過排氣通道130和氣體導管110的壓力分布。
[0063]盡管如上所述描述了本發明的示意性實施方式，其中一部分參考了附圖，但應理解本發明并不限于這些實施方式。本領域技術人員通過實施要求保護的本發明，研究附圖、說明書以及所附權利要求書，可以理解和實現所述實施方式的各種變化形式。說明書中提及的“一個實施方式”或“一種實施方式”表示結合實施方式描述的具體特征、結構或性質包括在本發明的至少一個實施方式中。因此，在說明書中各處出現的短語“在一個實施方式中”或“在一種實施方式中”不一定全部都涉及同一個實施方式。此外，應注意可以以任意合適的方式組合一個或多個實施方式的具體特征、結構或者特性，以形成新的、未明確描述的實施方式。
【主權項】
1.一種基片加工設備(100)，其包含: -具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和兩個側向隧道壁(128)的加工隧道(102)，其中所述隧道壁構造成用來限定出加工隧道空間(104)，所述加工隧道空間在縱向運輸方向(T)上延伸，并適合容納至少一個平行于上下隧道壁(122，142)取向的基本上平坦的基片(180); -在所述下隧道壁和所述上隧道壁里提供的多個氣體注入通道(124，144)，其中下隧道壁里的氣體注入通道(124)構造成用來提供下氣體軸承(126)，而上隧道壁里的氣體注入通道(144)構造成用來提供上氣體軸承(146)，所述氣體軸承構造成用來浮動支承所述基片(180)，并將所述基片(180)容納在所述氣體軸承之間；以及 -多個排氣通道(130)，其設置在所述兩個側向隧道壁中，或者設置在上下隧道壁(122，142)中至少一個隧道壁里緊鄰所述兩個側向隧道壁(128)的位置，其中各側向隧道壁里的或者緊鄰各側向隧道壁的排氣通道在運輸方向上間隔開； 其特征在于，所述加工隧道分成包含所述下隧道壁的下隧道體(120)和包含所述上隧道壁的上隧道體(140)，所述隧道體(120，140)沿著至少一個縱向延伸的接合部(160)以可分離的方式彼此接合，使得它們可在閉合形態與開放形態之間相互移動，其中在閉合形態中，所述隧道壁(122，128，142)限定出加工隧道空間(104)，而開放形態能夠提供通向加工隧道內部的側向維護通道。2.如權利要求1所述的基片加工設備，其包含壓力機(190)或至少一個夾具，用來迫使上下隧道體(120，140)沿著所述至少一個縱向延伸的接合部(160)接合在一起，以實現閉合形態。3.如權利要求2所述的基片加工設備，其特征在于，所述壓力機(90)或所述至少一個夾具構造成用來在所述縱向延伸的接合部處分離上下隧道體(120，140)，以實現開放形態。4.如權利要求2所述的基片加工設備，其包含同時與上下隧道體(120，140)連接的鉸鏈，所述鉸鏈構造成用來鉸連上隧道體(140)和下隧道體(120)以實現開放形態，以及將上下隧道體(120，140)沿著所述至少一個縱向延伸的接合部(160)合到一起，在此合起的位置，所述壓力機(190)或所述至少一個夾具迫使上下隧道體(120，140)沿著所述至少一個縱向延伸的接合部(160)接合在一起，以實現閉合形態。5.如權利要求2或3所述的基片加工設備，其特征在于，所述上下隧道壁(122，142)基本上是平坦的，以及 所述壓力機(190)構造成用來移動上下隧道體(120，140)，其中上下隧道壁(122，142)處于平行關系。6.如權利要求1-5中任意一項所述的基片加工設備，其特征在于，所述下隧道體(120)包含兩個側向隧道壁(128)，使得其下隧道壁(122)和側向隧道壁(128)—起限定出總體上呈U形的橫向截面壁剖面。7.如權利要求6所述的基片加工設備，其特征在于，所述側向隧道壁(128)中的至少一個隧道壁限定出平坦的朝上接合表面(132)，以及 所述上隧道體(140)限定出平坦的朝下接合表面(148)，該平坦的朝下接合表面與上壁(122)的內表面共平面，并構造成在閉合形態下與平坦的朝上接合表面(132)鄰接，從而限定出所述至少一個縱向延伸的接合部(160)。8.如權利要求1-7中任意一項所述的基片加工設備，其特征在于，所述接合部(160)與所述側向隧道壁(128)中的或者緊鄰所述側向隧道壁(128)的排氣通道(130)不相交。9.如權利要求8所述的基片加工設備，其還包含壓力調節機構，該壓力調節機構構造成用來平衡所述接合部(160)相對兩側的壓力，使得沿接合部的壓降△ Pftgt遵守△ P搖鄉? 0。10.如權利要求8-9中任意一項所述的基片加工設備，其特征在于，所述壓力調節機構包含: -氣體栗(200)，其與鄰近所述接合部(160)的受控排氣通道(130)相連，能夠控制該受控排氣通道內的氣體壓力；以及 -壓力控制系統(202)，其構造成用來通過控制所述氣體栗(200)來控制該受控排氣通道(130)內的壓力，從而在鄰近該受控排氣通道的位置局部實現條件△ P搖鄉-0。11.如權利要求10所述的基片加工設備，其特征在于，所述壓力控制系統(202)包括: -壓差傳感器(204a，204b)，其與所述受控排氣通道(130)相連，并構造成用來監測加工隧道空間內的第一位置(104)與加工隧道空間外的第二位置(204)之間的壓力差，并產生反映該壓力差的信號，其中所述第一位置同時靠近接合部(160)和受控排氣通道(130); -控制器(206)，其同時與壓差傳感器(204a，204b)和氣體栗(200)可操作地連接，并構造成用來根據壓差傳感器收到的信號控制氣體栗，從而在鄰近受控排氣通道(130)的位置局部實現條件Δ P搖鄉? 0。12.如權利要求10或11所述的基片加工設備，其特征在于，所述氣體栗(200)包括抽風扇。13.如權利要求8-9中任意一項所述的基片加工設備，其特征在于，所述壓力調節機構包含: -限定出緩沖空間(211)的輔助容器(210)，其構造成用來容納經過加壓的緩沖氣體，所述緩沖空間與接合部(160)外部流體連通； -氣體栗(212)，其與所述次級容器(210)可操作地連接，從而用所述緩沖氣體對所述緩沖空間(211)加壓；以及 -壓力控制系統(214)，其構造成用來通過控制所述氣體栗(212)來控制所述緩沖空間(211)內的緩沖氣體的壓力，從而沿著所述接合部(160)實現條件△ P搖鄉? 0。14.如權利要求13所述的基片加工設備，其特征在于，所述壓力控制系統(214)包括: -壓差傳感器(216a，216b)，其構造成用來監測所述加工隧道空間(104)內的第一位置與所述緩沖空間(211)內的第二位置之間的壓力差，并產生反映該壓力差的信號；以及-控制器(218)，其同時與壓差傳感器(216a，216b)和氣體栗(212)可操作地連接，并構造成用來根據壓差傳感器收到的信號控制氣體栗，從而局部實現條件AP搖鄉》0。
【專利摘要】一種基片加工設備(100)，其包含具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和兩個側向隧道壁(128)的加工隧道(102)，所述隧道壁構造成用來限定出加工隧道空間(104)，所述加工隧道空間在縱向運輸方向(T)上延伸，并適合容納至少一個平行于上下隧道壁(122,142)取向的基本上平坦的基片(180)，所述加工隧道分成包含下隧道壁的下隧道體(120)和包含上隧道壁的上隧道體(140)，所述隧道體(120,140)可沿著至少一個縱向延伸的接合部(160)以可分離的方式彼此接合，使得它們可在閉合形態與開放形態之間相互移動，其中在閉合形態中，隧道壁(122,128,42)限定出加工隧道空間(104)，而開放形態能夠提供通向加工隧道內部的側向維護通道。
【IPC分類】C23C16/54, C23C16/455, H01L21/677, B65G51/03
【公開號】CN105473762
【申請號】CN201480028863
【發明人】E·H·A·格蘭尼曼, P·塔克
【申請人】Asm國際股份有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2014年3月18日
【公告號】EP2976444A1, WO2014148893A1