觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統與流程

            文檔序號:11507205閱讀:390來源:國知局
            觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統與流程

            本發明涉及制造領域,特別涉及一種觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統。



            背景技術:

            在顯示器的制造過程中,鍍膜工藝一般都在真空鍍膜腔室中進行,真空鍍膜腔室上一般設置有觀察窗,生產人員可以通過該觀察窗觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況。

            由于在鍍膜過程中,鍍膜材料可能會鍍到觀察窗上,導致觀察窗被污染,繼而導致觀察窗的能見度降低。目前,在真空鍍膜腔室內部一般還設置有觀察窗防污組件,該觀察窗防污組件包括:把手、轉軸和擋板,其中,擋板設置在真空鍍膜腔室內部,與設置在真空鍍膜腔室外部的把手通過轉軸固定連接,通過轉動把手可以帶動擋板移動,在非觀察時期,可將該擋板移動至觀察窗的位置上以遮擋觀察窗,以保護觀察窗不受污染。

            但是,在觀察時期,觀察窗上由于沒有擋板保護,鍍膜材料還是會鍍到觀察窗上,仍然會造成觀察窗的污染,而污染后的觀察窗無法有效清洗,影響真空鍍膜腔室的使用效果。



            技術實現要素:

            為了解決現有技術觀察窗上沒有擋板保護且污染后的觀察窗無法有效清洗,影響真空鍍膜腔室的使用效果的問題,本發明實施例提供了一種觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統。所述技術方案如下:

            第一方面,提供了一種觀察窗防污組件,包括:

            設置在真空鍍膜腔室內的透明擋板,所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室可拆卸連接,所述透明擋板能夠覆蓋所述觀察窗。

            可選地,所述透明擋板與所述觀察窗可拆卸靜連接;

            所述觀察窗防污組件還包括:第一防污擋板和轉軸,所述轉軸穿過所述真空鍍膜腔室的側壁,所述轉軸一端位于所述真空鍍膜腔室內,另一端位于所述真空鍍膜腔室外;

            所述轉軸的一端與所述第一防污擋板連接;

            在移動所述轉軸的另一端時,所述轉軸的一端能夠帶動所述第一防污擋板移動,使所述第一防污擋板覆蓋所述透明擋板,或者使所述第一防污擋板遠離所述透明擋板。

            可選地,所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室的內壁可拆卸動連接;

            所述觀察窗防污組件還包括:第一防污擋板、第二防污擋板和轉軸,所述轉軸穿過所述真空鍍膜腔室的側壁,所述轉軸一端位于所述真空鍍膜腔室內,另一端位于所述真空鍍膜腔室外;

            所述轉軸的一端與所述第一防污擋板和所述透明擋板分別連接;

            在移動所述轉軸的另一端時,所述轉軸的一端能夠帶動所述第一防污擋板和所述透明擋板同時移動,使所述第一防污擋板或所述透明擋板覆蓋所述觀察窗;

            所述第二防污擋板固定設置在所述真空鍍膜腔室內壁上,用于在所述透明擋板未覆蓋所述觀察窗時,覆蓋所述透明擋板。

            可選地,所述真空鍍膜腔室的側壁上設置有通孔,所述通孔上設置有軸承,所述軸承包括內圈、外圈和位于所述內圈和所述外圈之間的滾動體,所述內圈套接在所述轉軸上,所述外圈與所述內壁固定連接,所述第一防污擋板與所述轉軸固定連接,所述透明擋板與所述外圈固定連接。

            可選地,所述真空鍍膜腔室的側壁上設置有通孔,所述通孔上設置有軸承,所述軸承包括內圈、外圈和位于所述內圈和所述外圈之間的滾動體,所述內圈套接在所述轉軸上,所述外圈與所述內壁固定連接,所述第一防污擋板和所述透明擋板均與所述轉軸固定連接,所述第一防污擋板和所述透明擋板位于同一平面,且所述第一防污擋板和所述透明擋板之間的距離為預設距離。

            可選地,所述第一防污擋板由透明材料制成。

            可選地,所述轉軸的另一端設置有把手;

            所述把手包括:手持部和指示部,所述手持部上設置有滾紋,所述指示部用于指示所述觀察窗是否處于可觀察狀態。

            第二方面,提供了一種真空鍍膜系統,所述真空鍍膜系統包括:

            真空鍍膜腔室,以及設置在所述真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件,所述真空鍍膜腔室的側壁上設置有觀察窗,所述觀察窗防污組件為第一方面所述的觀察窗防污組件。

            可選地,所述觀察窗防污組件還包括:轉軸和第一防污擋板,所述轉軸一端位于所述真空鍍膜腔室內,另一端位于所述真空鍍膜腔室外;

            所述真空鍍膜腔室的側壁上設置有通孔,所述通孔位于所述觀察窗上方,所述轉軸穿過所述通孔,在移動所述轉軸的另一端時,所述轉軸的一端能夠帶動所述第一防污擋板移動。

            第三方面,提供了一種觀察窗防污組件的使用方法,包括:

            在需要觀察真空鍍膜腔室內部時,將設置在所述真空鍍膜腔室內的透明擋板覆蓋所述真空鍍膜腔室的觀察窗;

            其中,所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室可拆卸連接。

            本發明實施例提供的技術方案帶來的有益效果是:

            本發明實施例提供的觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統,通過在真空鍍膜腔室內部設置透明擋板,并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接,使得該透明擋板可以在觀察時期遮擋觀察窗,避免觀察窗在觀察時期被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,并且,透明擋板的可拆卸連接,為透明擋板的更換和清洗提供了條件,保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            附圖說明

            為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案,下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

            圖1是本發明實施例提供的一種真空鍍膜系統的結構示意圖;

            圖2-1是本發明實施例提供的一種觀察窗防污組件的結構示意圖;

            圖2-2是本發明實施例提供的一種第一防污擋板遠離透明擋板時,第一防污擋板和透明擋板的位置示意圖;

            圖2-3是本發明實施例提供的一種第一防污擋板覆蓋透明擋板時,第一防污擋板和透明擋板的位置示意圖;

            圖3-1是本發明實施例提供的另一種觀察窗防污組件的結構示意圖;

            圖3-2是本發明實施例提供的一種當透明擋板覆蓋觀察窗時,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置示意圖;

            圖3-3是本發明實施例提供的一種當第一防污擋板覆蓋觀察窗時,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置示意圖。

            具體實施方式

            為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚,下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。

            圖1是本發明實施例提供的觀察窗防污組件所涉及的真空鍍膜系統的示意圖。如圖1所示,該真空鍍膜系統s可以包括:真空鍍膜腔室0和觀察窗防污組件00。真空鍍膜腔室0上設置有觀察窗01,位于真空鍍膜腔室0外部的生產人員可以通過該觀察窗觀察真空鍍膜腔室0內部的生產情況。觀察窗防污組件00設置在該真空鍍膜腔室0上,用于遮擋觀察窗01,以保護觀察窗01不受污染。

            圖2-1是本發明實施例提供的一種觀察窗防污組件00的結構示意圖,如圖2-1所示,該觀察窗防污組件00可以包括:

            設置在真空鍍膜腔室內的透明擋板001,透明擋板001與真空鍍膜腔室可拆卸連接。該可拆卸連接可以為可拆卸靜連接,該可拆卸靜連接是指透明擋板在與真空鍍膜腔室可拆卸連接的前提下,該透明擋板相對于真空鍍膜腔室能夠靜止,即無法發生移動,如卡扣、螺栓或膠粘等可拆卸靜連接方式。示例地,透明擋板的邊緣處可以預留有連接區域,該連接區域可以通過螺栓與真空鍍膜腔室進行連接。或者,該可拆卸連接也可以為可拆卸動連接,該可拆卸動連接是指透明擋板在與真空鍍膜腔室可拆卸連接的前提下,該透明擋板相對于真空鍍膜腔室能夠活動,即可以發生移動。如透明擋板可以通過軸承與真空鍍膜腔室進行連接,該軸承的外圈與真空鍍膜腔室相對固定,該軸承的內圈與透明擋板連接,內圈相對于外圈可活動,即可實現透明擋板的可拆卸動連接。該透明擋板與真空鍍膜腔室的可拆卸連接,為透明擋板的更換和清洗提供了條件。

            其中,透明擋板001能夠覆蓋觀察窗01(為了便于觀看,圖2-1中繪出了觀察窗01的邊界,實際應用中,觀察窗01被透明擋板001完全遮擋),實際應用中,可以使透明擋板001的面積大于或等于真空鍍膜腔室的觀察窗01的面積,以實現對觀察窗01的覆蓋,工作人員可以透過該覆蓋在觀察窗01上的透明擋板001對真空鍍膜腔室內的生產情況進行查看。需要說明的是,為了便于觀看,圖2-1中繪制了真空鍍膜腔室0的部分內壁,該觀察窗01位于真空鍍膜腔室0的側壁上。

            綜上所述,本發明實施例提供的觀察窗防污組件,通過在真空鍍膜腔室內部設置透明擋板,并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接,使得該透明擋板可以在觀察時期遮擋觀察窗,避免觀察窗在觀察時期被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,并且,透明擋板的可拆卸連接,為透明擋板的更換和清洗提供了條件,保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            在本發明實施例中,透明擋板可以與觀察窗可拆卸靜連接,即透明擋板相對于觀察窗固定設置,也可以與觀察窗可拆卸動連接,即透明擋板相對于觀察窗活動設置。當透明擋板相對于觀察窗活動設置時,該透明擋板可以視為可移動結構,該透明擋板能夠被移動至覆蓋或遠離觀察窗。本發明實施例以以下兩方面為例進行說明:

            一方面,如圖2-1所示,當透明擋板001相對于觀察窗01固定設置時,觀察窗防污組件00還可以包括:第一防污擋板002和轉軸003,其中,該第一防污擋板002的面積大于或等于透明擋板001的面積,轉軸003穿過真空鍍膜腔室的側壁,其一端位于真空鍍膜腔室內,另一端位于真空鍍膜腔室外(為了便于觀看,圖2-1中繪出了觀察窗01的邊界,實際應用中,觀察窗01被透明擋板001完全遮擋)。

            可選地,該轉軸003的一端與第一防污擋板002連接,在移動轉軸003的另一端時,轉軸003的一端能夠帶動第一防污擋板002移動,使第一防污擋板002覆蓋透明擋板001,或者使第一防污擋板002遠離透明擋板001。

            在本發明實施例中,該透明擋板可以通過直接或間接的方式固定設置在觀察窗上,也即是直接或間接地設置在真空鍍膜腔室的內壁上,例如,透明擋板可以通過螺栓固定連接在真空腔室的內壁上,或者,透明擋板通過軸承固定連接在真空腔室的內壁上,該軸承可以為滾動軸承,該軸承至少包括內圈、外圈和位于內圈和外圈之間的滾動體,該真空鍍膜腔室的側壁上可以設置有通孔,該通孔上設置有軸承,該軸承的外圈與真空腔室的內壁固定連接,保持靜止,軸承的內圈套接在轉軸上,與轉軸相對固定(圖2-1所示即為透明擋板通過軸承連接在轉軸上的間接連接方式),第一防污擋板與轉軸固定連接(實際應用中,第一防污擋板可以與內圈固定連接,通過該內圈實現與轉軸的連接),透明擋板與軸承的外圈固定連接,由于內圈和外圈之間存在滾動體,在轉軸的另一端轉動時,內圈相對于外圈轉動,但是外圈保持靜止,相應地,透明擋板也保持靜止。實際應用中,該軸承還可以包括其他組件,例如保持架、密封圈和潤滑油等,本發明實施例對此不做限定。

            可選地,第一防污擋板可以通過連接桿與轉軸連接,透明擋板可以通過連接桿與軸承的外圈連接,第一防污擋板和透明擋板與相應的連接桿形成的整體結構可以圖2-1所示的鐘擺狀結構,也可以為其他結構,本發明實施例對其不做具體限定。進一步的,為了保證真空鍍膜腔室的密閉性,可以在軸承的外圈與通孔之間設置密封圈。

            當第一防污擋板遠離透明擋板時,第一防污擋板和透明擋板的位置可以參考圖2-2,此時,透明擋板001覆蓋在觀察窗上,工作人員能夠通過該透明擋板和觀察窗觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況,并且,由于該透明擋板的遮擋,觀察窗可以在其保護下不受污染。

            當第一防污擋板覆蓋透明擋板時,第一防污擋板和透明擋板的位置可以參考圖2-3,此時,透明擋板覆蓋在觀察窗上,在圖2-3中僅能看到第一防污擋板002。由于第一防污擋板對透明擋板的遮擋,透明擋板可以在其保護下不受污染,繼而可以降低透明擋板的更換和清洗頻率。并且,通過在真空鍍膜腔室外移動轉軸的另一端,以通過真空鍍膜腔室內轉軸一端的帶動第一防污擋板移動,進而遮擋觀察窗,不僅保護了觀察窗不受污染,保證了真空鍍膜腔室的使用效果,還保證了第一防污擋板移動的可操作性。

            實際應用中,透明擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內壁貼合,第一防污擋板的一面可以與透明擋板的另一面貼合。這樣可以使透明擋板與觀察窗之間,以及第一防污擋板與透明擋板之間沒有縫隙,使得鍍膜材料無法通過該縫隙鍍到被遮擋的觀察窗和透明擋板上,保證了透明擋板對觀察窗和第一防污擋板對透明擋板的有效遮擋。

            另一方面,如圖3-1所示,當該透明擋板001相對于觀察窗活動設置時,觀察窗防污組件00還可以包括:第一防污擋板002、第二防污擋板004和轉軸003,其中,該第一防污擋板002的面積可以大于或等于真空鍍膜腔室的觀察窗01的面積,第二防污擋板004的面積可以大于或等于透明擋板001的面積,轉軸003穿過真空鍍膜腔室的側壁,其一端位于真空鍍膜腔室內,另一端位于真空鍍膜腔室外(為了便于觀看,圖3-1中繪出了觀察窗01的邊界,實際應用中,觀察窗01被第一防污擋板002完全遮擋)。

            可選地,轉軸003的一端與第一防污擋板002和透明擋板001分別連接。在移動轉軸003的另一端時,轉軸003的一端可以帶動第一防污擋板002和透明擋板001同時移動,使第一防污擋板002或透明擋板001覆蓋觀察窗01。

            在本發明實施例中,第二防污擋板004固定設置在真空鍍膜腔室的內壁上,用于在透明擋板001未覆蓋觀察窗01時,覆蓋透明擋板001。第二防污擋板可以通過直接或間接的方式固定設置在真空鍍膜腔室的內壁上,例如,第二防污擋板可以通過螺栓固定連接在真空腔室的內壁上,或者,第二防污擋板通過軸承固定連接在真空腔室的內壁上,該軸承可以為滾動軸承,該軸承至少包括內圈、外圈和位于內圈和外圈之間的滾動體,該軸承的外圈與真空腔室的內壁固定連接,保持靜止,軸承的內圈套接在轉軸上,與轉軸相對固定(圖3-1所示即為第二防污擋板通過軸承連接在真空腔室的內壁上的間接連接方式),第二防污擋板與軸承的外圈固定連接,由于內圈和外圈之間存在滾動體,在轉軸的另一端轉動時,內圈相對于外圈轉動,但是外圈保持靜止,相應地,第二防污擋板也保持靜止。

            實際應用中,透明擋板和第一防污擋板均與轉軸固定連接,(可選地,第一防污擋板和透明擋板可以均與內圈固定連接,通過該內圈實現與轉軸的連接),透明擋板和第一防污擋板位于同一平面,且兩者之間的距離為預設距離,在轉軸的另一端轉動時,內圈相對于外圈轉動,透明擋板和第一防污擋板也同時轉動,以實現透明擋板或第一防污擋板對觀察窗的覆蓋。由于第一防污擋板和透明擋板之間的距離為預設距離,無論兩者在轉軸的帶動下順時針或逆時針旋轉,兩者的距離依然保持固定,不會出現重合的情況。相應地,為了實現第一防污擋板對觀察窗和第二防污擋板對透明擋板的有效遮擋,觀察窗與第二防污擋板之間的距離也為預設距離。進一步的,為了保證真空鍍膜腔室的密閉性,可以在軸承的外圈與通孔之間設置密封圈。

            當透明擋板覆蓋觀察窗時,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置可以參考圖3-2,此時,透明擋板001覆蓋在觀察窗上,第一防污擋板002遠離觀察窗,第二防污擋板004固定設置在真空鍍膜腔室的內壁上,工作人員能夠通過該透明擋板和觀察窗觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況,并且,由于該透明擋板的遮擋,觀察窗可以在其保護下不受污染。

            當第一防污擋板覆蓋觀察窗時,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置可以參考圖3-3,此時,第二防污擋板004覆蓋在透明擋板上,在圖3-3中僅能看到第一防污擋板002和第二防污擋板004。由于第一防污擋板的遮擋,觀察窗可以在其保護下不受污染,并且,由于第二防污擋板的遮擋,透明擋板可以在其保護下不受污染,降低了透明擋板的更換和清洗頻率。

            實際應用中,第一防污擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內壁貼合,透明擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內壁貼合,第二防污擋板的一面可以與透明擋板的另一面貼合。這樣可以使第一防污擋板與觀察窗之間、透明擋板與觀察窗之間,以及第二防污擋板與透明擋板之間沒有縫隙,使得鍍膜材料不能夠通過該縫隙鍍到被遮擋的觀察窗和透明擋板上,保證了第一防污擋板對觀察窗、透明擋板對觀察窗,以及第二防污擋板對透明擋板的有效遮擋。

            本發明實施例中,為了保證轉軸有效穿過真空鍍膜腔室的側壁,轉軸可以穿過設置在真空鍍膜腔室的側壁上的通孔,使得轉軸的一端位于真空鍍膜腔室內,另一端位于真空鍍膜腔室外。該通孔的設置,為工作人員在真空鍍膜腔室外對真空鍍膜腔室內的擋板的移動進行控制,提供了條件。

            可選地,第一防污擋板和透明擋板均可以通過連接桿與轉軸連接,第二防污擋板可以通過連接桿與軸承的外圈連接,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板與相應的連接桿形成的整體結構可以圖3-1所示的鐘擺狀結構,也可以為其他結構,本發明實施例對其不做具體限定。由于第一防污擋板和透明擋板之間的距離為預設距離,相應地,當第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板與相應的連接桿形成的整體結構為鐘擺狀結構時,第一防污擋板對應的整體結構和透明擋板對應的整體結構形成的夾角為預設夾角。

            可選地,在圖2-1和圖3-2中,轉軸的另一端可以設置有把手。該把手可以包括:手持部和指示部,手持部上設置有滾紋,指示部用于指示觀察窗是否處于可觀察狀態。真空腔室外的工作人員可以通過抓持并轉動把手,以帶動轉軸轉動,進而帶動擋板移動。手持部上設置的滾紋,可以在抓持時增加手與手持部之間的摩擦力,使工作人員更容易地轉動轉軸。指示部為工作人員判斷觀察窗是否處于可觀察狀態提供了客觀標準,相較于工作人員通過人眼觀察等主觀判斷的方式進行判斷,有效地提高了判斷的準確性,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            實際應用中,觀察窗防污組件還可以包括:保持部,該保持部用于將可活動的擋板保持在指定位置,該指定位置可以為上述指示部指示的位置所對應的位置。設置保持部,可以實現可活動的擋板的自動位置保持,避免人工操作實現可活動的擋板在指定位置的保持,減少操作復雜度。

            例如,該保持部可以包括設置在轉軸的另一端的凸起結構,和設置在該轉軸周圍的凹陷結構,該凹陷結構可以位于上述指示部指示的位置,在轉軸轉動到該指示的位置時,凸起結構卡接在凹陷結構內,在不受到外力作用時,兩者保持卡接,使得可活動的擋板(如圖2-1中的第一防污擋板)保持在相應的位置,再次轉動轉軸時,凸起結構在受力后可以脫離凹陷結構,相應地,可活動的擋板解除剛才所保持的狀態。

            示例地,當工作人員通過轉動轉軸將第一防污擋板移動至圖2-1中所示的遠離透明擋板的位置時,凸起結構卡接在凹陷結構內,使轉軸不再轉動,將第一防污擋板保持在該位置。

            需要說明的是,凸起結構和凹陷結構中可以有至少一個是可形變材料制成,以避免兩者摩擦所造成的損傷。并且,實際應用中,該保持部還可以有多種結構,本發明實施例對此不再贅述。

            可選地,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板可以設置有相應的連接桿連接在轉軸上,第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板與連接桿形成的整體結構可以圖2-1或圖3-1所示的鐘擺狀結構,也可以為其他結構,本發明實施例對其不做具體限定。

            需要說明的是,當第一防污擋板與相應的連接桿形成的整體結構為圖2-1所示的鐘擺狀結構時,或者,當第一防污擋板和透明擋板與相應的連接桿形成的整體結構為圖3-1所示的鐘擺狀結構時,設置在真空鍍膜腔室側壁上的通孔可以位于觀察窗上方,通常,該第一防污擋板、透明擋板、通孔和觀察窗均可以為軸對稱結構,該通孔的對稱軸與觀察窗的對稱軸重合。

            可選地,透明擋板可以由透明材料制成,該透明材料需滿足具體較高透過率、具有一定硬度且不易碎。例如,該透明材料可以為樹脂等材料。

            可選地,第一防污擋板和第二防污擋板可以由透明或不透明的材料制成,該材料只需滿足具體較高透過率、具有一定硬度且不易碎即可。例如,該材料可以為樹脂、鐵、銅、鎳或鐵銅鎳等金屬的合金等材料。當第一防污擋板由透明材料制成時,相對于圖2-1所示的觀察窗防污組件,該第一防污擋板可以在觀察時也覆蓋在透明擋板上,直至第一防污擋板的可視性不能滿足觀察為止;相對于圖3-1的所示的觀察窗防污組件,在第一防污擋板的可視性能夠滿足觀察的期間內,可以將該第一防污擋板覆蓋在觀察窗上,使用戶能夠透過觀察窗和第一防污擋板對真空鍍膜腔室內部的生產情況進行查看,無需轉動把手以實現第一防污擋板和透明擋板的切換,直至第一防污擋板的可視性不能滿足觀察后,再進行第一防污擋板和透明擋板的切換。因此,第一防污擋板由透明材料制成,一方面,可以減少透明擋板被污染的幾率,實現對透明擋板的有效保護,并且進一步地降低了透明擋板的更換和清洗頻率;另一方面,在第一防污擋板的可視性能夠滿足觀察的期間內,可以透過第一防污擋板對真空鍍膜腔室內部的生產情況進行觀察,無需對第一防污擋板和透明擋板進行切換,可以減少用戶操作。

            可選地,在第一防污擋板和第二防污擋板的表面可以形成有具有一定深度的溝槽。并且,該溝槽中還可以填充有噴砂,或者,在第一防污擋板和第二防污擋板的表面噴涂有噴砂,該噴砂用以吸收真空鍍膜腔室中的水分和氧氣等影響鍍膜的物質,從而保證鍍膜工藝的正常進行。

            需要說明的是,在本發明實施例中的附圖中,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的輪廓構成的形狀均為圓形僅僅為一示意性的示例,并不用以限定。在實際應用中,該形狀還可以為橢圓形、正方形或者長方形等形狀。并且,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的輪廓構成的形狀可以全部相同,也可以全部不相同,還可以部分相同且部分不相同。可選地,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的大小可以相同,也可以不同,其大小只要保證透明擋板能夠覆蓋觀察窗,且第一防污擋板或第二防污擋板能夠覆蓋透明擋板即可。示例地,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀可以為等比例的相似圖形;或者,也可以為全等圖形。例如,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀可以為等比例的相似圓形,其中,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和/或第二防污擋板的大小依次等比例增大;或者,觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀也可以為大小相同的圓形。

            還需要說明的是,在本發明實施例中均以真空鍍膜腔室為立方體腔室為例進行說明,該立方體腔室的側壁為平面。實際應用中,真空鍍膜腔室也可以為圓柱狀腔室或其他形狀的腔室,相應地,其側壁可以為曲面或平面,對應地,透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的整體形狀也可以為曲面或平面,只要保證透明擋板與觀察窗且第一防污擋板與透明擋板能夠有效貼合即可,或者,只要保證透明擋板與觀察窗、第一防污擋板與觀察窗、且第二防污擋板與透明擋板能夠有效貼合即可,本發明實施例對其不做具體限定。

            在本發明實施例中,觀察窗防污組件中的除透明擋板之外的擋板,如第一防污擋板,也可以與真空鍍膜腔室可拆卸連接,其連接方式可以參考上述透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接的方式。

            綜上所述,本發明實施例提供的觀察窗防污組件,通過在真空鍍膜腔室內部設置透明擋板,并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接,使得該透明擋板可以在觀察時期遮擋觀察窗,避免觀察窗在觀察時期被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,并且,透明擋板的可拆卸連接,為透明擋板的更換和清洗提供了條件,保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            本發明實施例還提供了一種真空鍍膜系統,請參考圖1,該真空鍍膜系統s可以包括:真空鍍膜腔室0,以及設置在該真空鍍膜腔室0上的觀察窗防污組件00,并且,該真空鍍膜腔室0的側壁上設置有觀察窗01,該觀察窗防污組件00可以為圖2-1或圖3-1所示的觀察窗防污組件00。

            綜上所述,本發明實施例提供的真空鍍膜系統,通過在真空鍍膜腔室上設置觀察窗防污組件,并且使用該觀察窗防污組件遮擋觀察窗,避免觀察窗被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            進一步的,請參考圖2-1或圖3-1,該觀察窗防污組件00還可以包括:轉軸003和第一防污擋板002,其中,轉軸003一端位于真空鍍膜腔室0內,另一端位于真空鍍膜腔室0外。

            可選地,真空鍍膜腔室的側壁上可以設置有通孔(圖中未畫出),該通孔可以位于觀察窗上方,轉軸穿過該通孔,在移動轉軸003的另一端時,轉軸的一端能夠帶動第一防污擋板轉動。

            可選地,在通孔上還可以設置有軸承,該軸承可以為滾動軸承,該軸承可以包括內圈、外圈和位于內圈和外圈之間的滾動體,該內圈可以套接在轉軸上,與轉軸相對固定,該外圈可以與內壁固定連接,保持靜止。

            當設置在真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件為圖2-1所示的觀察窗防污組件時,第一防污擋板與轉軸固定連接(實際應用中,第一防污擋板可以與內圈固定連接,通過該內圈實現與轉軸的連接),透明擋板與軸承的外圈固定連接,第一防污擋板可以在轉軸的帶動下覆蓋或遠離透明擋板,透明擋板由于與軸承的外圈固定連接,在轉軸的另一端轉動時,外圈能夠保持靜止,相應地,透明擋板也能夠保持靜止。

            當設置在真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件為圖3-1所示的觀察窗防污組件時,第一防污擋板和透明擋板均與轉軸固定連接,第二防污擋板與軸承的外圈固定連接。第一防污擋板和透明擋板位于同一平面,且第一防污擋板的中軸線所在方向與透明擋板的中軸線所在方向呈預設夾角。在轉軸的另一端轉動時,透明擋板和第一防污擋板也同時轉動,可以實現透明擋板或第一防污擋板對觀察窗的覆蓋。第二防污擋板與軸承的外圈固定連接,在轉軸的另一端轉動時,外圈能夠保持靜止,相應地,第二防污擋板也能夠保持靜止。

            綜上所述,本發明實施例提供的真空鍍膜系統,通過在真空鍍膜腔室上設置觀察窗防污組件,并且使用該觀察窗防污組件遮擋觀察窗,避免觀察窗被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            本發明實施例還提供了一種觀察窗防污組件的使用方法,該方法可以包括:在需要觀察真空鍍膜腔室內部時,將設置在真空鍍膜腔室內的透明擋板覆蓋真空鍍膜腔室的觀察窗。其中,透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接,該可拆卸連接為透明擋板的更換和清洗提供了條件。

            示例地,當該方法涉及的觀察窗防污組件可以為圖2-1所示的結構時,透明擋板相對于觀察窗固定設置,當工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況時,可以通過抓持并轉動把手的手持部,以帶動轉軸轉動,使把手上的指示部指示在觀察狀態,此時,第一防污擋板遠離透明擋板,工作人員可以通過透明擋板和觀察窗進行觀察;當不需要觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況時,工作人員可以通過抓持并轉動把手的手持部,以帶動轉軸轉動,使把手上的指示部指示在非觀察狀態,此時,第一防污擋板覆蓋透明擋板,透明擋板可以在其保護下不受污染,繼而降低透明擋板的更換和清洗頻率。

            示例地,當該方法涉及的觀察窗防污組件可以為圖3-1所示的結構時,透明擋板相對于觀察窗活動設置,當工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況時,可以通過抓持并轉動把手的手持部,以帶動轉軸轉動,使把手上的指示部指示在觀察狀態,此時,透明擋板覆蓋觀察窗,工作人員可以通過透明擋板和觀察窗進行觀察,并且,觀察窗在透明擋板的遮擋下可以免受污染;當不需要觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況時,工作人員可以通過抓持并轉動把手的手持部,以帶動轉軸轉動,使把手上的指示部指示在非觀察狀態,此時,第一防污擋板覆蓋觀察窗,且使第二防污擋板覆蓋透明擋板,第一防污擋板可以保護觀察窗不受污染,第二防污擋板可以保護透明擋板不受污染。

            需要說明的是,當觀察窗防污組件并未設置把手或者把手上并未設置指示部時,當工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內部的生產情況時,工作人員可以觀察通過觀察窗是否可以看到真空鍍膜腔室內部的圖像,若通過觀察窗無法看到真空鍍膜腔室內部的圖像(例如,第一防污擋板不透明,圖2-1中,透明擋板相對于觀察窗固定設置,第一防污擋板覆蓋透明擋板;或者,圖3-1中,透明擋板相對于觀察窗活動設置,第一防污擋板覆蓋觀察窗,透明擋板遠離觀察窗),旋轉轉軸直至可以看到真空鍍膜腔室內部的圖像(例如,第一防污擋板不透明,圖2-1中,透明擋板相對于觀察窗固定設置,第一防污擋板遠離透明擋板;或者,圖3-1中,透明擋板相對于觀察窗活動設置,第一防污擋板遠離觀察窗,透明擋板覆蓋觀察窗),然后進行生產情況的觀察,若持續無法看到清晰的真空鍍膜腔室內部的圖像,說明透明擋板和/或觀察窗被污染,需要對透明擋板和觀察窗進行檢查,對被污染的透明擋板進行拆卸清洗,若觀察窗也被污染,對觀察窗也進行清洗。

            若通過觀察窗可以看到真空鍍膜腔室內部的圖像(例如,第一防污擋板透明,第一防污擋板和/或透明擋板覆蓋觀察窗),工作人員可以直接進行生產情況的觀察,但是若通過觀察窗可以看到的真空鍍膜腔室內部的圖像較模糊,工作人員可以旋轉轉軸直至可以看到清晰的真空鍍膜腔室內部的圖像(例如,第一防污擋板透明,圖2-1中,透明擋板相對于觀察窗固定設置,第一防污擋板遠離透明擋板;或者,圖3-1中,透明擋板相對于觀察窗活動設置,第一防污擋板遠離觀察窗,透明擋板覆蓋或者遠離觀察窗),然后進行生產情況的觀察,若持續無法看到清晰的真空鍍膜腔室內部的圖像,說明擋板和/或觀察窗被污染,該被擋板包括上述透明的第一防污擋板和透明擋板,需要進行對擋板和觀察窗進行檢查,對被污染的擋板進行拆卸清洗,若觀察窗也被污染,對觀察窗也進行清洗。

            所屬領域的技術人員可以清楚地了解到,為描述的方便和簡潔,上述描述的方法的具體步驟,可以參考前述裝置實施例中的對應過程,在此不再贅述。

            綜上所述,本發明實施例提供的觀察窗防污組件的使用方法,通過將透明擋板設置在真空鍍膜腔室內,使透明擋板覆蓋真空鍍膜腔室的觀察窗,避免觀察窗在觀察時期被鍍上鍍膜材料,即保護觀察窗不受污染,并且,透明擋板的可拆卸連接,為透明擋板的更換和清洗提供了條件,保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性,進而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

            通過本領域普通技術人員可以理解實現上述實施例的全部或部分步驟可以通過硬件來完成,也可以通過程序來指令相關的硬件完成,所述的程序可以存儲于一種計算機可讀存儲介質中,上述提到的存儲介質可以是只讀存儲器,磁盤或光盤等。

            以上所述僅為本發明的較佳實施例,并不用以限制本發明,凡在本發明的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。

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