加熱設備的控溫系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及加熱設備技術領域，特別是涉及一種加熱設備的控溫系統。
【背景技術】
[0002]蒸鍍法是一種屬于物理氣相沉積的真空鍍膜技術。它是將蒸鍍的材料置于一個坩禍之中，通過對坩禍加熱，使材料從固態轉化為氣態的原子、原子團或分子，然后凝聚到待鍍膜的基板表面形成薄膜。
[0003]圖1為現有的蒸鍍設備的坩禍的結構示意圖，如圖1所示，以線性蒸發源(簡稱線源)為例，現有的坩禍10為長方體，在圖1中，X方向為坩禍10的長度方向，Y方向為坩禍10的寬度方向，Z方向為坩禍10的高度方向。坩禍10包括四個側面:第一側面11、第二側面(未在圖1中顯示)、第三側面13、第四側面14，其中，第一側面11和第二側面為坩禍10的長所在的側面，第一側面11和第二側面相對設置，第三側面13和第四側面14為坩禍10的寬所在的側面，第三側面13和第四側面14相對設置。一般的，坩禍10的上面設置有一樹禍蓋20，;t甘禍10和；t甘禍蓋20通過螺絲擰緊并緊扣住，；t甘禍蓋20包括蓋板22和位于蓋板22上的蒸發孔21，一般的，蒸發孔21以螺紋緊固在蓋板22上。通常，坩禍10的槽口附近還設置有用于控制材料蒸發量的中板，中板被坩禍蓋20遮蓋，中板在圖1中未具體示出，此為本領域的技術人員可以理解的。
[0004]在現有技術中，坩禍10放置于蒸鍍設備內，第三側面13靠近蒸鍍設備的門(door)，第四側面14靠近蒸鍍設備的傳送裝置(TM)。然而，坩禍10較長，在同一坩禍10的內部，靠近第三側面13的一端、靠近第四側面14的另一端以及坩禍10中部(位于一端和另一端中間的部分)的溫度會有一定的差異，一般的坩禍10中部的溫度小于靠近第三側面13的一端的溫度和靠近第四側面14的另一端的溫度，會對蒸鍍所得膜厚均一性、蒸鍍材料的變色等產生影響，進而會影響OLED等器件的顯示效果和器件的使用性能；并且，在同一坩禍10的內部，靠近坩禍蓋20的坩禍10頂部(TOP)的溫度和坩禍10底部(BOTTOM)的溫度亦會出現一定差異，影響OLED等器件的顯示效果和器件的使用性能。
【實用新型內容】
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種加熱設備的控溫系統，用于控制所述加熱設備中坩禍的溫度，所述控溫系統包括:
[0006]用于對所述坩禍進行加熱的加熱部件，所述加熱部件包括多個用于對所述坩禍內部的預定位置進行加熱的可變電阻，多個所述可變電阻分布于所述坩禍的外側；
[0007]多個用于測量所述預定位置的溫度的測溫儀，多個所述測溫儀位于所述坩禍內；以及
[0008]用于控制所述可變電阻的阻值的控制系統，所述控制系統連接所述可變電阻。
[0009]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述加熱部件還包括用于對所述坩禍加熱的固定電阻，所述固定電阻連接于多個所述可變電阻之間，所述可變電阻和固定電阻共同構成一整段式加熱部件。
[0010]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述加熱部件纏繞于所述坩禍的側面，多個所述加熱部件沿所述坩禍的高度方向排列。
[0011]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述坩禍為長方體，所述坩禍包括第一側面，所述第一側面為所述坩禍的長所在的側面，所述預定位置包括在所述坩禍的長度方向的一端、中部和另一端，每個所述加熱部件中至少三個所述可變電阻分布于所述坩禍的第一側面，并位于沿所述坩禍的長度方向的一端、中部和另一端依次設置。
[0012]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述坩禍還包括與所述第一側面相對設置的第二側面，所述加熱部件中至少三個所述可變電阻分布于所述坩禍的第二側面，并位于沿所述坩禍的長度方向的一端、中部和另一端依次設置。
[0013]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述坩禍還包括第三側面以及與所述第三側面相對設置的第四側面，所述第三側面和第四側面為所述坩禍的寬所在的側面，所述第三側面和第四側面上分別分布有所述可變電阻。
[0014]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述控制系統為用于手動調節所述可變電阻的阻值的手動控制部件。
[0015]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，所述手動控制部件為驅動電機或手動旋鈕。
[0016]進一步的，在所述加熱設備控溫系統中，每個所述可變電阻均對應一個所述驅動電機或手動旋鈕；或，阻值調節方向一致的所述可變電阻共用一個所述驅動電機；或，阻值調節方向不一致的所述可變電阻通過變向單元共用一個所述驅動電機。
[0017]進一步的，在所述加熱設備的控溫系統中，所述控制系統為用于根據所述測溫儀自動調節所述可變電阻的阻值的自動控制單元，所述自動控制單元分別連接所述測溫儀和可變電阻，所述自動控制單元接收所述測溫儀的溫度信號，并向與所述測溫儀對應的所述可變電阻發出一控制信號。
[0018]在本實用新型提供的一種加熱設備的控溫系統中，所述控溫系統包括加熱部件、測溫儀和控制系統，所述加熱部件包括多個用于對所述坩禍內部的預定位置進行加熱的可變電阻，從而可以根據所述測溫儀測得的預定位置的溫度，通過所述控制系統控制所述可變電阻的阻值，進行分段加熱，以分別對各個所述預定位置進行獨立的溫度控制，有利于提高所述坩禍內部各個位置的溫度的均勻性。
【附圖說明】
[0019]圖1為現有技術中蒸鍍設備的坩禍的立體示意圖；
[0020]圖2為本實用新型第一實施例的加熱部件分布于坩禍的外側的立體示意圖；
[0021]圖3為本實用新型第一實施例的加熱部件分布于坩禍的外側的俯視圖；
[0022]圖4為本實用新型第一實施例的加熱部件分布于坩禍的外側的主視圖；
[0023]圖5為本實用新型第二實施例的控溫系統的示意圖；
[0024]圖6為本實用新型第三實施例的控溫系統的示意圖。
具體實施例
[0025]下面將結合示意圖對本實用新型的加熱設備的控溫系統進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0026]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0027]本實用新型的核心思想在于，本實用新型提供一種加熱設備的控溫系統，用于控制所述加熱設備中坩禍的溫度，所述控溫系統包括:用于對所述坩禍進行加熱的加熱部件，所述加熱部件包括多個用于對所述坩禍內部的預定位置進行加熱的可變電阻，多個所述可變電阻分布于所述坩禍的外側；多個用于測量所述預定位置的溫度的測溫儀，多個所述測溫儀位于所述坩禍內；以及用于控制所述可變電阻的阻值的控制系統，所述控制系統連接所述可變電阻。根據所述測溫儀測得的預定位置的溫度，通過所述控制系統調節所述可變電阻的阻值，進行分段加熱，以分別對各個所述預定位置進行獨立的溫度控制，有利于提高所述坩禍內部各個位置的溫度的均勻性。
[0028]以下列舉所述加熱設備的控溫系統的幾個實施例，以清楚說