成膜裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及在真空氣氛中形成薄膜的成膜裝置的技術領域，尤其涉及使用自轉公轉夾具的成膜裝置的技術領域。
【背景技術】
[0002]在真空氣氛中形成薄膜的情況下，存在一塊一塊地成膜于基板的逐塊式的成膜裝置和一次成膜于多個塊數的基板的分批式的成膜裝置，作為分批式的成膜裝置，已知將多塊基板裝配于自轉公轉夾具且一邊使自轉公轉夾具旋轉一邊形成薄膜的成膜裝置。
[0003]圖10的符號102是該現有技術的真空成膜裝置，在真空槽111的內部，配置有固定于真空槽111的圓形軌道116、多個(在此為3臺)自轉公轉夾具121廣1213以及成膜源115。
[0004]自轉公轉夾具121廣1213是平坦的圓盤狀或像球體的一部分那樣彎曲的圓頂形狀，如圖11所示，在單面(在彎曲的情況下為凹面)，安裝有多塊作為成膜對象的基板126。
[0005]在各自轉公轉夾具121廣1213的相反側的面(在彎曲的情況下為凸面)側，配置有旋轉軸，在該面，在中心位置固定有旋轉軸127的一端，在另一端，設有行駛車輪122。
[0006]行駛車輪122配置于圓形軌道116上，如果通過未圖示的移動裝置來以圓形軌道116的中心點為中心而將沿著圓形軌道116的彎曲的方向的力施加至旋轉軸127，則行駛車輪122在圓形軌道116上滾動，一邊旋轉一邊行駛。
[0007]如果行駛車輪122旋轉，則旋轉軸127和自轉公轉夾具121廣1213以其中心軸線為中心而旋轉。
[0008]在行駛車輪122行駛時，自轉公轉夾具121廣1213以行駛車輪122的行駛的中心點為中心而回旋。
[0009]如果將該回旋稱為公轉，將自轉公轉夾具121廣1213的旋轉稱為自轉，則各自轉公轉夾具121廣1213—邊自轉一邊公轉。
[0010]成膜源115配置于自轉公轉夾具121廣1213的下方，具有容器115a和配置于容器115a的內部的成膜材料115b。
[0011 ] 在真空槽111，連接有真空排氣裝置117，如果在由真空排氣裝置117使真空槽111的內部進行真空排氣而成為真空氣氛之后，由未圖示的加熱裝置對成膜材料115b進行加熱，產生成膜材料115b的蒸氣，則該蒸氣從成膜源115放出至真空槽111的內部。
[0012]在各自轉公轉夾具121廣1213，多個基板126分別朝向成膜源115配置。
[0013]自轉公轉夾具121廣1213分別以既定距離離開而配置，基板126與自轉公轉夾具121廣1213—起進行旋轉和回旋，同時，從成膜源115放出的蒸氣到達基板126的表面，生長出均勻的薄膜。
[0014]自轉公轉夾具121廣1213是平坦的圓盤或彎曲的圓盤，即使如圖12所示地使鄰接的自轉公轉夾具121廣1213的外周彼此接觸，也在自轉公轉夾具121廣1213的外周與鄰接的自轉公轉夾具121廣1213的外周之間形成間隙。
[0015]在該間隙，存在多個自轉公轉夾具121廣1213中的被各自轉公轉夾具121廣1213的頂點附近的外周包圍而形成的間隙部分10a和形成于鄰接的二個自轉公轉夾具121廣1213的外周之間的間隙部分10br10b3，從成膜源115放出的蒸氣的一部分通過這些間隙部分100a、10b廣10b3,無助于成膜而消耗。
[0016]此外，關于使用自轉公轉夾具的成膜裝置，記載于例如日本特開昭57-70274號公報、日本特開2002-164303號公報，以未形成間隙的方式成膜的技術記載于例如日本特開2012-224878號公報，對使用自轉公轉夾具的裝置進行改良的技術記載于例如日本專利第2762948號公報，但未找到具有使間隙部分減少的自轉公轉夾具的成膜裝置。
[0017]專利文獻
專利文獻1:日本特開昭57-70274號公報；
專利文獻2:日本特開2002-164303號公報；
專利文獻3:日本特開2012-224878號公報；
專利文獻4:日本專利第2762948號公報。
【發明內容】
[0018]發明要解決的課題
本發明是為了解決上述現有技術的不良而創作的，其目的在于，提供能夠使間隙部分減少而有效地活用成膜材料的成膜裝置。
[0019]用于解決課題的方案 (由于照抄權利要求，因而省略。)
發明的效果
成膜材料的使用效率提高。
[0020]即使不使裝置大型化，也能夠使能夠通過一次成膜處理工序而形成薄膜的基板的塊數增加。
[0021]即使不增大圓形軌道的直徑，也能夠增大自轉公轉夾具的傾斜度并減小成膜材料粒子的入射角度。
[0022]由于入射角度小，因而能夠使成膜材料粒子到達形成于基板表面的深孔或槽的底面。
【附圖說明】
[0023]圖1是本發明的一個示例的成膜裝置。
[0024]圖2是夾具安裝裝置的立體圖。
[0025]圖3(a)、(b)是用于說明框體的內部的圖，(a)是圓盤的自轉公轉夾具的情況，(b)是圓頂型的自轉公轉夾具的情況。
[0026]圖4是用于說明配置于自轉公轉夾具的基板的位置的圖。
[0027]圖5是用于說明6塊自轉公轉夾具的配置的圖。
[0028]圖6(a)、(b)是用于說明將4英寸基板配置于自轉公轉夾具的狀態的圖，(a)是平面圖，(b)是立體圖。
[0029]圖7(a)、(b)是用于說明將5英寸基板配置于自轉公轉夾具的狀態的圖，(a)是平面圖，(b)是立體圖。
[0030]圖8(a)、(b)是用于說明將6英寸基板配置于自轉公轉夾具的狀態的圖，(a)是平面圖，(b)是立體圖。
[0031]圖9(a)、(b)是用于說明將8英寸基板配置于自轉公轉夾具的狀態的圖，(a)是平面圖，(b)是立體圖。
[0032]圖10是現有技術的成膜裝置。
[0033]圖11是用于說明將基板配置于自轉公轉夾具的狀態的圖。
[0034]圖12是示出使自轉公轉夾具密合時的狀態的圖。
【具體實施方式】
[0035]<實施方式>
圖1示出本發明的成膜裝置2。
[0036]該成膜裝置2具有真空槽11，在真空槽11的內部，配置有圓形軌道16，固定于真空槽11。
[0037]在真空槽11的內部，配置有5個以上的多個(在圖1中為5個)自轉公轉夾具21廣215和保持各自轉公轉夾具21廣215的夾具安裝裝置20。
[0038]在圖2中示出夾具安裝裝置20。夾具安裝裝置20具有:主旋轉軸34，氣密地插入貫通于真空槽11的頂棚；頂板30，配置于真空槽11的內部，安裝于主旋轉軸34的下端；臂31，上部設于頂板30 ;以及框體32，設在臂31的下部。
[0039]在該示例中，臂31，與自轉公轉夾具21廣215相同數量的條數固定于頂板30。
[0040]頂板30具有從圓盤狀的部分延伸至圓盤的中心的橋板33，在圓盤的中心位置處，主旋轉軸34的下端固定于橋板33。
[0041]夾具安裝裝置20由主旋轉軸34懸吊于真空槽11的內部。
[0042]自轉公轉夾具21廣215位于頂板30的下方，如圖3(a)的截面圖所示，是圓盤狀的形狀，或者，如圖3(b)的截面圖所示，是球體的一部分，成為中央部彎曲的圓頂型的形狀。
[0043]在各自轉公轉夾具21廣215，在自轉公轉夾具21廣215的中心位置，設有棒狀的夾具軸38的一端。
[0044]作為夾具軸38的中心軸線的夾具旋轉軸線29分別通過自轉公轉夾具21廣215的中心位置，如果夾具軸38以夾具旋轉軸線29為中心而旋轉，則自轉公轉夾具21廣215也以夾具旋轉軸線29為中心而旋轉。
[0045]在該示例中，關于夾具軸38，夾具旋轉軸線29相對于自轉公轉夾具21廣215的設有夾具軸38的部分而垂直，無論在各自轉公轉夾具21廣215上的哪個位置，都在與夾具旋轉軸線29垂直的平面內旋轉。
[0046]夾具軸38的另一端插入貫通于框體32的內部，各自轉公轉夾具21廣215的重量經由夾具軸38和框體32而由夾具安裝裝置20支撐。
[0047]在圓形軌道16上，配置有一端安裝于車輪軸27的行駛車輪22。
[0048]車輪軸27的另一端插入框體32，行駛車輪22經由車輪軸27和框體32而由夾具安裝裝置20按壓于圓形軌道16上。
[0049]夾具軸38和車輪軸27能夠相對于框體32而旋轉，如果行駛車輪22在圓形軌道16上一邊滾動一邊行駛,則車輪軸27能夠旋轉。
[0050]在真空槽11的外部，配置有電動機13。
[0051]電動機13安裝于主旋轉軸34的上部，使主旋轉軸34以作為主旋轉軸34的中心軸線的主旋轉軸線12為中心而旋轉