一種球體真空鍍膜裝夾裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種真空鍍膜裝夾設備領域,特別是一種球體真空鍍膜裝夾裝置。
【背景技術】
[0002]真空鍍是指在真空條件下,通過蒸發、濺射或離化等方式在產品表面沉積各種金屬和非金屬薄膜的工藝,其主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型。需要鍍膜的產品稱為基片,被鍍的材料稱為靶材;靶材通常位于腔體周圍、中心、底部或上部,基片通過基架固定于真空腔體中,由于基片裝夾點固定,所以必然會有部分區域在鍍膜過程中被遮擋,而無法實現全表面無縫隙鍍膜。
[0003]對于表面不能打孔,無裝夾點的球體產品,目前的真空鍍膜技術由于裝夾裝置限制,無法實現全表面無縫鍍膜。
【發明內容】
[0004]有鑒于此,本發明提供了一種可以讓球體鍍膜時完成全表面無縫鍍膜的球體真空鍍膜裝夾裝置,以解決上述問題。
[0005]—種球體真空鍍膜裝夾裝置,包括一個底盤,一個固定設置在所述底盤上的中心軸,一個圍繞該中心軸旋轉的公轉驅動機構,至少一個設置在所述公轉驅動機構上并隨該公轉驅動機構繞所述中心軸旋轉的球體裝夾機構,以及一個設置在所述底盤上并圍繞該中心軸旋轉并驅動所述球體裝夾機構自轉的自轉驅動機構。所述球體裝夾機構包括一盤滾動軸承,一個設置在所滾動軸承上的自轉軸,一個與公轉驅動機構固定連接的蓋板,以及一個固定設置在該蓋板上的放置環。所述滾動軸承設置在所述自轉軸與公轉驅動機構之間。所述放置環與自轉軸間隔設置以放置被鍍膜球體。
[0006]進一步地,所述公轉驅動機構包括一個公轉驅動源,一個由該公轉驅動源驅動的公轉齒輪組,所述公轉齒輪組上設置有至少一個裝夾機構放置孔,所述裝夾機構放置孔用于設置所述球體裝夾機構。
[0007]進一步地,所述公轉驅動源為電機,所述公轉齒輪組包括一個與該電機嚙合的第一公轉齒輪,一個與該第一公轉齒輪嚙合并圍繞該中心軸旋轉的第二公轉齒輪,以及一個與該第二公轉齒輪剛性連接的第三公轉齒輪,所述第三公轉齒輪圍繞所述中心軸旋轉并設置有所述的裝夾機構放置孔。
[0008]進一步地,所述自轉驅動機構包括一個自轉驅動源,一個由該自轉驅動源驅動的自轉齒輪組,所述自轉齒輪組驅動所述球體裝夾機構的自轉軸轉動。
[0009]進一步地,所述自轉驅動源為電機,所述自轉齒輪組包括一個與該電機嚙合的第一自轉齒輪,一個與該第一自轉齒輪嚙合并圍繞所述中心軸旋轉的第二自轉齒輪,以及一個與第二自轉齒輪剛性連接的第三自轉齒輪,所述第三自轉齒輪圍繞所述中心軸旋轉并驅動所述球體裝夾機構的自轉軸轉動。
[0010]進一步地,所述自轉軸上設置有與所述第三自轉齒輪相嚙合的齒輪片,該齒輪片隨所述第三自轉齒輪并繞所述自轉軸的中心軸轉動。
[0011 ]進一步地,所述第二自轉齒輪放置在所述底盤上,所述第二自轉齒輪與底盤之間分別對應設置有一條第二自轉齒輪下凹槽和底盤上凹槽,所述底盤包括一盤設置在所述第二自轉齒輪下凹槽與底盤上凹槽之間的底盤滾珠。
[0012]進一步地,所述自轉驅動機構包括一個自轉驅動源,一個由該自轉驅動源驅動的自轉齒輪組,所述自轉齒輪組驅動所述球體裝夾機構的自轉軸轉動,所述自轉驅動源為電機,所述自轉齒輪組包括一個與該電機嚙合的第一自轉齒輪,一個與該第一自轉齒輪嚙合并圍繞所述中心軸旋轉的第二自轉齒輪,以及一個與第二自轉齒輪剛性連接的第三自轉齒輪,所述第三自轉齒輪圍繞所述中心軸旋轉并驅動所述球體裝夾機構的自轉軸轉動,所述第二自轉齒輪與所述第二公轉齒輪之間分別設置有第二自轉齒輪上凹槽和第二公轉齒輪下凹槽,所述自轉驅動機構還包括一盤設置在所述第二自轉齒輪上凹槽和第二公轉齒輪下凹槽之間的自轉滾珠。一步地,所述公轉驅動機構的第二、第三公轉齒輪設置在所述第二、第三自轉齒輪之間。
[0013]與現有技術相比,由于所述球體真空鍍膜裝夾裝置具有所述的公轉驅動機構與自轉驅動機構,該公轉驅動機構與自轉驅動機構分別驅動所述球體裝夾機構作自轉與公轉運動,形成兩軸轉動,從而可以使所述被鍍膜球體完成全表面鍍膜,且即不用夾持該被鍍膜球體也不用在該被鍍膜球體上打孔。
【附圖說明】
[0014]以下結合附圖描述本發明的實施例,其中:
[0015]圖1為本發明提供的一種球體真空鍍膜裝夾裝置的結構示意圖。
[0016]圖2為圖1的球體真空鍍膜裝夾裝置的局部放大圖。
[0017]圖3為圖1的球體真空鍍膜裝夾裝置所具有蓋板的俯視結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]以下基于附圖對本發明的具體實施例進行進一步詳細說明。應當理解的是,此處對本發明實施例的說明并不用于限定本發明的保護范圍。
[0019]請參閱圖1至圖3,其為本發明提供的一種球體真空鍍膜裝夾裝置的結構示意圖。所述球體真空鍍膜裝夾裝置包括一個底盤10,一個固定設置在所述底盤10上的中心軸20,一個圍繞該中心軸20旋轉的公轉驅動機構30,至少一個設置在所述公轉驅動機構30上并隨該公轉驅動機構30繞所述中心軸20旋轉的球體裝夾機構40,以及一個設置在所述底盤10上并圍繞該中心軸20旋轉并驅動所述球體裝夾機構40自轉的自轉驅動機構50 ο可以想到的是,所述球體真空鍍膜裝夾裝置還包括其他一些功能模塊,如配電模塊,機臺模塊,電機與齒輪之間的傳動模塊,以及開關模塊等以令該球體真空鍍膜裝夾裝置可以安全工作。但是這些模塊不作為本發明的重點,在此不作詳細描述。另外,還需要說明的是,該球體真空鍍膜裝夾裝置放置在真空車間工作,同時該真空車間中還放置有真空鍍膜機以給至少一個被鍍膜球體60鍍膜。
[0020]所述底盤10可以為一個圓環,并通過陶瓷螺絲固定在機臺模塊上,用于設置上述的其他機構,如自轉驅動機構50與公轉驅動機構30。所述底盤10包括一個設置在其上的底盤上凹槽11和一盤設置在該底盤上凹槽11中的底盤滾珠12。因為不管是自轉驅動機構50還是公轉驅動機構30,都是圍繞所述中心軸20在旋轉,因此所述底盤上凹槽11也是以所述中心軸20為圓心的圓圈。所述底盤滾珠12的直徑根據所述底盤上凹槽11的直徑設置,以能夠自由轉動為準。當然為了滾動或滑動平滑,還可以在所述底盤上凹槽11與底盤滾珠12上可鍍膜潤滑涂層等。
[0021]所述中心軸20為一根虛構的軸,其是所述自轉驅動機構50與公轉驅動機構30的設計導向,也是其他功能模塊,如球體裝夾機構40的設計導向。
[0022]所述公轉驅動機構30包括一個公轉驅動源31,一個由該公轉驅動源31的公轉齒輪組32。所述公轉驅動源31可以為一個電機,其在電力的驅動下可以源源不斷地輸出扭矩,以驅動所述公轉齒輪組32轉動。所述公轉齒輪組32包括一個與該電機嚙合的第一公轉齒輪321,一個與該第一公轉齒輪321嚙合并圍繞所述中心軸20旋轉的第二公轉齒輪322,以及一個與該第二公轉齒輪剛性連接的第三公轉齒輪323。所述第一、第二、以及第三公轉齒輪
321、322、323為通常人們所習知的齒輪傳動機構,在此無須更多描述,其為本領域技術人員所習知。所述第一公轉齒輪321在電機的帶動下轉動,從而將電機即公轉驅動源31輸出的扭矩傳遞給第一公轉齒輪321。所述第一公轉齒輪321然后將該扭矩傳遞給第二公轉齒輪322,而第三公轉齒輪323與第二公轉齒輪322為剛性連接,因此,所述第二公轉齒輪322將帶動所述第二、第三公轉齒輪322、323—起轉動。為了設置所述球體裝夾機構40并帶動該球體裝夾機構40圍繞所述中心軸20作公轉運動,所述第三公轉齒輪323上設置有一個裝夾機構放置孔324以及設置所述球體裝夾機構40。為了使整個機構緊湊并使所述第二、第三公轉齒輪
322、323圍繞所述中心軸20保持同軸轉動,所述第二公轉齒輪322上設置有第二公轉齒輪下凹槽325。該第二公轉齒輪下凹槽325會在后面作詳細描述其結構及工作原理。
[0023]所述球體裝夾機構40包括一盤滾動軸承41,一個設置在所述滾動軸承41上的自轉軸42,一個與所述公轉驅動機構30固定連接的蓋板43,以及一個固定設置在該蓋板43上的放置環44。所述滾動軸承41設置在第二公轉齒輪322的裝夾機構放置孔324的底部,并設置在所述第二公轉齒輪322與自轉軸42之間以利于所述自轉軸42圍繞其自己的中心軸自轉。所述自轉軸42上設置有與下述的第三自轉齒輪523相嚙合的齒輪片421以及一個設置在該自轉軸42的頂部的夾裝頭422。所述齒輪片421在第三自轉齒輪523的驅動下帶動整個自轉軸42繞其自己的中心軸轉動。所述夾裝頭422可以為一個圓柱,其頭部可以為任意合適旋轉被鍍膜球體60的形狀,在本實施例中