芯片分離制樣固定裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及芯片分離制樣技術領域，特別是涉及一種芯片分離制樣固定裝置。
【背景技術】
[0002]疊層芯片封裝集成電路中封裝有多層芯片，對非頂層芯片進行分析時，均需要采用芯片分離技術，將非頂層芯片上方的粘接劑去除，實現對多層芯片從上到下的逐層暴露并觀察分析。分離過程中，當發現研磨區域偏離所需要暴露的范圍時，傳統的研磨區域調整的方法有兩種:一種是調節鉆頭的位置，但調整鉆頭需抬動整個懸臂梁并調整鉆頭至目標位置正上方，對力度、角度的控制要求高，不易操作；另外一種是調整芯片的位置，但樣品一般采用熱熔蠟固定在研磨臺面上的，要將樣品移動，必須先將熱熔蠟融化，而由于熱熔蠟的流動性及粘性，無法自如移動樣品，稍加不注意，可能將原來已經研磨合適的某一邊再次處于鉆頭下方，則在后續研磨過程中，就會對芯片造成損壞。這兩種方法雖然都可以調整樣品與鉆頭的相對位置，但是均存在調節力度、角度不可控的問題，耗時長且可能將原來已經符合要求的研磨部位調整設置為將被繼續研磨的部位，造成研磨過度而引入損傷。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于提供一種芯片分離制樣固定裝置，能夠在不調整鉆頭和不融化熱熔蠟的情況，實現對研磨區域的微調，操作方便且準確。
[0004]為實現本發明的目的，采取的技術方案是:
[0005]一種芯片分離制樣固定裝置，包括底座、第一調節板、第二調節板、第一調節機構和第二調節機構，底座設有第一安裝槽，第一調節板位于第一安裝槽內，第一調節板的外周與第一安裝槽之間存在第一間隙，第一調節板設有與第二調節板配合的第二安裝槽，第二調節板的外周與第二安裝槽之間存在第二間隙，第一調節機構驅動第一調節板沿X方向移動，第二調節機構驅動第二調節板沿Y方向移動，Y方向與X方向相互垂直。
[0006]通過熱熔蠟將樣品固定在第二調節板上，在研磨過程中，發現研磨區域偏離所需要暴露的范圍時，則通過第一調節機構調整第一調節板在X方向上的移動，同時帶動第二調節板上的樣品在X方向的移動，同時還可以通過第二調節機構調整第二調節板在Y方向上的移動，重新調整樣品的研磨區域，無需再通過調整鉆頭和融化熱熔蠟的情況對樣品進行調整，操作方便，且可以對樣品在X方向和Y方向的偏離位置進行調整，調整準確，保證芯片在研磨過程中不會造成損壞。
[0007]下面對技術方案進一步說明:
[0008]進一步的是，第一調節機構包括第一螺桿和第一調節螺母，底座設有與第一螺桿配合的第一通孔，第一調節板設有與第一螺桿配合的第一螺紋孔，第一螺桿一端與第一調節螺母連接，另一端穿過第一通孔后套設于第一螺紋孔內。通過轉動第一調節螺母來帶動第一螺桿在X方向的移動，同時帶動第一調節板在X方向的移動，操作簡單快捷。
[0009]進一步的是，第一調節機構還包括第一鎖緊螺母，第一鎖緊螺母位于第一間隙內、并套設于第一螺桿上。當第一調節板在X方向的調整完成后，通過第一調節螺母和第一鎖緊螺母對第一螺桿進行固定，防止在研磨過程中，第一螺桿發生移動，保證芯片分離制樣固定裝置工作的穩定性。
[0010]進一步的是，芯片分離制樣固定裝置還包括與底座固定連接的限位架，限位架和所述底座之間配合形成限位腔，限位腔內容納有第一調節螺母。通過限位架防止第一螺桿在X方向往第一調節螺母一側的過度移動，保證第一調節板始終套設在第一螺桿上。
[0011]進一步的是，第二調節板的外周設有第一開口，第一螺桿遠離第一調節螺母的一端位于第一開口內。通過第二調節板位于第一開口內的外周防止第一螺桿在X方向往第二調節板一側的過度移動，保證第一調節螺母始終套設在第一螺桿上。
[0012]進一步的是，第二調節機構包括第二螺桿、及位于第一間隙內的第二調節螺母，第一調節板設有與第二螺桿配合的第二通孔，第二調節板設有與第二螺桿配合的第二螺紋孔，第二螺桿一端與第二調節螺母連接，另一端穿過第二通孔后套設于第二螺紋孔內。通過轉動第二調節螺母來帶動第二螺桿在Y方向的移動，同時帶動第二調節板在Y方向的移動，操作簡單快捷。
[0013]進一步的是，第二調節機構還包括第二鎖緊螺母，第二鎖緊螺母位于第二間隙內、并套設于第二螺桿上。當第二調節板在Y方向的調整完成后，通過第二調節螺母和第二鎖緊螺母對第二螺桿進行固定，防止在研磨過程中，第二螺桿發生移動，保證芯片分離制樣固定裝置工作的穩定性。
[0014]進一步的是，第一調節板的外周設有第二開口，第二調節螺母位于所述第二開口內。將第二調節螺母收納于第二開口內，保證第一調節板在X方向移動的時候，第二調節螺母不會和底座之間發生干涉。
[0015]進一步的是，第一安裝槽、第二安裝槽、第一調節板和第二調節板的橫截面均呈“T”字型。通過T型結構，使底座、第一調節板和第二調節板之間配合的更緊密。
[0016]進一步的是，第一調節板設有第一腰孔，底座設有與第一腰孔配合的第一固定孔，第二調節板設有第二腰孔，第一調節板設有與第二腰孔配合的第二固定孔。當第一調節板在X方向調整后，還可以通過第一腰孔和第一固定孔將第一調節板固定在底座上；當第二調節板在Y方向調整后，還可以通過第二腰孔和第二固定孔將第二調節板固定在第一調節板上，裝配簡單靈活。
[0017]與現有技術相比，本發明具有以下有益效果:
[0018]本發明通過第一調節機構和第二調節機構分別對第一調節板和第二調節板進行調整，在研磨過程中，發現研磨區域偏離所需要暴露的范圍時，則通過第一調節機構調整第一調節板在X方向上的移動，同時帶動第二調節板上的樣品在X方向的移動，同時還可以通過第二調節機構調整第二調節板在Y方向上的移動，重新調整樣品的研磨區域，無需再通過調整鉆頭和融化熱熔蠟的情況對樣品進行調整，操作方便，且可以對樣品在X方向和Y方向的偏離位置進行調整，調整準確，保證芯片在研磨過程中不會造成損壞。
【附圖說明】
[0019]圖1是本發明實施例芯片分離制樣固定裝置的結構示意圖；
[0020]圖2為圖1的A-A截面剖視圖；
[0021]圖3是本發明實施例第一調節機構的結構示意圖；
[0022]圖4是本發明實施例第二調節機構的結構示意圖；
[0023]圖5是本發明實施例底座的結構示意圖；
[0024]圖6是本發明實施例第一調節板的結構示意圖；
[0025]圖7是本發明實施例第二調節板的結構示意圖。
[0026]附圖標記說明:
[0027]10.底座，110.第一安裝槽，120.第一固定孔，130.第一通孔，20.第一調節板，210.第二安裝槽，220.第一腰孔，230.第二固定孔，240.第一螺紋孔，250.第二開口，260.第二通孔，30.第二調節板，310.第二腰孔，320.第一開口，330.第二螺紋孔，40.第一調節機構，410.第一螺桿，420.第一調節螺母，430.第一鎖緊螺母，50.第二調節機構，510.第二鎖緊螺母，520.第二螺桿，530.第二調節螺母，60.第一間隙，70.第二間隙，80.固定螺絲，90.限位架，910.限位腔。
【具體實施方式】
[0028]下面結合附圖對本發明的實施例進行詳細說明:
[0029]如圖1至圖4所示，一種芯片分離制樣固定裝置，包括底座10、第一調節板20、第二調節板30、第一調節機構40和第二調節機構50，底座10設有第一安裝槽110，第一調節板20位于第一安裝槽110內，第一調節板20的外周與第一安裝槽110之間存在第一間隙60，第一調節板20設有與第二調節板30配合的第二安裝槽210，第二調節板30的外周與第二安裝槽210之間存在第二間隙70，第一調節機構40驅動第一調節板20沿X方向移動，第二調節機構50驅動第二調節板30沿Y方向移動，Y方向與X方向相互垂直。
[0030]通過熱熔蠟將樣品固定在第二調節板30上，在研磨過程中，發現研磨區域偏離所需要暴露的范圍時，則通過第一調節機構40調整第一調節板20在X方向上的移動，同時帶動第二調節板30上的樣品在X方向的移動，同時還可以通過第二調節機構50調整第二調節板30在Y方向上的移動，重新調整樣品的研磨區域，無需再通過調整鉆頭和融化熱熔蠟的情況對樣品進行調整，操作方便，且可以對樣品在X方向和Y方向的偏離位置進行調整，調整準確，保證芯片在研磨過程中不會造成損壞。
[0031]在本實施例中，如圖2所示，第一安裝槽110、第二安裝槽210、第一調節板20和第二調節板30的橫截面均呈“T”字型。通過T型結構，使底座10、第一調節板20和第二調節板30之間配合的更緊密。
[0032]如圖1、圖5至圖7所示，第一調節板20設有第一腰孔220，底座10設有與第一腰孔220配合的第一固定孔120，第二調節板30設有第二腰孔310，第一調節板20設有與第二腰孔310配合的第二固定孔230。當第一調節板20在X方向調整后，還可以通過第一腰孔220和第一固定孔120將第