一種pvd機臺及其接觸面板的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及物理氣相沉積技術領域，特別是涉及一種PVD機臺及其接觸面板。
【背景技術】
[0002]在PVD (Physical Vapor Deposit1n，物理氣相沉積)領域中，隨著革El材利用率提升，金屬純鋁進程1的上線以及異型靶的改進，不但運營成本大幅降低，也使得保養周期大幅地延長，間接地提升設備嫁動率和產出。
[0003]目前，處理室或者反應室中的零件壽命未能夠匹配如此長的保養周期。例如，純鋁上線的處理室會將兩個A1靶用完才進行保養，因此托盤上的接觸面板(Touch Plate)必須承受兩個A1革E—共10000kw/hr的轟擊。現有技術的接觸面板無法承受10000kw/hr以上的轟擊，造成鍍膜脫落，導致產品受到污染，嚴重影響產品良率。
【發明內容】
[0004]本發明實施例提供了一種PVD機臺及其接觸面板，以解決上述問題。
[0005]本發明提供一種接觸面板，接觸面板用于PVD機臺，PVD機臺包括至少4個首尾相連的橫棒，至少一接觸面板設置在PVD機臺的一個橫棒上，橫棒通過接觸面板環繞并夾持待鍍金屬膜的玻璃基板的邊緣部分，接觸面板包括:
[0006]固定部，用于與橫棒相對固定；
[0007]抓夾部，與固定部一體成型，自固定部的一邊延伸，抓夾部用于壓置玻璃基板，且抓夾部的表面設有刻花。
[0008]其中，接觸面板的材料是塑料，橫棒的材料是金屬。
[0009]其中，固定部包括至少兩個螺孔以及對應螺釘，螺釘通過螺孔將接觸面板固定于對應的橫棒上。
[0010]其中，固定部呈階梯結構，且包括第一螺孔和第二螺孔，第一螺孔設置于第一階梯面上，第二螺孔設置于第二階梯面上。
[0011 ] 其中，抓夾部包括自固定部的一邊向外延伸的第一延伸部和自第一延伸部向外延伸的第二延伸部，第二延伸部的外表面均設置有刻花，第一延伸部的外表面部分設置有刻花。
[0012]本發明還提供一種PVD機臺，其包括接觸面板和至少4個首尾相連的橫棒，至少一接觸面板設置在PVD機臺的一個橫棒上，橫棒通過接觸面板環繞并夾持待鍍金屬膜的玻璃基板的邊緣部分，接觸面板包括:
[0013]固定部，用于與橫棒相對固定；
[0014]抓夾部，與固定部一體成型，自固定部的一邊延伸，抓夾部用于壓置玻璃基板，且抓夾部的表面設有刻花。
[0015]其中，接觸面板的材料是塑料，橫棒的材料是金屬。
[0016]其中，固定部包括至少兩個螺孔以及對應螺釘，螺釘通過螺孔將接觸面板固定于對應的橫棒上。
[0017]其中，固定部呈階梯結構，且包括第一螺孔和第二螺孔，第一螺孔設置于第一階梯面上，第二螺孔設置于第二階梯面上。
[0018]其中，抓夾部包括自固定部的一邊向外延伸的第一延伸部和自第一延伸部向外延伸的第二延伸部，第二延伸部的外表面均設置有刻花，第一延伸部的外表面部分設置有刻花。
[0019]通過上述方案，本發明的有益效果是:本發明的抓夾部用于壓置玻璃基板，并且抓夾部的表面設有刻花，增加抓夾部對玻璃基板的金屬膜的附著能力大幅提升，能夠防止金屬月旲脫洛，避免廣品受到污染，提尚廣品良率。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。其中:
[0021]圖1是本發明第一實施例的接觸面板正面的結構示意圖；
[0022]圖2是圖1所示接觸面板與橫棒的結構示意圖；
[0023]圖3是圖1所示接觸面板背面的結構示意圖；
[0024]圖4是本發明第一實施例的PVD機臺的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0025]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性的勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0026]請參見圖1，圖1是本發明第一實施例的接觸面板正面的結構示意圖。本實施例所揭示的接觸面板10應用在PVD機臺上，如圖1所示，該接觸面板10包括:固定部11和抓夾部12。優選地，抓夾部12與固定部11 一體成型。
[0027]在本實施例中，抓夾部12自固定部11的一邊延伸，如圖1中抓夾部12沿著D方向延伸。抓夾部12用于壓置待鍍金屬膜的玻璃基板20，如圖2所示，接觸面板10環繞并夾持玻璃基板20的邊緣部分，即接觸面板10通過抓夾部12環繞并夾持玻璃基板20的邊緣部分。
[0028]可選地，PVD機臺還設置有夾持部31，抓夾部12與夾持部31共同夾持待鍍金屬膜的玻璃基板20的邊緣部分。
[0029]其中，抓夾部12的表面設有刻花13，刻花13優選為條形狀，在其他實施例中，本領域的技術人員還可以將刻花13設置為其他形狀。
[0030]如圖2所示，固定部11用于與橫棒30 (innermask)相對固定。結合圖1所示，其中固定部11包括至少兩個螺孔111、112以及對應的螺釘113、114，螺釘113通過螺孔111將接觸面板10固定于對應的橫棒30上，螺釘114通過螺孔112將接觸面板10固定于對應的橫棒30上。
[0031]優選地，接觸面板10的材料是塑料，橫棒30的材料是金屬。其中，橫棒30的材料為鋁合金。由于4個橫棒30的材料為金屬，因此4個橫棒30不允許直接接觸玻璃基板20，4個橫棒30均通過接觸面板10接觸玻璃基板20，以夾持玻璃基板20。
[0032]優選地，固定部11呈階梯結構，其包括第一階梯面115和第二階梯面116 ;固定部11進一步包括第一螺孔和第二螺孔，即第一螺孔為螺孔111，第二螺孔為螺孔112，第一螺孔111設置于第一階梯面115上，第二螺孔112設置于第二階梯面116上，并且螺釘113通過第一螺孔111將接觸面板10固定于對應的橫棒30上，螺釘114通過第二螺孔112將接觸面板10固定于對應的橫棒30上。
[0033]優選地，抓夾部12包括自固定部11的一邊向外延伸的第一延伸部121和自第一延伸部121向外延伸的第二延伸部122，即第一延伸部121為自固定部1的一邊往D方向延伸，第二延伸部122為第一延伸部121往D方向延伸。第二延伸部122的外表面均設置有刻花13，第一延伸部121的外表面部分設置有刻花13，如圖1和圖3所示。
[0034]其中，抓夾部12用于壓置玻璃基板20，即抓夾部12的第二延伸部122壓置玻璃基板20，由于第二延伸部122的外表面均設置有刻花13，在玻璃基板20進行鍍金屬膜(圖未視)時，抓夾部12的第二延伸部122對金屬膜的附著能力大幅提升，與現有技術的接觸面板相比較，抓夾部12的第二延伸部122對金屬膜的附著能力增加了一倍以上，能夠承受10000kw/hr的轟擊，防止抓夾部12的金屬膜脫落，避免產品受到污染，提高產品良率。
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