沉積用掩模安裝裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種沉積用掩模安裝裝置，更為詳細地涉及一種沉積用掩模安裝裝置，其結構簡單，在無需額外動力的情況下，在安裝部件上安裝掩模時，將掩模自動安裝在安裝位置上。
【背景技術】
[0002]以數字融合及普適(Ubiquitous)為代表的信息技術的革命，帶來了電子設備飛快的發展。其中，構成核心的技術之一是顯示技術。最近，對具有進一步優異的可視性、低成本及低耗電的顯示器的要求逐漸增加。隨之，PDP (Plasma Display Panel，等離子顯示板)、液晶顯示裝置(IXD:Liquid Crystal Display)及有機發光二極管(OLED:Organic LightEmitting D1de)備受關注。
[0003]有機發光二極管為電流流過就發光的自發光裝置，響應速度相比液晶顯示器快千倍以上，并且視角較寬。此外，無需液晶顯示裝置所需的背光及濾色鏡等，并且實現為柔性顯示器，而且不僅在性能方面，還在配件價格方面也具有很大的優點。
[0004]在有機發光二極管的制作中使用的有機薄膜在高真空狀態下采用真空沉積方式在基板的表面上依次形成。為了形成有機發光二極管的全彩顯示器(full colordisplay)，必須具備一種高精細(fine pitch)沉積圖案。為了形成這種沉積圖案，使用形成有圖案的掩模。為了提高沉積圖案的精度，不僅掩模本身的圖案要精密，并且使基板和掩模在機械方面精密對準(alignment)也非常重要。因此，首先固定掩模后，在掩模上精確對準基板。
[0005]圖1為以往的沉積用掩模固定裝置的示意的立體圖，圖2為表示圖1所示沉積用掩模固定裝置的掩模被固定的狀態的圖。
[0006]參照圖1及圖2，以往的沉積用掩模固定裝置10包括設置在板狀構架上的安裝部11和加壓部12等的結構。當通過掩模輸送臂(未圖示)投入掩模M時，安裝部11向上方移動而在上面安裝掩模M，之后，使掩模M向構架上面移動。之后，加壓部12將掩模M向固定銷側加壓，從而將掩模最終固定。
[0007]但是，這種以往的沉積用掩模固定裝置10，為了設置加壓部12等的結構需要一種更大面積的構架，并且，還需要用于驅動加壓部12的電機、用于控制安裝部11和加壓部12之間相互動作的控制裝置等。因此產生裝置的結構復雜，并且需要額外的動力，工藝復雜及用于驅動裝置的電路復雜等的問題。
【發明內容】
[0008]因此，本發明是為了解決所述以往的問題而提出的，其目的是提供一種沉積用掩模安裝裝置，該沉積用掩模安裝裝置的結構簡單，并且在安裝部件上安裝掩模時，在無需額外動力的情況下，將掩模自動安裝到安裝位置上。
[0009]所述目的通過本發明的沉積用掩模安裝裝置來實現，本發明的沉積用掩模安裝裝置為在沉積工藝中安裝用于對準基板的掩模的裝置，其特征在于，包括:基底，用于在其上面的安裝位置上安裝所述掩模；及安裝部，設置在所述基底上，包括:安裝部件，在安裝所述掩模時，使所述掩模下降；及加壓部件，與所述安裝部件聯動而對所述掩模的側面進行加壓，從而將所述掩模移送并安裝于安裝位置上。
[0010]在此，優選所述安裝部件通過安裝的所述掩模的荷載轉動規定角度，所述加壓部件與所述安裝部件聯動而轉動，從而移動至所述掩模的側面。
[0011]在此，優選所述安裝部進一步包括:連接部件，用于將所述安裝部件和所述加壓部件彼此連接，所述連接部件設置為能夠轉動。
[0012]在此，優選在所述基底上形成有收容槽，所述安裝部進一步包括:固定部件，設置在所述收容槽中，所述連接部件可轉動地結合到所述固定部件。
[0013]在此，優選所述安裝部進一步包括:輥部，設置在所述安裝部件或所述加壓部件中的至少一個的端部上，并且設置為能夠旋轉。
[0014]在此，優選所述輥部包括:第一輥，形成有用于安裝所述掩模的安裝面，用于使與所述第一輥的外表面接觸的所述掩模易于移動至所述安裝位置上；及第二輥，形成有用于加壓所述掩模的加壓面，用于將在所述第二輥的外表面上安裝的所述掩模引導至所述安裝面側。
[0015]在此，優選所述安裝部進一步包括:旋轉球部，形成為球狀，定位在所述安裝部件的內部并能夠轉動，所述旋轉球部的一部分裸露在所述安裝部件的外部以形成用于安裝所述掩模的安裝面，所述旋轉球部用于使與所述旋轉球部的外表面接觸的所述掩模易于移動至所述安裝位置上；及輥輪，形成在所述加壓部件的端部，形成有用于加壓所述掩模的加壓面，用于將安裝的所述掩模弓I導至所述安裝面側。
[0016]根據本發明，提供一種沉積用掩模安裝裝置，該沉積用掩模安裝裝置的結構簡單，并且在無需額外動力的情況下，在安裝部件上安裝掩模時，將掩模自動地安裝在安裝位置上。
[0017]此外，安裝在安裝部上的掩模向基底側下降的同時側面被加壓，因此能夠精密及簡單地安裝掩模。
[0018]此外，當掩模輸送臂未能在安裝面上安裝掩模時，由于輥輪將掩模引導至安裝面上，因此即使沒有額外的移動裝置也能安裝掩模。
[0019]此外，隨著裝置的結構總體的簡化，無需用于驅動裝置的電路，并且不會產生因與其他結構的相對位置帶來的制約等問題。
【附圖說明】
[0020]圖1為以往的沉積用掩模安裝裝置示意的立體圖，
[0021]圖2為表示在圖1所示沉積用掩模安裝裝置中掩模的安裝動作的圖，
[0022]圖3為本發明的一實施例的沉積用掩模安裝裝置的示意的立體圖，
[0023]圖4為圖3所示沉積用掩模安裝裝置的主視圖，
[0024]圖5為圖示圖3所示沉積用掩模安裝裝置的安裝部的圖，
[0025]圖6為表示在圖3所示沉積用掩模安裝裝置中掩模的安裝位置產生誤差時狀態的圖，
[0026]圖7為表示圖3所示沉積用掩模安裝裝置的運行的圖，
[0027]圖8為本發明的另一實施例的沉積用掩模安裝裝置的立體圖。
[0028]附圖標記說明
[0029]100:沉積用掩模安裝裝置110:基底
[0030]111:收容槽120:安裝部
[0031]121:安裝部件122:加壓部件
[0032]123:連接部124:固定部
[0033]130:輥部131:第一輥
[0034]132:第二輥133:旋轉球部
[0035]M:掩模S:安裝面
[0036]P:加壓面
【具體實施方式】
[0037]下面，參照附圖對本發明的一實施例的沉積用掩模安裝裝置進行詳細說明。
[0038]本發明的一實施例的沉積用掩模安裝裝置涉及一種在安裝部件上安裝掩模時，將掩模自動地安裝在安裝位置上，從而裝置的結構簡單，并且無需用于安裝掩模的額外動力的沉積用掩模安裝裝置。
[0039]圖3為本發明的一實施例的沉積用掩模安裝裝置示意的立體圖，圖4為圖3所示沉積用掩模安裝裝置的主視圖，圖5為圖3所示沉積用掩模安裝裝置的主要部分的放大圖。
[0040]參照圖3?圖5，本發明的一實施例的沉積用掩模安裝裝置包括基底110、設置在基底110的收容槽111上的安裝部120及設置在安裝部120上的輥部130。
[0041]在進行說明之前，對本實施例中使用的掩模M簡單說明如下，即所述掩模M包括形成有微細圖案的圖案部及具有規定厚度的邊緣部，所述邊緣部安裝在圖案部的周圍，用于固定圖案部。圖案部為使沉積原料通過的區域，故其前后面不能被阻斷，因此，在本實施例的沉積用掩模安裝裝置安裝掩模M的邊緣。
[0042]基底110用于在沉積工藝中安裝用于對準基板的掩模M的結構，設置為平板狀，在本實施例中設置為具有比掩模M的面積大的面積，以使所述基底110能夠穩定地安裝掩模M的邊緣部分。
[0043]基底110形成有多個收容槽111。收容槽111形成為從基底110的上面向內側凹陷規定深度，在收容槽111內設置有安裝部120。在本實施例中形成有四個收容槽111，以對掩模M的兩側面進行加壓從而將掩模安裝在基底110的上面，但收容槽111的數量不受限制。
[0044]另外，在基底110的中央部形成有貫通孔，從而能夠使沉積原料通過。本實施例中的沉積裝置為向上式沉積裝置，從基底110的下方向上方釋放沉積原料，因此在基底110的中央部形成有貫通孔，使得沉積原料通過安裝在基底110的上面的掩模M向基板側移動并被沉積。
[0045]此外，在基底110上可設置有升降部(未圖示)。升降部(未圖示)為如下的結構:當通過掩模輸送臂(未圖示)被投入到基底110上方的掩模M安裝于所述升降部(未圖示)時，升降部(未圖示)下降并將掩模M安裝在安裝部120上。只是，也可設置為使掩模輸送臂(未圖示)將掩模M安裝在安裝部120上，此時可以不需要升降部(未圖示)。
[0046]圖5為圖示圖3所示沉積用掩模安裝裝置的安裝部的圖。參照圖5，安裝部120為當在安裝部件121上安裝掩模M時，將掩模M自動地安裝在基底110上面的安裝位置上的結構，安裝部120包括安裝部件121、加壓部件122、連接部件123及固定部件124。
[0047]安裝部件121為用于形成安裝面S的結構，該安裝面S用于安裝通過掩模輸送臂(未圖示)被投入到基底110上方的掩模M，設置在收容槽111上。安裝部件121配置為多個并且向上支撐掩模M的下面邊緣，從而形成安裝面S。
[0048]在安裝掩模之前，安裝面S形成在基底上面的上方。當掩模輸送臂(未圖示)投入掩模M時，實際上不可能在安裝位置上精密地安裝，因此需要將安裝在基底110上面的掩模M向安裝位置側加壓而使之移動。在本實施例中，安裝部件121和加壓部件122聯動而轉動，從而安裝面S和加壓面P聯動旋轉，因此安裝面S形成在基底上面的上方，從而隨著加壓面P向掩模M的側面移動，能夠使安裝面S向基底110的上面側移動。
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