技術總結
本發明公開了一種高效節能硒化鋅氣相沉積爐，包括爐本體，所述爐本體上設有反應氣體進氣管道，所述爐本體與尾氣處理系統連通，所述爐本體內設有氣體分布裝置，所述氣體分布裝置包括內筒和外筒，所述內筒套設在外筒的內部并且內筒與外筒之間形成密封的空腔，所述空腔內設置有螺旋向下的螺旋導流板，所述反應氣體進氣管道與空腔的上部連通，所述內筒上設有若干通氣孔。本發明相對于現有技術中噴氣嘴直接噴射的方式，反應氣體氣流分布更加均勻，提高了沉積質量，同時減少了反應氣體的浪費，提高資源的利用率。
技術研發人員：李小剛
受保護的技術使用者：峨眉山市元素新材料科技有限公司
文檔號碼：201710018736
技術研發日：2017.01.10
技術公布日：2017.05.10