彈性懸掛式吸盤及吸盤組結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路或光伏產品的工藝設備技術領域，具體涉及一種彈性懸掛式吸盤及吸盤組結構。
【背景技術】
[0002]等離子體化學氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposit1n, PECVD)技術是利用等離子體放電產生帶電粒子、自由基、活性基團等物質在基片表面發生化學反應沉積薄膜的技術。因為等離子體激發了反應氣體分子的活性，使沉積薄膜工藝的溫度變低，而且沉積速率快，所生長薄膜致密性好，缺陷少，工藝重復性好而被廣泛應用。最早應用于半導體芯片加工工業中，用于沉積氧化硅、氮化硅薄膜。
[0003]在PECVD的工藝中，需要對硅片(電池片)取放，然而現有的用于硅片取放的吸盤結構具有如下缺點:
[0004]1.風琴式吸盤側面放置硅片時定位不夠準確；且風琴式吸盤不能做得很薄；
[0005]2.伯努利吸盤在放置硅片時不能有側面摩擦力，否則會定位不準；
[0006]3.其他吸盤多為硬性著陸，容易造成硅片的碎片。
[0007]而且現有的吸盤在吸到物料后，不能給物料施加垂直吸力法線方向的力，且現有吸盤疊加起來使用時體積會較大，不適合薄片物料的疊加吸取。
【實用新型內容】
[0008]本實用新型提供一種彈性懸掛式吸盤及吸盤組結構，能夠解決上述問題。
[0009]本實用新型實施例提供的一種彈性懸掛式吸盤，包括:基板、吸嘴及至少兩根彈性連接件，吸嘴的開口方向與基板平面保持垂直，基板上開設有用于容置吸嘴和彈性連接件的容置區，每個彈性連接件的一端連接吸嘴，彈性連接件另一端連接容置區的內壁，吸嘴在基板平面上受到各彈性連接件的圓周向外的力保持平衡。
[0010]優選地，還包括連接于吸嘴上的真空吸管。
[0011]優選地，容置區向基板尾部延伸有用于容置真空吸管的容置槽。
[0012]優選地，所述彈性連接件為彈簧。
[0013]優選地，吸嘴兩側分別對稱設有兩根彈簧。
[0014]優選地，基板上容置區和吸嘴的數量分別為3，且容置區呈三角分布，每個吸嘴通過至少兩個彈性連接件連接對應的容置區內壁。
[0015]本實用新型實施例還提供了一種吸盤組結構，包括一個基座，基座上層疊地設置有如上述所述的彈性懸掛式吸盤。
[0016]上述技術方案可以看出，由于本實用新型實施例彈性懸掛式吸盤的吸嘴采用彈性連接件拉緊懸掛固定在基板上，因此吸嘴在吸取物料時在豎直方向上或垂直基板的方向上都具有彈性裕度，實現了物料吸放的軟著陸。
[0017]另外，另一實施例中吸盤組結構采用上述的彈性懸掛式吸盤層疊固定方式，各吸盤間距可進一步縮減，適合薄片物料的疊加吸取，使整個吸盤組結構的空間占用減小，實現集中吸取物料。
【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。
[0019]圖1是本實用新型實施例1中吸盤的正面結構示意圖；
[0020]圖2是本實用新型實施例1中圖1的A處放大示意圖；
[0021]圖3是本實用新型實施例2中吸盤組結構的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0022]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0023]實施例1:
[0024]本實用新型實施例提供一種彈性懸掛式吸盤，包括:基板1、吸嘴2及至少兩根彈性連接件，本實施例中采用彈簧3作為彈性連接件，當然不排除采用彈性絲線或彈力繩作為該彈性連接件。基板I作為吸嘴2和彈簧3的支撐元件，基板I可以采用規則形狀(如長方形、梯形)板材也可以采用其他形狀，本實施例中該基板I采用前端梯形中后段為矩形的板材形狀，以便于三個吸嘴呈三角排布。另外，在基板I上設置多個氣孔6，一方面能夠使氣流流通，另一方面減小基板運動過程中的空氣阻力。
[0025]吸嘴2的開口方向(吸嘴開口 21所正對的方向)與基板I平面保持垂直，如圖1中基板平面為讀者所見的紙面，而吸嘴開口 21垂直該紙面向外，本實施例中吸嘴2的吸嘴開口具有兩個，增強吸附力，吸嘴的結構采用現有吸嘴即可，此處不再贅述。
[0026]基板I上開設有用于容置吸嘴2和彈性連接件的容置區11，每個彈性連接件的一端連接吸嘴，彈性連接件另一端連接容置區11的內壁，吸嘴2在基板I平面上受到各彈性連接件的圓周向外的力保持平衡，即吸嘴在基板平面內受到前后方向或左右方向或前后左右方向的合力為0，可以理解的是，在吸嘴上連接至少兩根彈性連接件以吸嘴為中心保持對稱連接即可，如吸嘴上只連接兩根彈簧時，則在吸嘴左右兩側或前后兩側對稱的連接，兩根彈簧的連接方式會實現最小的容置區面積，但對吸嘴的固定性不夠穩，如果吸嘴上連接三根彈簧時，則以吸嘴為中心，每根彈簧之間保持120夾角，使吸嘴在該平面內受力平衡，這種連接方式的固定性會穩定一些，但容置區面積增加。如圖1所示，本實施例中吸嘴兩側分別對稱設有兩根彈簧4，而且位于左右兩側的彈簧會有一定的傾斜角度，使吸嘴在左右方向和前后方向的固定同時保持穩定性，當然位于左右兩側的彈簧保持平行牽引著吸嘴也能夠實現懸掛式牽引固定吸嘴。本實施例中采用四根彈簧牽引固定吸嘴即能夠減小容置區面積也考慮了對吸嘴固定的穩定性。