一種mo源瓶的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于半導體外延技術領域，尤其涉及一種改善固態源使用效率的MO源瓶。
【背景技術】
[0002]氮化鎵(GaN)基發光二極管(英文為Light Emiss1n D1des，簡稱LED)因其高亮度、低能耗、壽命長等優點，在照明、交通信號燈、顯示屏、背光源等領域得到廣闊應用，LED白光照明產品將逐漸取代白熾燈，成為21世紀的綠色能源。
[0003]LED外延結構生長時，需采用MO源進行晶體成長，目前常用的MO源包括三甲基銦(TMIn)和二茂鎂(Cp2Mg),兩者在常溫下均以固態形式存在，固態MO源在使用后期容易出現“溝流現象”，即通入的載氣(H2/N2)優先選擇已形成的“溝流”進出，導致部分固態MO源結晶而不能有效利用(例如TMIn);或密度較低的固態源會因氣體灌入而“揚起”，進而黏附于MO源瓶側壁而不回落至鋼瓶底部，降低其有效利用(例如Cp2Mg)。尤其是近些年大瓶裝MO源的使用，提高固態源的使用效率是目前各LED廠家研宄的重點。
[0004]中國專利CN102330071A提出一種串聯提高固態源使用效率的方法，其將相同型號相同規格的兩瓶MO源串聯以同時使用，通過載氣的運輸將MO源從前一個MO源瓶運送到后一個 MO 源瓶后再輸送到 MOCVD (英文為 Metal-organic Chemical Vapor Deposit1n,簡稱MOCVD)反應腔室。上述的串聯MO源結構簡單，提高了固態源的使用效率。但是，此方法不能解決固態源在使用后期出現的溝流現象，且由于兩瓶串聯使用，兩瓶MO源同時消耗，技術人員無法精確判斷每瓶固態源的剩余量，增加了更換MO源周期判斷的困難。
【發明內容】
[0005]針對上述問題，本實用新型提出一種MO源瓶，包括盛放固態MO源的第一容器、盛放液態物質的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器內，共用一個封面，其特征在于:所述MO源瓶還包括稱量第一容器重量的質量測量裝置、產生超聲波的起振裝置、以及調控所述質量測量裝置、起振裝置的控制裝置；所述質量測量裝置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述質量測量裝置上；所述起振裝置置于所述第二容器的液態物質內。
[0006]優選的，所述第一容器為帶有密封蓋的密封性容器，所述密封蓋上部設有進氣管和出氣管，以及分別位于進氣管和出氣管上的手動閥和流量計。
[0007]優選的，所述第二容器外部還具有位于不同側的液體進、出口，用于連接液體進、
出管路。
[0008]優選的，所述液體進、出管路與一恒溫槽連接，所述恒溫槽內盛裝有供第二容器使用的液態物質，以穩定所述第二容器內腔室溫度。
[0009]優選的，所述第二容器內壁置有一保溫層，用于保持液態水溫度的穩定性。
[0010]優選的，所述第二容器下方安裝有便于移動第二容器的多個滑動結構。
[0011]優選的，所述滑動結構的個數大于或等于3。
[0012]優選的，所述起振裝置置于所述第二容器的底部或內側壁上。
[0013]優選的，所述MO源瓶還括與所述控制裝置連接的報警裝置。
[0014]本實用新型至少具有以下有益效果:1.控制裝置分別調控質量測量裝置和起振裝置，記錄MO源質量，起振裝置發出周期性超聲波對第一容器產生震蕩作用，進而改善第一容器內固態源使用過程中產生的溝流或揚起現象，提高固態源利用效率；2.增設用于提示MO源消耗量的報警裝置，對人員起到提醒作用；3.第二容器底部安裝滑動結構，節省搬運過程中所需人力，提高人員工作效率。
【附圖說明】
[0015]附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。此外，附圖數據是描述概要，不是按比例繪制。
[0016]圖1為本實用新型實施例1之MO源瓶剖視圖。
[0017]圖2為本實用新型實施例2之MO源瓶部分結構剖視圖。
[0018]圖3為本實用新型實施例3之MO源瓶部分結構剖視圖。
[0019]附圖標注:1:第一容器；11:進氣管；111:第一手動閥；112:第一流量計；12:出氣管；121:第二手動閥；122:第二流量計；13:密封蓋；2:第二容器；21:保溫層；22:進水管；23:出水管；24:進口；25:出口 ；3:控制裝置；31:起振裝置；32:質量測量裝置；33:報警裝置；4:液態物質；5:固態MO源；6:保護蓋；7:恒溫槽；8:滑動結構；81:滾輪；82:固定件。
【具體實施方式】
[0020]現在結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0021]實施例1
[0022]參看附圖1，一種MO源瓶，包括用于盛放固態MO源的第一容器1、盛放液態物質4的第二容器2、起振裝置31、質量測量裝置32和控制裝置3。其中，第一容器I放置于所述第二容器2內，共用一個封面，封面為大小與第二容器端面相同的保護蓋6，本實施例中，液體物質4優選水，第一容器I為帶有密封蓋13的密封容器，密封蓋13上設有進氣管11和出氣管12，進氣管11和出氣管12上分別設置有手動閥和流量計，手動閥包括分別與進氣管11和出氣管12對應的第一手動閥111和第二手動閥121，流量計包括分別與進氣管11和出氣管12對應的第一流量計112和第二流量計122 ;第二容器2外部還具有位于不同側的液體進口 24和出口 25，用于連接液體進、出管路，即進水管22和出水管23，進水管22和出水管23的一端分別連接第二容器2外部的液體進口 24和出口 25，另一端連接至恒溫槽7內，恒溫槽7為第二容器2提供循環液態物質4，用于穩定第二容器2內腔室溫度；起振裝置31位于第二容器2的底部或內側壁上，質量測量裝置32位于第二容器2的底部，第一容器I放置于質量測量裝置32上，質量測量裝置32用于測量第一容器I的質量。為了節省空間，控制裝置3可設置于第二容器2的外壁上，并分別與起振裝置31和質量測量裝置32連接，用于調控其運轉。第二容器2內壁上還設有保溫層21，用于保持液態物質4的溫度穩定。
[0023]不同類型的固態MO源5的密度大小不同，例如三甲基銦(TMIn)質量密度較大，通常以密實結構沉積在第一容器I底部，在使用時容易形成“溝流現象”，針對該類型的固態MO源5，本實施例優選將起振裝置31置于第二容器2底部，質量測量裝置32則位于起振裝置31上，位于第