中央區域可包括在運送器400的底框架部440的基板接收表面480的中心481，以及基板接收表面的底部在各個方向上的長度約15%的偏差。在圖3中，距離482及483分別表示從中心點481起算的占底框架部440的基板接收表面480的總長度487約15%的一距離。距離482和483合起來表示基板接收表面480的中央區域的長度。
[0054]根據某些實施例，本文所使用的底框架部440的基板接收表面480的總長度可定義為包括在底框架部440的基板接收表面480在X方向上的延伸。
[0055]如上所述，底框架部440的中央區域可對應至基板接收表面480的底部的中央區域。然而，應注意的是，在運送器框架并不具有實質上對稱的形狀的情形下(例如圖3中所示的具有底框架部440的一左側延伸的形狀)，底框架部件中央區域可依照基板接收表面的底部的中央區域而定。然而，在某些實施例中，基板可在底框架部440的基板接收表面480的中央區域被穩固地固定至運送器400。
[0056]根據某些實施例，運送器可適用于運送多于一個的基板。在運送器適用于運送多于一個基板的情形下，運送器可包括用于每一基板的基板接收表面，并可包括用于每一基板的如上述般設置的固定裝置。
[0057]在某些實施例中，固定裝置所提供的固定點(并未繪示于圖3中)可位于運送器框架的基板接收表面的底部的中心點481。
[0058]圖4繪示根據本文所描述的實施例的運送器800。運送器包括底框架部840、第一側框架部850、頂框架部860以及第二側框架部870。運送器800垂直地保持基板810。此夕卜，運送器包括用以支撐但并不穩固地固定基板810的支撐構件820。支撐構件820示例性地設置于第一側框架部850、頂框架部860以及第二側框架部870。并且，可提供底支撐構件830，以支撐基板810的底邊緣。
[0059]在圖4所示的實施例中，在底框架部840的中央區域890中提供兩個固定裝置825、826。中央區域可為如以上參照圖3所詳細討論的中央區域。舉例來說，兩個固定裝置825、826所位于的中央區域可以是從底框架部的中心點至底框架部在各個方向上長度約15%的范圍。在某些實施例中，固定裝置825、826從底框架部的中心點往左及往右設置。
[0060]在某些實施例中，底框架部件840的中央區域890可依照基板接收表面的中央區域而定，如以上參照圖3的解釋。如此，固定裝置825、826可位于包含基板接收表面的底側的中心點及基板接收表面在各個方向上的長度的15 %的一區域。
[0061]圖5繪示運送器900的實施例，運送器900包括在底框架部940的中央區域990中的三個固定裝置925、926及927。運送器900進一步包括底框架部940、第一側框架部950、頂框架部960及第二側框架部970。運送器900垂直地保持基板910，并可包括支撐構件920及底支撐構件930。一般的情況下，有關于圖3及圖4的討論同樣適用。特別是，上述底框架部的中央區域的定義可適用于運送器900的底框架部940的中央區域990。并且，中央區域990可如上所述依照基板接收表面的底部的中央區域而定。
[0062]根據某些實施例，三個固定裝置925、926及927其中之一可設置在底框架部的中心點或基板接收表面的底部的中心點作為中間固定裝置。在底框架部940的中央區域990或在基板接收表面的底部的中央區域之內，三個固定裝置中的兩個可設置在中間固定裝置的兩旁。
[0063]在提供多于一個單一固定裝置的情形下，固定裝置所提供的固定點可理解為兩個或三個固定裝置在運送器框架的底框架部的中央區域中的合力施加點。換句話說，固定點依照固定裝置所施加的力的合力作用線而定。
[0064]圖6繪示根據本文所描述的實施例的運送器的一實施例。相對于圖2a和圖2b在運送器框架的底框架部240繪示支撐構件230，運送器300在底框架部件340包括夾鉗320。在運送器300的底框架部340的夾鉗320有助于保持基板在一相對的位置中，但不固定基板310。在圖6所示的實施例中，基板是通過固定裝置325所固定，固定裝置325可為上述的固定裝置。
[0065]在圖中所示的實施例中，夾鉗的數量僅為一范例，不應理解為本文所描述的實施例的限制。每一運送器的支撐構件的數量通常可介于約2個和約10個之間，更典型地介于約3個和約8個之間，甚至更典型地介于約3個和6個之間。
[0066]為了確保基板通過固定裝置穩固固定，固定裝置適用于框架，并允許穩固地將一基板固定住，此基板通常具有介于約0.2mm至約6mm的厚度，更典型地具有介于約0.3mm至約2mm的厚度，甚至更典型地具有介于約0.3mm至約1.5mm的厚度。在一范例中，厚度可以高達1.2_。夾鉗形式的固定裝置也可配置有阻尼單元，以確保并可靠地固定住基板而不使其損壞。
[0067]在某些實施例中，固定裝置可包括含有彈簧的夾鉗。彈簧施加在基板用以穩固地將基板固定至運送器的彈簧力通常可介于15N和約25N之間，更典型地介于約16N和約23N之間，甚至更典型地介于約17N和約20N之間。在一范例中，施加在根據本文所描述的實施例的固定裝置的彈簧力約17N。在提供多于一個固定裝置用以穩固地固定住基板的實施例中(例如圖4及圖5所示的實施例)，每一固定裝置可具有上述范圍內的彈簧力。
[0068]根據某些實施例，提供根據本文所描述的實施例的運送器及方法所欲使用的基板可具有典型地約1.4m2至約Sm 2的大小，更典型地具有約2m 2至約9m2，或甚至是高達12m2的大小。舉例來說，基板可為第5代(GEN 5)、第7.5代(GEN 7.5)、第8.5代(GEN8.5)，或甚至第10代(GEN 10)基板，第5代對應于約1.4m2的基板(1.1mX 1.25m)，第7.5代對應于約4.29m2的基板(1.95mX2.2m)，第8.5代對應于約5.7m 2的基板(2.2mX 2.5m)，第10代對應于約8.7m2的基板(2.85mX3.05m)。甚至是可類似地實現如第11代(GEN
11)與第12代(GEN12)的更大的世代基板及所對應的基板面積。根據某些實施例，基板可具有約 300mmX 400mm、305mmX 356mm.320mmX 650mm.356mmX 356mm.356mmX370mm X 470mm、400mmX500mm、550mm X 650mm、550mmX670mm、620mm X 750 mm、650mm X 750mm、670mm X 830mm、680mm X 880mm，或是 730mm X 920mm 的大小。
[0069]根據某些實施例，對方法進行說明。本文所描述的方法的實施例繪示如圖7中的流程圖。用于在沉積工藝期間運送基板的方法500包括:在方塊510，以包括用以垂直地保持基板的框架的運送器運送基板。運送器框架可為參照圖2至圖6所描述的運送器框架。運送器的框架可具有實質上為矩形的形狀，并具有底框架部。
[0070]方法500包括:在方塊520，穩固地將基板固定至運送器。基板穩固固定至運送器，或基板耦接至運送器，例如可發生在一固定點上，可通過在基板的底邊緣的固定裝置來執行，較佳為通過一個單一固定裝置來執行。根據某些實施例，固定裝置可設置于運送器的底框架部的中央區域。在例如以上詳細描述的實施例的某些實施例中，一個單一固定裝置可在運送器的基板接收表面的中央區域將基板固定至運送器。
[0071]根據某些實施例，基板在通過固定裝置所提供的恰好一個單一固定點穩固地固定至運送器。基板仍可從固定點膨脹，基板相對于運送器的移動被阻止。
[0072]在方塊530中，本文所描述的方法500的實施例包括在運送器中以一個或多個支撐構件支撐基板，但并不以支撐構件穩固地固定住基板。支撐構件可為夾鉗，夾鉗可允許基板在由運送器及夾鉗所提供的一定義的空間內移動。在某些實施例中，支撐構件可提供在運送器框架的各個側邊。特別是，支撐構件可設置于運送器的每一側邊上，例如(請往回參照圖2)在底側框架部240、左側框架部250、頂側框架部260及右側框架部270上。
[0073]根據某些實施例，固定裝置可為參照圖2至圖6所詳細描述的固定裝置。舉例來說，固定裝置可為施加一限定的力于基板上以穩固地將基板固定至運送器的夾鉗。在一范例中，固定裝置可包括適用于運送器及所運送的基板的參數的彈簧。固定裝置可適用于施加力至基板，所述力足夠大以穩固地將基板固定住，且足夠小以避免破壞基板。在某些實施例中，穩固地固定基板所使用的力可通過在底框架部件的中央區域中的多于一個固定裝置所提供，例如是二個或三個固定裝置。
[0074]根據本文所描述的實施例在運送器的固定裝置之中使用一可分別調整的彈簧，是用以表現出用于穩固地將基板固定至運送器的力的簡單方法，而不會造成高的成本。與例如參照圖1b所描述的鈦鑲嵌相比，根據本文所描述的實施例的運送器可以一在經濟上非常高效的方式制造出來，同時維持運送器的重量也一樣低。
[0075]圖8繪示方法600的實施例。根據某些實施例，方塊610、620及630可分別對應于方法500的方塊510、520及530。方法600進一步包括方塊640，方塊640包括以運送器框架覆蓋基