00 %的 800nm下雙通透射率DPTs。。;并且其中所述端點檢測窗還展現< 30%的800nm與400nm之間 雙通透射率差量ADPTsdd4。。。
[0016] 本發明提供一種化學機械拋光墊，其包含：具有拋光表面的拋光層；和端點檢測 窗；其中所述端點檢測窗包含包括W下的成分的反應產物：（i)具有5. 5到9. 5重量％的未 反應的NC0基團的異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物，其中所述異氯酸醋封端的氨基甲酸 醋預聚物是包含W下的成分的反應產物：(a)芳香族多官能異氯酸醋；和化）預聚物多元 醇；和（ii)固化劑系統，其包含：0到90重量％的雙官能固化劑；和10到100重量％的胺 起始的多元醇固化劑，其每分子具有至少一個氮原子并且每分子具有平均至少=個徑基； 其中所述拋光表面具有螺旋槽圖案形成于其中；并且其中所述拋光表面適于拋光選自由W 下中的至少一者組成的群組的襯底：磁性襯底、光學襯底和半導體襯底。
[0017] 本發明提供一種制造根據本發明的化學機械拋光墊的方法，其包含：提供具有拋 光表面的拋光層；提供具有5. 5到9. 5重量％的未反應的NC0基團的異氯酸醋封端的氨 基甲酸醋預聚物，其中所述異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物是包含W下的成分的反應產 物：芳香族多官能異氯酸醋；和預聚物多元醇；提供固化劑系統，其包含：〇到90重量％的 雙官能固化劑；和10到100重量％的胺起始的多元醇固化劑，其每分子具有至少一個氮原 子并且每分子具有平均至少=個徑基；將所述異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物和所述固 化劑系統組合W形成組合；使所述組合反應W形成產物；由所述產物形成端點檢測窗；用 所述拋光層介接所述端點檢測窗W提供化學機械拋光墊。
[0018] 本發明提供一種制造根據本發明的化學機械拋光墊的方法，其包含：提供具有拋 光表面的拋光層；提供具有5. 5到9. 5重量％的未反應的NC0基團的異氯酸醋封端的氨基 甲酸醋預聚物；提供固化劑系統，其包含：〇到90重量％的雙官能固化劑；和10到100重 量％的胺起始的多元醇固化劑，其每分子具有至少一個氮原子并且每分子具有平均至少= 個徑基；將所述異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物和所述固化劑系統組合W形成組合；使 所述組合反應w形成產物；由所述產物形成端點檢測窗；用所述拋光層介接所述端點檢測 窗W提供化學機械拋光墊；其中所述端點檢測窗是整體窗。
[0019]本發明提供一種拋光襯底的方法，其包含：提供化學機械拋光設備，其具有壓板、 光源和光傳感器；提供至少一個襯底；提供根據權利要求1所述的化學機械拋光墊；將所述 化學機械拋光墊安裝到所述壓板上；任選地在拋光表面與所述襯底之間的界面處提供拋光 介質；在所述拋光表面與所述襯底之間產生動態接觸，其中至少某一材料由所述襯底去除； 和通過W下方式確定拋光端點：使來自所述光源的光透射通過端點檢測窗，并且分析反射 出所述襯底的表面、回通過所述端點檢測窗入射到所述光傳感器的所述光。
[0020] 本發明提供一種拋光襯底的方法，其包含：提供化學機械拋光設備，其具有壓板、 光源和光傳感器；提供至少一個襯底；提供根據權利要求1所述的化學機械拋光墊；將所述 化學機械拋光墊安裝到所述壓板上；任選地在拋光表面與所述襯底之間的界面處提供拋光 介質；在所述拋光表面與所述襯底之間產生動態接觸，其中至少某一材料由所述襯底去除； 和通過W下方式確定拋光端點：使來自所述光源的光透射通過端點檢測窗，并且分析反射 出所述襯底的表面、回通過所述端點檢測窗入射到所述光傳感器的所述光；其中所述至少 一個襯底選自由W下中的至少一者組成的群組：磁性襯底、光學襯底和半導體襯底。
【附圖說明】
[0021] 圖1是雙通透射率DPT作為光波長的函數的圖，如在實例中關于根據比較實例C3 制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
[0022] 圖2是雙通透射率DPT作為光波長的函數的圖，如在實例中關于根據比較實例C4 制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
[0023] 圖3是雙通透射率DPT作為光波長的函數的示意圖，如在實例中關于根據實例3 制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
[0024]圖4是雙通透射率DPT作為光波長的函數的示意圖，如在實例中關于根據實例4 制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
[00巧]圖5是雙通透射率DPT作為光波長的函數的示意圖，如在實例中關于根據實例5 制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
[0026]圖6是雙通透射率DPT作為光波長的函數的示意圖，如在實例中關于根據實例6制備的端點檢測窗闡述的條件下所測量。
【具體實施方式】
[0027]襯底拋光操作中的重要步驟是確定工藝的端點。一種用于端點檢測的常用就地方 法包括提供具有窗的拋光墊，所述窗對于選擇波長的光是透明的。在拋光期間，光束被引導 通過窗到晶片表面，其中其反射并且回通過窗到檢測器（例如，分光光度計）。基于返回信 號，可W測定襯底表面的性質（例如，其上的膜的厚度）W用于端點檢測。為了促進此類拋 光工藝端點檢測技術，本發明的化學機械拋光墊具有包含一組獨特成分的反應產物的端點 檢測窗，所述反應產物展現如下獨特組合：硬度（即，35到65的肖氏D硬度）和低拉伸伸 長率（即，斷裂伸長率< 300 % )結合良好光學性質（即，25到100 %的400nm下雙通透射 率DPT4。。)，W促進拋光端點檢測；其中端點檢測窗調配物不展現非所要窗變形（即，過度凸 出）并且具有苛刻拋光應用所需的耐久性。
[002引如本文中和所附權利要求書中所用，術語"拋光介質"涵蓋含顆粒的拋光溶液和不 含顆粒的拋光溶液，例如無磨料并且反應性的液體拋光溶液。
[0029] 如本文中和所附權利要求書中關于端點檢測窗所用，術語"雙通透射率"或"DPT" 使用W下方程式測定：
[0030]DPT= (IWsi-IWd)今（IAsi-IAd)
[00引]其中IWsi、IWd、lAsi和IAD使用包括SD1024F攝譜儀、氣氣閃光燈和3mm光纖電纜 的VeritySP2006光譜干設儀通過W下方式測量：將3mm光纖電纜的發光表面在原點處抵 著（并且垂直于）端點檢測窗的第一面放置，引導光通過窗的厚度Tw，和在原點處測量從抵 著端點檢測窗的與第一面實質上平行的第二面安置的表面反射回通過窗的厚度Tw的光強 度；其中IWsi是從原點通過窗并且反射出抵著窗的第二面放置的娃毯覆式晶片的表面、回 通過窗到原點的光強度的量度；其中IWd是從原點通過窗并且反射出黑體的表面并且回通 過窗到原點的光強度的量度；其中lAsi是從原點通過等效于端點檢測窗的厚度Tw的空氣厚 度、反射出垂直于3mm光纖電纜的發光表面放置的娃毯覆式晶片的表面并且反射回通過空 氣厚度到原點的光強度的量度；并且其中IAd是在3mm光纖電纜的發光表面處反射出黑體 的光強度的量度。
[0032] 如本文中和所附權利要求書中所用，術語"DPTw。"是對于波長是400nm的光由端 點檢測窗展現的DPT。
[0033] 如本文中和所附權利要求書中所用，術語"DPTs。。"是對于波長是800nm的光由端 點檢測窗展現的DPT。
[0034] 如本文中和所附權利要求書中所用，術語"800nm與400nm之間雙通透射率差量" 或"ADPTs。。4。。"是對于波長是800皿的光與對于波長是400皿的光由端點檢測窗展現的雙 通透射率的差值，使用W下方程式測定：
[003引 ADPTsoo側一DPT800-DPT棚
[0036] 本發明的化學機械拋光墊包含：具有拋光表面的拋光層；和端點檢測窗；其中所 述端點檢測窗包含包括W下的成分的反應產物：（i)具有5. 5到9. 5重量％ (優選地5. 75 到9.0重量％ )的未反應的NC0基團的異氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物，其中所述異 氯酸醋封端的氨基甲酸醋預聚物是包含W下的成分的反應產物：(a)芳香族多官能異氯酸 醋訊化）預聚物多元醇訊扣）固化劑系統，其包含：0到90重量％ (優選地0到75重 量％ ;更優選地0到70重量％ )的雙官能固化劑；和10至Ij100重量％ (優選地25到100 重量％ ;更優選地30到100重量％ )的胺起始的多元醇固化劑，其每分子具有至少一個氮 原子（優選地一到四個氮原子；更優選地兩到四個氮原子；最優選地兩個氮原子）并且每 分子具有