連線裝置及應用其的oled生產線的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及OLED制造領域，具體涉及一種連線裝置及應用其的OLED生產線。
【背景技術】
[0002]真空蒸鍍是有機發光二極管(Organic Light-Emitting D1de,以下簡稱0LED)器件制備過程的主要方法之一，其基本原理是在高真空環境中，將蒸發材料加熱至蒸發溫度進行蒸發之后再冷凝在鍍膜基體上形成薄膜。隨著OLED產業的不斷發展，相關生產企業的競爭越來越激烈，降低成本、提高生產效率則是提高企業競爭力的常用手段。例如，為了提高生產效率，降低產品成本，通常采用由多臺全自動的真空鍍膜設備構成的生產線進行大批量加工，以應對日益增加的市場需求。
[0003]在目前的OLED生產線中，通常是每臺真空蒸鍍設備每道工序僅蒸鍍一個膜層，而且，由于在不同真空蒸鍍設備之間轉移工件都必須在真空或高純氮氣的保護下實施，因而上述真空蒸鍍設備生產線需采用整體、連續的線性方式進行真空高純氮氣保護，這使得該生產線的占地空間較大、配套廠房及相關設施的成本較高。例如，一條蒸鍍尺寸為470*370mm的工件、生產速度為每分鐘完成2片的真空蒸鍍設備生產線，其總長度達50m以上，這就要求容納該生產線的廠房的層高不低于5m，且還需對廠房下挖lm，以預埋各種管道。
[0004]而且，OLED的膜層通常具有有機膜層、無機膜層以及層間摻雜層等的共計18層以上膜層，而且在上述真空蒸鍍設備生產線中，每臺真空蒸鍍設備每道工序僅蒸鍍一種膜層，且每道工序均需進行一次抽真空過程，即:在工件進入真空腔室之前向真空腔室充入保護性氣體；在工件進入真空腔室之后對真空腔室抽真空；對工件進行蒸鍍工藝。上述抽真空過程占據了整個蒸鍍工藝的大部分時間，從而上述蒸鍍設備生產線的生產效率較低。
[0005]為此，申請號為“201310209692.6”、發明名稱為“一種具有雙旋轉機構的OLED鍍膜機”的中國專利申請中公開了一種真空蒸鍍設備，其包括機架、真空室、多個鑰舟、動力系統、鑰舟通電加熱系統以及儀表柜。該鍍膜機通過在真空室內設計工件雙旋轉機構支架，充分擴大了工件裝夾面積，從而不僅可以實現每道工序同時對多個工件進行蒸鍍，而且還可以提高鍍膜材料的利用率。
[0006]利用上述OLED鍍膜機的優勢，可以采用“分堆式”生產線代替現有技術中所采用的整體、連續的線性生產線，顧名思義，“分堆式”生產線是將OLED的多層膜層遵循蒸鍍工序的先后順序進行分配而形成若干個膜層堆，每層膜層堆借助兩臺上述OLED鍍膜機蒸鍍該膜層堆被分配到的膜層，每臺OLED鍍膜機每道工序可同時對多個工件蒸鍍多層膜層，由此，只要能夠有一種在同一或不同膜堆的兩臺真空鍍膜設備之間傳輸和裝卸工件的連線裝置，就可以使多個工件同時完成所有膜層的蒸鍍，從而實現“分堆式”連續制造OLED的生產線，即，不再像現有技術的生產線所采用的多個工件逐一完成所有的蒸鍍工序，而是一定數量的工件同時完成所有的蒸鍍工序。
[0007]此外，除了要求上述連線裝置能夠在同一或不同膜堆的兩臺真空鍍膜設備之間傳輸和裝卸工件之外，還要求連線裝置能夠同時傳輸多個工件，以能夠裝載單臺真空鍍膜設備單次蒸鍍的所有工件，而且，由于在不同真空蒸鍍設備之間轉移工件都必須在真空或高純氮氣的保護下實施，因而還要求連線裝置能夠在真空或高純氮氣的保護下實現對多個工件的傳輸和裝卸。
【發明內容】
[0008]本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種連線裝置及應用其的OLED生產線，其可以在真空或高純氮氣的保護下，實現對多個工件的傳輸和裝卸。
[0009]為實現本發明的目的而提供一種連線裝置，用于向真空鍍膜設備的真空腔室傳輸和裝卸工件，其包括機架、箱體艙和工作艙，其中所述機架的底部具有多個移動輪；所述箱體艙固定在所述機架上，在所述箱體艙內設置有旋轉軸和與之連接的用于承載工件的至少兩個工件框架，所述旋轉軸在旋轉時帶動所述至少兩個工件框架沿所述旋轉軸的周向旋轉，以使所述至少兩個工件框架逐一經過與所述工作艙相對應的位置處；所述工作艙固定在所述機架上，所述工作艙具有第一密封機構和第二密封機構，所述工作艙通過所述第一密封機構與所述箱體艙連通或隔離，以及通過所述第二密封機構與所述真空鍍膜設備的真空腔室對接或脫離。
[0010]其中，每個工件框架具有沿豎直方向間隔設置的鎖緊裝置，每個鎖緊裝置包括一對支撐件和四個彈性凹形件，其中，所述一對支撐件彼此相對地分別設置在所述工件框架內的兩個側壁上；所述四個彈性凹形件分別包覆一個工件的四個角，并由該對支撐件夾持固定在中間。
[0011]其中，在每個工件框架與所述旋轉軸之間設置有支撐臂，所述支撐臂的一端與所述旋轉軸固定連接，所述支撐臂的另一端與所述工件框架的頂部鉸接。
[0012]其中，所述連線裝置還包括工件框架控制單元，用于控制所述工件框架在每停頓固定時長之后旋轉預定角度，以使各個工件框架逐一旋轉至與所述工作艙相對應的位置處，并且每個工件框架在該位置處停頓所述固定時長。
[0013]優選的，所述工件框架控制單元在1s?Ih的連續范圍內調節所述固定時長。
[0014]優選的，所述至少兩個工件框架沿所述旋轉軸的周向均勻分布。
[0015]其中，所述工作艙包括彼此連通的操作室和過渡室，其中所述操作室通過所述第一密封機構與所述箱體艙連通或隔離；所述過渡室采用可伸縮的柔性結構，并通過所述第二密封機構與所述真空鍍膜設備的真空腔室對接或脫離；在所述操作室的室壁上設置有可由外向內伸入所述操作室的至少兩套真空手套，所述真空手套用于供人的手部伸入所述工作艙內，并在所述箱體艙和所述真空鍍膜設備的真空腔室之間傳遞工件。
[0016]優選的，所述真空手套為兩套，其中一套真空手套位于靠近所述箱體艙的位置處；其中另一套真空手套位于靠近所述真空鍍膜設備的真空腔室的位置處。
[0017]其中，所述第一密封機構包括連通所述操作室與所述箱體艙的第一開口，以及用于開啟或關閉所述第一開口的第一密封門。
[0018]其中，所述第一密封門的數量為兩道，所述兩道第一密封門相對且間隔設置，并且所述操作室與所述箱體艙采用氣密性對接的方式彼此鎖緊，以密封所述兩道第一密封門之間的間隔空間。
[0019]其中，所述第二密封機構包括在所述過渡室與所述真空鍍膜設備的真空腔室相互對接時，連通所述過渡室與真空腔室的第二開口，以及用于開啟或關閉所述第二開口的第二密封門。
[0020]其中，所述第二開口的尺寸大于所述真空腔室的室門尺寸，并且在所述過渡室與所述真空鍍膜設備的真空腔室相互對接的兩個對接面之間設置有密封件，所述密封件包圍所述第二開口，用以在所述過渡室與所述真空鍍膜設備的真空腔室相互對接時，密封所述第二密封門與所述真空腔室的室門之間的間隔空間。
[0021]優選的，所述過渡室與所述真空鍍膜設備的真空腔室采用氣密性對接的方式彼此鎖緊。
[0022]優選的，所述過渡室的可伸縮的柔性結構為由瓦楞狀橡膠和鋼絲骨架形成的具有多個橫向波紋的管狀結構。
[0023]其中，所述連線裝置還包括輔助艙，所述輔助艙固定在所述機架上，且位于所述工作艙的底部，所述輔助艙用于容納所述連線裝置的電器設備；所述電器設備包括真空抽氣裝置、動力傳動裝置、熱風循環裝置、氮氣氣缸以及進出氣管道。
[0024]優選的，所述移動輪為萬向輪。
[0025]優選的，在所述機架的底部還設置有可伸縮的定位裝置，所述定位裝置在需要所述機架通過所述移動輪移動時回縮，以與地面相分離，在所述機架移動至預設位置時伸出，以與地面相接觸。
[0026]優選的，所述旋轉軸垂直于豎直平面。
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