同一把電子槍有多個坩禍，每一個坩禍可以放一種膜料，蒸鍍某個產品可能會根據其工藝要求蒸鍍多種膜料，不同的蒸鍍膜料對電子束斑的大小要求會有所不同，在制作產品前會同樣針對不同的膜料進行電子束斑的大小的調整即波形控制信號幅度和頻率的調整，這些參數調整好以后，在控制器中進行存儲，當在蒸鍍相對應膜料時，自動將預先調整好的波形控制信號調用出來即可。
[0038]在一個具體實施例中，所述數據處理單元為型號為M058LBN_LQFP48的單片機。
[0039]具體的，所述接口單元包括接口芯片21、外圍電路，所述接口芯片21 —端連接所述上位機I，一端連接所述數據處理單元3，
[0040]所述接口芯片21用于接收和/或發送所述波形控制信號，
[0041]所述上位機I還用于讀取所述數據處理單元3存儲的至少一個波形控制信號，并對所述至少一個波形控制信號進行處理。
[0042]具體的，所述接口芯片的型號為MAX485CSA。
[0043]具體的，在一個實施例中，參看圖2和圖4，
[0044]其中，Vl端提供+5V電壓、Ml端提供-5V電壓、VCC端提供+5V工作電壓。
[0045]MAX485CSA芯片引腳5連接一個型號為P6KE6.8CA的瞬態抑制二極管D26正極與一個型號為P6KE6.8CA的瞬態抑制二極管D27正極，二極管D26負極連接電阻值為1.2k Ω的電阻R76，電阻R76另一端接Ml，二極管D27負極連接電阻值為1.2kQ的電阻R77，電阻R77另一端接VI，容值0.1 μ F的電容C31 —端連接在R76與Ml之間，另一端連接在R77與Vl之間，引腳6連接阻值為10 Ω電阻R14，電阻R14另一端連接與上位機的通信接口，引腳7連接阻值為10 Ω電阻R13，電阻R13另一端連接與上位機的通信接口，D26的負極還連接了引腳6，D27的負極還連接了引腳7，MAX485CSA芯片引腳5還連接了 Ml ；
[0046]MAX4