片材載具的制作方法

本技術涉及半導體以及光伏，尤其涉及一種片材載具。

背景技術：

1、在工藝腔室中，片狀材料被豎直承載舟承載進行氣相沉積工藝。

2、然而，為了限制片狀材料移動，豎直承載舟的舟片上設置有多個卡點對片狀材料進行限位。由于制作工藝的限制，卡點的尺寸無法制作得很小，導致卡點與片狀材料的接觸面積較大，使得卡點在片狀材料上留下較大的印記。

技術實現思路

1、有鑒于此，本技術實施例提供了一種片材載具，以解決受制作工藝的限制，舟片上的卡點的尺寸無法制作得很小，導致卡點與片狀材料的接觸面積較大，造成工藝后卡點在片狀材料上留下較大的印記。

2、本技術一實施例提供了一種片材載具，包括：至少一片舟片，舟片與水平面呈角度設置，舟片被配置為承載片狀材料，片狀材料平行于舟片放置；限位絲組件，相對于舟片固定設置，限位絲組件包括絲狀結構，絲狀結構被配置為對片狀材料的下側面和片狀材料的第一表面進行限位，其中，片狀材料的第一表面是片狀材料的遠離舟片的表面。

3、在某些實現方式中，限位絲組件包括：多根第一限位絲，均與舟片連接，并與舟片呈角度設置，第一限位絲具有絲狀結構，多根第一限位絲各自的絲狀結構分別被配置為對片狀材料的下側面、片狀材料的左側面和片狀材料的右側面進行限位。

4、在某些實現方式中，n根第一限位絲被配置為形成至少一個第一限位空間，第一限位空間被配置為對一片片狀材料進行限位，第一限位空間具有相對的第一限位側和第二限位側，以及連接第一限位側和第二限位側的底部限位側；其中，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于底部限位側且靠近第一限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第一限位側且靠近底部限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第二限位側且遠離底部限位側；或者，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于底部限位側且靠近第二限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第一限位側且遠離底部限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第二限位側且靠近底部限位側。

5、在某些實現方式中，限位絲組件還包括：至少一根第二限位絲，第二限位絲的兩端均與舟片連接，第二限位絲的中部具有絲狀結構，第二限位絲的中部位于第一限位空間，并對片狀材料的第一表面進行限位，第二限位絲的中部與舟片之間存在第一間隙，第一間隙的尺寸大于或等于片狀材料的厚度。

6、在某些實現方式中，m根第二限位絲被配置為對一片片狀材料進行限位；其中，在n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于底部限位側且靠近第一限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第一限位側且靠近底部限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第二限位側且遠離底部限位側的情況下，m根第二限位絲中的至少一根第二限位絲的中部位于第一限位空間的左下角，m根第二限位絲中的至少一根第二限位絲的中部位于第一限位空間的右上角；其中，在n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于底部限位側且靠近第二限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第一限位側且遠離底部限位側，n根第一限位絲中的至少一根第一限位絲位于第二限位側且靠近底部限位側的情況下，m根第二限位絲中的至少一根第二限位絲的中部位于第一限位空間的右下角，m根第二限位絲中的至少一根第二限位絲的中部位于第一限位空間的左上角。

7、在某些實現方式中，片材載具還包括：多個支撐件，分別與舟片連接；其中，第二限位絲的兩端分別與兩個支撐件連接，以使第二限位絲的兩端通過兩個支撐件與舟片連接。

8、在某些實現方式中，舟片的數量為多片，多片舟片平行間隔設置；其中，片材載具還包括：連接組件，分別與多片舟片連接；其中，第一限位絲依次穿過多片舟片。

9、在某些實現方式中，在第一限位絲依次穿過多片舟片的情況下，限位絲組件還包括：第一配重，與第一限位絲的第一端連接；其中，第一限位絲的剛度小于第一預設值。

10、在某些實現方式中，限位絲組件還包括：第二配重，與第一限位絲的第二端連接。

11、在某些實現方式中，限位絲組件包括：多根第三限位絲，第三限位絲的第一端與第三限位絲的中部呈角度設置，第三限位絲的第二端與第三限位絲的中部呈角度設置，第三限位絲的第一端和第三限位絲的第二端均與舟片連接，第三限位絲的中部與舟片之間存在第二間隙，第二間隙的尺寸大于或等于片狀材料的厚度，第三限位絲的第一端、第三限位絲的第二端和第三限位絲的中部均包括絲狀結構。

12、在某些實現方式中，s根第三限位絲被配置為形成一個第二限位空間，第二限位空間被配置為對一片片狀材料進行限位，第二限位空間具有相對的左限位側和右限位側，以及連接左限位側和右限位側的下限位側。

13、在某些實現方式中，s根第三限位絲中的第一根第三限位絲位于第二限位空間的左下角，該第一根第三限位絲的第一端對片狀材料的左側面進行限位，該第一根第三限位絲的第二端對片狀材料的下側面進行限位，該第一根第三限位絲的中部對片狀材料的第一表面進行限位，s根第三限位絲中的第二根第三限位絲位于第二限位空間的右側，以對片狀材料的右側面和片狀材料的第一表面進行限位。

14、在某些實現方式中，該第二根第三限位絲靠近第二限位空間的上部，s根第三限位絲中的第五根第三限位絲位于第二限位空間的右下角，該第五根第三限位絲的第一端對片狀材料的右側面進行限位，該第五根第三限位絲的第二端對片狀材料的下側面進行限位，該第五根第三限位絲的中部對片狀材料的第一表面進行限位。

15、在某些實現方式中，s根第三限位絲中的第三根第三限位絲位于第二限位空間的右下角，該第三根第三限位絲的第一端對片狀材料的右側面進行限位，該第三根第三限位絲的第二端對片狀材料的下側面進行限位，該第三根第三限位絲的中部對片狀材料的第一表面進行限位，s根第三限位絲中的第四根第三限位絲位于第二限位空間的左側，以對片狀材料的左側面和片狀材料的第一表面進行限位。

16、在某些實現方式中，該第四根第三限位絲靠近第二限位空間的上部，s根第三限位絲中的第六根第三限位絲位于第二限位空間的左下角，該第六根第三限位絲的第一端對片狀材料的左側面進行限位，該第六根第三限位絲的第二端對片狀材料的下側面進行限位，該第六根第三限位絲的中部對片狀材料的第一表面進行限位。

17、在某些實現方式中，第三限位絲的中部包括第一限位段和第二限位段，第一限位段和第二限位段呈角度設置。

18、在某些實現方式中，第三限位絲的剛度大于或等于第二預設值。

19、在某些實現方式中，絲狀結構的橫截面的尺寸范圍為0.01mm至0.5mm。

20、在某些實現方式中，舟片的材料可以是以下材料中的一種：石墨、鋁；絲狀結構的材料是以下材料中的一種或幾種的組合：玄武巖纖維、陶瓷、石英、碳纖維、石墨、碳化硅、氧化鋁纖維、氧化鋯纖維、尼龍、玻璃纖維；或者，絲狀結構包括金屬絲和包裹金屬絲的涂層，涂層的材料包括以下材料中的一種或幾種的組合：氧化硅、氧化鋁。

21、本技術實施例提供的片材載具，包括至少一片舟片和限位絲組件，舟片與水平面呈角度設置，片狀材料平行于舟片放置，限位絲組件包括的絲狀結構對片狀材料的下側面進行限位可以防止片狀材料向下移動，絲狀結構對片狀材料的第一表面進行限位可以防止片狀材料向遠離舟片的一側傾倒，從而通過限位絲組件實現對片狀材料進行限位和支撐，由于絲狀結構的橫截面積可以很小，可以減少限位絲組件與片狀材料的接觸面積，從而減小甚至消除限位絲組件留在片狀材料的表面的印記。