接端切換到與前述的電極區段相絕緣的打開狀態中。由此能夠利用僅數量少的能量源為所有電極區段彼此無關地供給能量。在此，一組電極區段中的每一個電極區段分別與所述能量源連接并且為該能量源預設電流強度和/或電位。將所述組中的其余電極區段切換到打開狀態中，在該狀態下所述電極區段與能量源或與和與其相連接的電極區段絕緣。由此，所述電極區段的電流強度為零，或者僅少的補償電流可以在各區段之間流動。與此相對應地，所述電位實際上可以取任意值(“浮動電位”)。在一定時間之后，所述能量源與所述組中的另一個電極區段連接并且將之前所連接電極區段同樣切換到打開狀態中。按照這種方式，該組中的所有電極區段逐一與所述能量源連接。為此，就不再需要所述電極區段在每個循環中都以相同的順序與所述能量源連接。一個電極區段也可以在一個循環中多次與所述能量源連接，以便在該處例如對基板施加更厚的涂覆。
[0026]例如也可以隨機地進行對配設給已激活能量源的電極區段的選擇。由此可以避免下述效果，即由于始終相同的重復而產生同一個循環。
[0027]也特別是有利的是，交替地給按照棋盤的白色區域來設置的電極區段和按照棋盤的黑色區域來設置的電極區段供給電能。在這種變型方案中，可以交替地激活以矩陣設置的電極區段。在此，在第一時間段中激活其行序號和列序號之和為偶數的那些區段。隨后，在第二時間段中激活其行序號和列序號之和為奇數的那些區段。之后又進行第一時間段，等等。
[0028]有利的是，一個電極區段的面積小于等于I Hf。更為有利的是，所述面積小于等于0.25 Hf。所述值體現了良好的折衷方案，其中對基板的涂覆在未太過強烈分割電極的情況下是良好成功的。盡管所述的值已被證實為是有利的，但本發明自然不會限制于所述值。不言而喻地，在利用本發明所實現的優點的范圍中也可以選擇其它值。
[0029]有利的是，所述能量源構成為電流源。按照這種方式能夠對要涂覆到基板上的涂層的沉積速度進行調整。
[0030]就此而言有利的是，每個電極區段的最大電流強度(峰值電流)小于等于150A。還更有利的是，所述電流強度小于等于15A。所述數值體現了良好的折衷方案，其中對基板的涂覆在電極與基板之間的破壞性電弧風險不過高的情況下是良好成功的。盡管所述的數值已被證實為是有利的，但本發明自然不會限制于所述值。不言而喻地，在利用本發明所實現的優點的范圍中也可以選擇其它數值。
[0031]也有利的是，所述電極區段格柵狀地構成。由此，可以特別是良好地將工藝氣體引導向要涂覆的基板。
[0032]此外有利的是，所述電極在其邊緣區域中朝著要涂覆基板彎曲。按照這種方式可以在電極邊緣區域中對等離子體中電場強度的下降進行補償，如在板狀電極的情況下所出現的電場強度下降，所述板狀電極各處都具有與基板的相同間距。
[0033]當測量電極區段與要涂覆的基板之間的電壓，并且當確認所述電壓的擾動時，調低或斷開能量源供給時，也給出了用于對基板進行涂覆的方法的一種有利的變型方案。如果所述電壓急劇下降到一個相對小的數值，則可以由此得出，在工件與電極之間出現了電弧。為了防止其有害影響或者也為了使其停止，對所涉及電極區段的能量供給進行調低或乃至切斷。
[0034]有利的是，當處于電極邊緣上的電極區段與處于內部的區段相比處于更高的電位。按照這種方式，可以對等離子體中的電場強度下降進行補償，如其在平行于基板定位的板狀電極的情況下所出現的電場強度下降。
[0035]有利的是，位于電極邊緣上的電極區段與處于內部的區段相比被調整或調節為更高的電流強度。按照這種方式，可以給所述基板在其邊緣上配設更厚的涂層。通常，在制造板狀材料的過程中，基板在此處承受最高負荷。
[0036]最后有利的是，所述板狀材料特別是在其面向壓板的表面區域中包含維氏硬度在1000至1800之間的顆粒或包含剛玉或是氧化鋁A1203。在此處，經涂覆的壓板的優點特別突出，這是因為盡管在要制造材料中仍會有成分磨損，但通過所述涂覆可以保證所述壓板的高壽命。按現有技術用于大尺寸板狀材料的壓板不可能具有如此長的使用壽命。
[0037]在此處應該說明，針對涂覆裝置所說明的變型方案以及由此得出的優點按本發明的意義可適用于所述用于對基板進行涂覆的方法，且反之亦然。
【附圖說明】
[0038]為了更好地對本發明加以理解，下面參照附圖更詳細地闡述本發明。圖中:
[0039]圖1示意性地示出了用于對基板進行等離子體涂覆的裝置；
[0040]圖2示出了電極的示意性示出的第一示例，其具有彼此完全絕緣的區段；
[0041]圖3示出了電極的示意性示出的第二示例，其具有彼此連接的區段；
[0042]圖4示出了格柵狀電極的示意性示出的另一示例；
[0043]圖5示出電極的示意性示出的另一示例，其具有不同成型的區段；
[0044]圖6示出了在邊緣區域中彎曲的電極的示意性示出的另一示例；
[0045]圖7示出了一個說明性示例，其中一個控制器件將能量源接通到不同電極區段上;
[0046]圖8示出了電極的一個示例，其區段按棋盤的類型進行設置或操控；
[0047]圖9示出了一個說明性示例，其中每個電極區段與各一個能量源連接；
[0048]圖10示出了另一個說明性示例，其中對電極區段與基板之間的電壓進行測量；
[0049]圖11示出了一個示意性示出的示例，其中處于電極邊緣上的區段與處于內部的區段相比處于更高的電位和/或被調整/調節到更高的電流強度；以及
[0050]圖12示出了一個示意性示出的示例，其中各電極區段經由電阻與能量源供應機構連接。
【具體實施方式】
[0051]首先要指出，在不同描述的實施形式中，相同的部件配設有相同的附圖標記或者相同的構件標記，其中，在整個說明書中包含的公開內容按照意義地能夠轉用到帶有相同附圖標記或者相同構件標記的相同部件上。在說明書所選擇的位置說明，如例如上、下、側向等等也參照直接描述的以及所示出的附圖并且在位置改變時能按照意義地轉用到新的位置上。此外，單個特征或者由所示和所描述的不同實施例的特征組合本身也可以是獨立的、有創造性的或者按照本發明的解決方案。
[0052]在具體的說明中的全部對于值域的說明應這樣理解，S卩，這些值域一同包含其中的任意的和所有的部分范圍，例如說明I至10應這樣理解，S卩，由下極限I和上極限10出發的所有部分范圍被一同包括，亦即，以下極限I或者更大開始并且在上極限10或更小結束的所有部分范圍、例如I至1.7、或者3.2至8.1、或者5.5至10。
[0053]圖1示出了用于對基板2進行等離子體涂覆的裝置100，其包括真空腔3和設置在該真空腔內的電極400，所述電極在運行中基本上與所述基板2平行并且與所述基板的要涂覆的側面相對地定位。在下文的觀察中設定，所述基板涉及壓板2。但不言而喻地，以下教導也能應用于其它基板。
[0054]電極400是經分割的，區段500中的每一個都具有一個用于電能量源700的自己的連接端6，在本示例中所述電能量源實施為電流源。但不言而喻地，能量源也例如可以構造成電壓源。最后，圖1還示出了用于將工藝氣體(例如CH4)引入到真空腔3中的接口 8，在該接口中例如存在有約Imbar的壓力。
[0055]優選地，一個電極區段500的面積小于等于I m2，并且電流源700的電流強度小于等于150A。所述數值體現了良好的折衷方案，其中對壓板2的涂覆在未太過強烈地分割電極400的情況下是相當成功的，并且電極400與壓板2之間的破壞性電弧風險不太高。
[0056]通常，能量源700可以提供直流電或交流電。對壓板2利用脈沖狀電流的涂覆特別是良好地得到實現。在此情況下，所述脈沖的電流振幅優選小于150A。為了將已涂覆層上的電荷導走(例如在涂覆電絕緣層的情況下)，脈沖的極性也可以不時地反轉。例如，十個脈沖之一可以具有另一極性。
[0057]圖2現在示出了電極401的一個示例，所述電極的區段501彼此完全電絕緣。各個區段501因此由各個具有導電能力的且彼此間隔開的板形成。這些板例如可以施加在不傳導的基板上，從而使電極401可以更容易地進行操作。電極401也可以打孔，以便工藝氣體可以更容易地到達壓板2，特別是缺口在各區段501之間的區域中達到所述基板中。例如，所述缺口可以具有長孔的形狀(對此也參看圖3)。
[0058]圖3示出了電極402的另一示例，所述電極的區段502通過狹長的板條9并且由此相互間通過(高)歐姆電阻連接。因此，電極402原則上可以構造成一件式，其方法為，例如由板材銑出、沖壓出、步沖出(ausnibbeln)或利用激光切割