速度從研磨材料 排出口 32e朝向裝入加工容器10內的被加工物W投入(落下）。
[0082] (工序6:研磨工序）
[0083]在加工容器10內，在正在流動的被加工物W彼此的間隙也產生朝向吸引部件41吸 引的氣流。朝向加工容器10投入的研磨材料借助該氣流通過被加工物W彼此的間隙，從而朝 向吸引部件41。此時，研磨材料與被加工物W相互刮擦，因此，被加工物W被研磨。此外，被加 工物W在加工容器10內如圖4那樣流動，因此，能夠在所有的每一被加工物W的完成精度不存 在不均地將任一被加工物W均勻地研磨。本實施方式的研磨裝置不像噴氣裝置那樣將研磨 材料與壓縮空氣一同作為氣固二相流噴附于被加工物W，因此，即便被加工物W小型輕量，也 能夠不從加工容器飛散地進行研磨。
[0084] (工序7:研磨材料回收工序）
[0085] 通過加工容器10后的研磨材料借助朝向集塵裝置42吸引的氣流朝向吸引部件41。 由于在加工容器10與吸引部件41之間形成有較小的間隙，所W吸引外部大氣而產生從吸引 部件41外朝向內側的氣流。因此，通過加工容器10后的研磨材料不會朝外部飛散而全部朝 向吸引部件41。
[0086] 吸引部件41內的研磨材料通過軟管43回收到集塵裝置42。
[0087]能夠利用W上的工序研磨被加工物W。
[0088] 在輸入至控制部的研磨時間結束后，研磨材料投入單元30自動地停止，研磨材料 的投入停止。此時，馬達22W及集塵裝置42持續工作，因此，殘留在加工容器10內的研磨材 料被回收到集塵裝置42。在經過預定時間后，馬達22停止，接著，集塵裝置42停止。
[0089] 將加工容器10從保持架21取下，回收被加工物W，從而完成研磨。
[0090] 通過使用W上的研磨方法，能夠實施被加工物W的圓化(R角加工）。
[0091] 其次，對使用第一實施方式的研磨裝置研磨被加工物的結果進行說明。此處，W被 加工物的角部的圓化為目的進行研磨，進行流動化(流動狀態）的評價、研磨后的被加工物 的評價、研磨后的環境的評價。
[0092] (流動化的評價）
[0093] 首先，掲示流動化的評價。將被加工物W設為由SiC和Al2〇3的混合物構成的陶瓷的 生材(燒結前的物品）。將該被加工物W的尺寸設為0.5mmX0.5mmX1.0mm。將該被加工物W的 一半用油性涂料涂裝成黑色。
[0094] 其次，W達到加工容器10的容積的1/5程度的方式將被加工物W裝入加工容器10。 被加工物WW未涂裝品與涂裝品達到1:1的方式裝入。
[00M]接著，在使集塵裝置42工作后，使加工容器10旋轉30分鐘而使被加工物W流動化。 另外，該流動化(攬拌)的條件如表1所示。表1中的各評價條件表示下述的內容。
[0096] 傾斜角度(deg.);加工容器10相對于水平面的傾斜角度0
[0097] 轉速（％ );加工容器10的轉速/臨界轉速X100
[0098] 面積;研磨材料吸引部B的面積/加工容器10的底面部12的面積
[0099] 吸引速度(mm/s);研磨材料吸引部B的吸引的風速
[0100] 位置(deg.);W從底面部12中屯、朝向底面部12的周緣部下端的假想線為基準，從 該假想線起加工容器10對于旋轉方向的相位角度a
[0101] 氣流控制部件50的有無;在加工容器10的底面部12背面是否配置了該底面部的直 徑的1/3的氣流控制部件50
[0102] 在經過30分鐘后，停止加工容器IOW及集塵裝置42的工作。在停止工作后，在上述 的相位角度為0°、-1〇°、1〇°的位置將被加工物W分別采集100個，且計數未涂裝品個數。進行 =次該作業，算出該3處X3次的平均值，由此評價被加工物W的流動狀態。評價基準如下所 述。
[0103] ◎……未涂裝品的個數為45~55個
[0104] O……未涂裝品的個數為40~44個或者56~60個 [01化]A……未涂裝品的個數為30~39個或者61~70個
[0106] X 未涂裝品的個數為29個W下或者71個W上
[0107] 【表1】
[010 引
[0109]將流動化的評價匯總于表1。在實施例1-1~實施例1-20中，不配置氣流控制部件 50地進行被加工物W的攬拌。結果，在任一條件下評價均為"A"或者。"A"的評價是當 實際進行研磨時雖然產生不均但作為實際制品并未產生問題的等級，通過實驗確認在實用 方面沒有問題的評價。此外，通過將其他的條件最佳化而成為評價的等級。因此，確認 了在表1的條件下能夠良好地攬拌被加工物W。另外，實施例1-4是定性評價為評價，但 定量評價略微劣于實施例1-3。同樣地，實施例1-9與實施例1-10相比定量評價略微劣。
[0110] 此外，在加工容器10的底面部12背面配置有氣流控制部件50的情況(實施例1-20) 下，評價為"◎"，確認能夠更均勻地進行攬拌。
[0111] (研磨后的被加工物的評價、研磨后的環境的評價）
[0112] 其次，掲示研磨后的被加工物的評價W及研磨后的環境的評價。對將氧化侶質的 研磨粒(WA#800;新東工業株式會社制）從研磨材料投入單元30W20g/分鐘的投入速度投 入，將被加工物研磨研磨時間30分鐘所得的結果進行說明。在本實施評價中，W6個種類的 被加工物進行了評價。W下示出被加工物的詳細情況。
[0113] 被加工物A;由SiC和Al2〇3的混合物構成的陶瓷的生材（尺寸；0.5mmX0.5mmX I.0mm)
[0114] 被加工物B;由SiC和AI2O3的混合物構成的陶瓷的生材(尺寸;0.15mmX0.15mmX 0.20mm)
[0115] 被加工物C;由SiC和Al2O3的混合物構成的陶瓷的生材（尺寸；I.OmmXI.OmmX 1.5mm)
[0116] 被加工物D;鐵氧體(尺寸;0.5mmX0.5mmX1.0mm)
[0117]被加工物E;玻璃（尺寸；0.5mmX0.5mmX1.0mm)
[011 引被加工物F;銅(尺寸;0.5mmX0.5mmX1.0mm)
[0119] W達到加工容器10的容積的1/5程度的方式將被加工物裝入加工容器10。然后，在 使集塵裝置42工作后，使加工容器10旋轉30分鐘從而使被加工物流動化。另外，該流動化 (攬拌）的條件如表2所示。對于表2中的各評價條件，傾斜角度?轉速?面積?位置?氣流 控制部件的有無與流動化的評價中掲示的評價條件的內容相同。W下掲示與流動化的評價 不同的評價條件亦即通過速度。
[0120] 通過速度(mm/s);研磨材料通過裝入加工容器10內的被加工物彼此之間的速度。
[0121] 通過利用流速計測系統(FlowtechResearch股份有限公司；PIV系統)測定研磨材 料的流體速度來評價通過速度。具體而言，測定從研磨材料投入單元30投入的研磨材料即 將與被加工物W接觸之前的部分的速度，將該值作為通過速度。
[0122] 其次，將氧化侶質的研磨粒(WA#800;新東工業株式會社制)裝入膽存箱31，W該研 磨材料的投入速度為20g/min裝入的方式使輸送馬達32i工作。使加工容器IOW及集塵裝置 42工作，進行30分鐘的研磨。
[0123] 對研磨后的被加工物進行了評價。具體而言，進行了 "加工精度"、"表面狀態"、"研 磨材料的殘留"的評價。各個評價方法W及評價基準如下所述。
[0124] <加工精度>
[0125] 將在各個條件下進行了研磨的被加工物各采集10個，利用顯微鏡（基恩±制造 VHX-2000)進行觀察，評價角部的圓化加工。加工精度的評價基準如下所述。
[0126]O……在全部的被加工物中，均已進行了圓化加工。
[0127] A......未進行圓化加工的被加工物為1個~3個。
[012引 X......未進行圓化加工的被加工物為4個W上。
[0129] <表面狀態>
[0130] 將在各個條件下進行了研磨的被加工物W分別各采集10個，利用顯微鏡(基恩±制 造VHX-2000)進行觀察，評價被加工物的表面狀態(裂紋?碎片?劃痕的有無）。表面狀態的 評價基準如下所述。
[0131]O......在全部的被加工物中，均未觀察到裂紋或者碎片。
[0132] A......存在裂紋或者碎片的被加工物為1個~3個。
[0133] X......存在裂紋或者碎片的被加工物為4個W上。
[0134] <研磨材料的殘留>
[0135] 對于在各個條件下進行了研磨的研磨后的被加工物，使用超聲波振動篩，通過篩 分將研磨后的被加工物和附著于被加工物的附著物進行分類。將篩分所使用的篩的網眼 (篩網直徑)設定為不使研磨后的被加工物通過而僅使附著物通過。之后，分別測定附著物 除去后的被加工物和附著物的重量。然后，W"(附著物的重量)/(附著物除去后的被加工物 的重量）X1〇〇( %r算出研磨材料的殘留率，評價研磨材料的殘留。"研磨材料的殘留"的評 價基準如下所述。
[0136]O......研磨材料的殘留率不足1 %。
[0137]A……研磨材料的殘留率為I%W上且不足3%。
[013引X……研磨材料的殘留率為3%W上。
[0139] -同地對研磨后的環境進行了評價。具體而言，進行了 "研磨材料的飛散"的評價。 評價方法W及評價基準如下所述。
[0140] <研磨材料的飛散>
[0141] 在各個條件下進行研磨之后，為了對結束研磨的研磨裝置1周邊分析研磨工序時 飛散的研磨材料的程度，而進行了 "研磨材料的飛散"的評價。"研磨材料的飛散"的評價基 準如下所述。
[0142] O……在進行研磨之后，通過目視確認在加工容器10外未能觀察到研磨材料。
[0143] X……在進行研磨之后，通過目視確認在加工容器10外觀察到研磨材料。
[0145]將研磨后的被加工物的評價W及研磨后的環境的評價匯總于表2。在實施例2-1~ 實施例2-21中，進行了被加工物A的研磨。結果，在任一條件下評價均為"A"或者"〇"。評價 為"A"的被加工物的品質是作為制品不存在的程度的品質。此外，該品質是通過使其他的 條件最佳化而成為"o"評價的程度的品質。在每個實施例中，能夠確認在與加工精度、表面 狀態、研磨材料的殘留相關的結果產生了差異。但是，雖然在結果產生差異，但被加工物的 品質在實施例2-1~實施例2-21的任一條件下都不存在問題。因此，能夠確認被加工物A在 表2的實施例中都能夠良好地進行研磨。
[0146] 進而，在實施例2-22和實施例2-23中，改變被加工物的尺寸，W與實施例2-21相同 的評價條件進行了被加工物的評價。該評價的結果，能夠確認能夠與被加工物的尺寸的大 小關系無關地良好地進行研磨。并且，在實施例2-24~實施例2-