技術總結
本實用新型公開了一種微分混合式化學氣相沉積裝置，由箱體、流道板、絕緣密封墊片、反應室、支柱、基座、加熱系統和射頻系統組成。流道板有兩個氣體入口，可分別進入兩種不同的反應氣體，兩種氣體分別在流道板的流場中經過微分分流作用后，均勻分布在流場空間內，并且分流后的兩種氣體可以進行分別混合，混合后經噴頭噴出。本實用新型微分混合式流道能夠提高氣體混合的均勻性和氣體分布的均勻性，使化學氣相沉積薄膜更均勻，省去了氣體混合裝置，簡化設備；采用電磁感應加熱方式，加熱速率快，并且提高了電能的利用率，降低成本；此外，本實用新型化學氣相沉積裝置對于已經混合好的反應氣體，可以關閉一個入口，由一個入口進入，同樣可以提高氣體分布均勻性。
技術研發人員：楊衛民;劉海超;焦志偉;丁玉梅
受保護的技術使用者：北京化工大學
文檔號碼：201720273705
技術研發日：2017.03.21
技術公布日：2017.10.03