一種旋轉工作臺及晶圓減薄機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及硅片超精密磨削技術領域，特別是涉及一種旋轉工作臺及晶圓減薄機。
【背景技術】
[0002]在半導體專用設備制造過程中，承片臺的角度調整是實現磨削晶圓質量的關鍵技術。在現代化的生產設備中，承片臺角度調整一般是通過拆卸承片臺或是通過擰緊、松開承片臺座的安裝螺釘來達到。這種調整手段往往浪費大量寶貴時間，影響設備磨削的工作效率，造成人力物力的損失。另外，在拆卸過程中往往會影響到整個承片臺系統定位精度及軸向精度，影響磨削質量，從而影響設備的穩定性。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于提供一種旋轉工作臺及晶圓減薄機，用于解決現有技術中承片臺的角度調整方法浪費工時、效率低且影響承片臺穩定性的問題。
[0004]為了實現上述目的，本發明實施例提供的一種旋轉工作臺，包括:
[0005]與承片臺座可拆卸連接的旋轉工作臺本體，所述承片臺座位于所述旋轉工作臺本體的上表面；
[0006]與所述旋轉工作臺本體可拆卸連接的固定連接板，所述固定連接板位于所述旋轉工作臺本體的下表面;其中，
[0007]所述旋轉工作臺本體內設置有聯軸器，所述聯軸器連接有旋轉螺桿以及電機的電機軸；
[0008]所述固定連接板上連接有所述電機的電機本體以及電機保護套，所述電機本體套設于所述電機保護套內。
[0009]其中，所述電機為壓電陶瓷電機。
[0010]其中，所述旋轉螺桿的一端與所述聯軸器連接，所述旋轉螺桿的另一端與所述承片臺座連接。
[0011]其中，所述電機上設置有第一安裝孔，所述電機通過所述第一安裝孔與所述固定連接板固定連接。
[0012]其中，所述電機保護套上設置有第三安裝孔，所述電機保護套通過所述第三安裝孔與所述固定連接板固定連接。
[0013]其中，所述固定連接板上設置有與所述第一安裝孔相對應的第二安裝孔，以及與所述第三安裝孔相對應的第四安裝孔。
[0014]其中，所述固定連接板上還設置有第五安裝孔以及第六安裝孔，所述固定連接板通過所述第五安裝孔與所述旋轉工作臺本體連接，所述電機軸穿過所述第六安裝孔與所述聯軸器連接。
[0015]其中，所述旋轉工作臺本體的上表面上設置有四個所述承片臺座。
[0016]其中，與所述承片臺座相對應的所述旋轉工作臺本體的下表面上設置有兩個所述固定連接板。
[0017]本發明實施例還提供一種晶圓減薄機，包括:承片臺、控制主機以及如上述所述的旋轉工作臺；
[0018]其中，所述控制主機與所述電機電連接。
[0019]本發明的上述技術方案的有益效果如下:
[0020]本發明實施例的方案中，通過晶圓減薄機上的控制主機控制電機的電機軸旋轉，從而通過聯軸器帶動旋轉螺桿向上或向下運動，進而調整承片臺座左右高低，實現微調承片臺角度的目的。避免了傳統拆卸承片臺重新打表的繁瑣過程，提高了設備的整體使用效率及穩定性。
【附圖說明】
[0021]圖1為本發明實施例的旋轉工作臺的剖視圖；
[0022]圖2為本發明實施例的旋轉工作臺的立體結構示意圖一；
[0023]圖3為本發明實施例的旋轉工作臺的立體結構示意圖二；
[0024]圖4為本發明實施例的旋轉工作臺本體的下表面局部放大示意圖；
[0025]圖5為本發明實施例的旋轉工作臺中旋轉螺桿的結構示意圖；
[0026]圖6為本發明實施例的旋轉工作臺中的電機保護套的結構示意圖。
[0027]附圖標記說明:
[0028]1-承片臺座；2-旋轉工作臺本體;3-固定連接板;4-聯軸器;5-旋轉螺桿;6_電機；7-電機軸;8-電機本體;9-電機保護套;10-圓形凹槽;11-圓形通孔。
【具體實施方式】
[0029]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0030]本發明公開了一種旋轉工作臺，如圖1所示，該旋轉工作臺包括:與承片臺座I可拆卸連接的旋轉工作臺本體2，所述承片臺座I位于旋轉工作臺本體2的上表面；
[0031]這里需說明的是，承片臺包括承片臺座I及位于承片臺座I上的承片臺座本體，該承片臺本體固定安裝于承片臺座I上。
[0032]這里，承片臺座I上設置有多個安裝孔，用于將該承片臺座I與旋轉工作臺本體2固定連接。
[0033]與旋轉工作臺本體2可拆卸連接的固定連接板3，固定連接板3位于旋轉工作臺本體2的下表面;其中，
[0034]旋轉工作臺本體2內設置有聯軸器4，聯軸器4連接有旋轉螺桿5以及電機6的電機軸7。也就是說，旋轉工作臺本體2上設置有放置該聯軸器4的限位結構。如圖4所示，該限位結構為內部中空的圓形凹槽10。圓形凹槽10的底部設置有一圓形通孔11，旋轉螺桿5穿過該圓形通孔11與承片臺座I連接。
[0035]這里，本發明實施例中聯軸器4優先地為彈性聯軸器。當然不僅限于此類型的聯軸器，其他可放置于旋轉工作臺上的聯軸器均可采用。
[0036]如圖5所示，該旋轉螺桿5為一端外設有螺紋的圓柱桿，作為聯軸器4上的從動軸。本發明實施例中旋轉螺桿5的一端與聯軸器4連接，另一端與承片臺座I連接。
[0037]固定連接板3上連接有電機6的電機本體8以及電機保護套9，電機本體8套設于電機保護套9內。
[0038]本發明實施例中電機6包括電機本機8以及電機軸7，優選地為壓電陶瓷電機。當然不僅限于該類型的電機，其他可實現高定位精度、高穩定性、體積小、重量輕的電機均可采用。
[0039]這里需說明的是，該