一種前后電極石墨舟及化學氣象沉積設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及光伏電池加工設備技術領域，尤其涉及一種前后電極石墨舟及使用該前后電極石墨舟的化學氣象沉積設備。
【背景技術】
[0002]在光伏電池加工行業中，石墨舟為化學氣象沉積設備中的硅片載體，化學氣象沉積設備的原理是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，對插入太陽能硅片的平行板鍍膜石墨舟進行化學氣相沉淀，形成所期望的薄膜。
[0003]現有技術中已出現了多種石墨舟結構，如圖1、2所示，公布號為CN102534564A的發明專利，包括:與電極桿相連的石墨舟本體，石墨舟本體由奇電極板2、偶電極板3、上電極中間隔塊4、下電極中間隔塊5、對稱下電極中間隔塊6、電極隔塊8和石墨舟腳9組成，石墨舟本體兩端均開有兩個電極孔，且每一端的兩個電極孔中，位于上部的電極孔均設置在位于石墨舟本體兩端的上電極中間隔塊6上，下部電極孔分別設置在下電極中間隔塊5與對稱下電極中間隔塊6上，該下電極中間隔塊5與對稱下電極中間隔塊6分別設在石墨舟本體兩端，石墨舟本體兩端的兩個電極孔之間距離相等。
[0004]該發明在石墨舟的雙面設置電極孔，能滿足電極桿I可分別從兩端插入電極孔，石墨舟推車轉動180度可能順利操作，但這種石墨舟采用的是傳統技術中正負電極從舟體同一端引入的方式，這會導致石墨舟的電場分布不均，前端電場相比后端電池有所減弱或增加，硅片的膜厚均勻性較差，大大影響太陽能電池的生產質量。
【發明內容】
[0005]為解決上述技術問題，本發明提出一種前后電極石墨舟及化學氣象沉積設備，正負電極可分別從該前后電極石墨舟的前后兩端引入，使舟體產生的電場均勻，硅片的膜厚均勻性好。
[0006]本發明采用的技術方案是，設計一種前后電極石墨舟，包括:由均勻間隔設置的奇數石墨片和偶數石墨片構成的舟體，奇數石墨片和偶數石墨片通過石墨棒串接。奇數石墨片和偶數石墨片均排布有鏤空部，且奇數石墨片和偶數石墨片上的鏤空部水平對齊。
[0007]奇數石墨片的前端底部設有向前伸出的前端下耳片，相鄰的前端下耳片之間貼合設有前端下隔塊或前導電石墨塊，舟體的前端底部設有至少一個前導電石墨塊。奇數石墨片的后端中部設有向后伸出的后端上耳片，相鄰的后端上耳片之間貼合設有后端上隔塊。
[0008]偶數石墨片的后端底部設有向后伸出的后端下耳片，相鄰的后端下耳片之間貼合設有后端下隔塊或后導電石墨塊，舟體的后端底部設有至少一個后導電石墨塊。偶數石墨片的前端中部設有向前伸出的前端上耳片，相鄰的前端上耳片之間貼合設有前端上隔塊。
[0009]前導電石墨塊底部凸出奇數石墨片，后導電石墨塊底部凸出偶數石墨片，舟體的兩端底面設有四個支撐腳。
[0010]在一實施例中，舟體的兩側為奇數石墨片，舟體的后端兩側對稱設有兩個后導電石墨塊，舟體的前端兩側也對稱設有兩個前導電石墨塊。兩個后導電石墨塊分別位于舟體后端的兩最外側，兩個前導電石墨塊分別與舟體的兩最外側間隔一個前端下隔塊。
[0011]較優的，兩后導電石墨塊的底部外側面和兩前導電石墨塊的底部外側面均為圓弧面。
[0012]本發明還提出了一種使用上述前后電極石墨舟的化學氣象沉積設備，包括:爐管，設于該爐管內的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋和后蓋組成，電極裝置包括兩個分開設置并固定在前蓋和后蓋上的電極固定桿和正負電極桿，正負電極桿分別使用固定塊固定在電極固定桿上，并在整個石墨舟長度上延伸，石墨舟放置在正負電極桿頂面上，正負電極桿分別與前導電石墨塊和后導電石墨塊接觸通電。
[0013]本發明在舟體的前端和后端分別設有導電石墨，正負電極桿通過與導電石墨接觸，從舟體的前后兩端引入，使舟體產生的電場均勻。舟體的前端和后端均對稱設有兩個導電石墨，使得舟體轉動180°后，仍然能與正負電極桿接觸通電，使用起來也非常方便。
【附圖說明】
[0014]下面結合實施例和附圖對本發明進行詳細說明，其中:
圖1是現有技術中石墨舟的正面示意圖；
圖2是現有技術中石墨舟的端部結構不意圖；
圖3是本發明中電極從舟體兩端接入的正面示意圖；
圖4是本發明中舟體的俯視結構示意圖；
圖5是本發明中奇數石墨片的正面示意圖；
圖6是本發明中偶數石墨片的正面示意圖；
圖7是較佳實施例中舟體的前端結構示意圖；
圖8是較佳實施例中舟體的后端結構示意圖；
圖9是本發明中化學氣象沉積設備的正面示意圖；
圖10是本發明中化學氣象沉積設備的俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0015]如圖3、4所示，本發明提出的前后電極石墨舟，包括:舟體I，舟體I由間隔交錯設置的奇數石墨片11和偶數石墨片12構成，奇數石墨片11和偶數石墨片12通過石墨棒串接，串接后奇數石墨片11和偶數石墨片12之間的間隔距離一致。奇數石墨片11的高度、長度、厚度均與偶數石墨片12—致，奇數石墨片11和偶數石墨片12上都排布有鏤空部，且奇數石墨片11和偶數石墨片12上的鏤空部水平對齊。
[0016]如圖5、7、8所示，奇數石墨片11的前端底部設有向前伸出的前端下耳片110，相鄰的前端下耳片110之間貼合設有前端下隔塊13或前導電石墨塊14，至少有一對相鄰的前端下耳片110之間設有前導電石墨塊14，也就是說，也就是說舟體I的前端底部設有至少一個如導電石墨塊14。奇數石墨片11的后端中部設有向后伸出的后端上耳片111，相鄰的后端上耳片111之間貼合設有后端上隔塊15。
[0017]如圖6、7、8所示，偶數石墨片12的后端底部設有向后伸出的后端下耳片120，相鄰的后端下耳片120之間貼合設有后端下隔塊16或后導電石墨塊17，至少有一對相鄰的后端下耳片120之間設有后導電石墨塊17，也就是說，舟體I的后端底部設有至少一個后導電石墨塊17。偶數石墨片12的前端中部設有向前伸出的前端上耳片121，相鄰的前端上耳片121之間貼合設有前端上隔塊18。
[0018]如圖7、8所示，用隔塊分隔相鄰的奇數石墨片11和相鄰的偶數石墨片12后，石墨棒穿過隔塊和石墨片，在用螺母固定兩端石墨棒兩