本實用新型屬于磁控濺射靶材生產領域，尤其涉及一種保護氣氛快速冷卻裝置。
背景技術：
磁控濺射靶材是半導體行業的關鍵材料，用于電路互連、器件中柵極、內引線材料、肖特基勢壘接觸的制作以及背面金屬化。隨著芯片微型化、高密度化、高速化、高可靠化和系統集成化，對磁控濺射靶材的質量的要求越來越嚴，靶材表面輕微的氧化，都會對產品質量造成重大影響。目前靶材在成型后，必須經過清洗、烘干、冷卻及包裝四個步驟，將靶材處理干凈并進行保護。清洗是將表面雜質去除干凈，通過加熱烘干去除水分，冷卻到室溫后才能進行最后的真空包裝。由于某些金屬在空氣中易于氧化，因此烘干后的靶材不能直接在大氣中冷卻，較高的溫度會造成靶材表面氧化，影響產品質量。目前采用的方式是在真空環境下冷卻，或放入氮氣柜中冷卻。前者雖然可以保證靶材在冷卻過程不接觸到氧氣，從而避免氧化，但由于真空下無法進行對流傳熱，導致冷卻時間很長，非常影響生產效率；后者通過不斷往氮氣柜中充入氮氣，保證柜子氧氣含量低，但在放入靶材的過程，不可避免的會混入氧氣，從而造成輕微氧化。
技術實現要素：
針對上述問題，本實用新型提出一種保護氣氛快速冷卻裝置，包括箱體1、密封圈2、真空泵接口3、惰性氣體接口4、空氣接口5、箱門6、空調蒸發器7以及空調蒸發器外罩8；所述密封圈2設置于箱體1開口處的密封槽內，在箱體1背面下方并排設置真空泵接口3、惰性氣體接口4與空氣接口5，箱門6通過鉸鏈與箱體1連接，空調蒸發器7設置在箱體1內側底部中央，空調蒸發器外罩8設置于調蒸發器7外部以及箱體1內部。
所述密封圈2用于在箱門6關閉后保證箱體1密封。
所述真空泵接口3與外界真空泵相連，用于將箱內1中的空氣抽空；所述惰性氣體接口4與外界惰性氣體鋼瓶連接，用于將惰性氣體充入箱體1中；所述空氣接口5用于在抽真空后將外界空氣放入箱體1；在三個接口外均設有閥門，用于控制接口的開閉。
所述空調蒸發器7設有風扇，空調蒸發器7與外界空調壓縮機相連，用于強制冷卻箱體1內的空氣或惰性氣體，空調蒸發器的控制電線和銅管從箱體引出，并在開口處進行密封處理，防止空氣漏入。
所述空調蒸發器外罩8由具有網眼結構的不銹鋼材質制成，用于有效的保證箱體1內氣體的流通，同時可做為磁控濺射靶材的放置平臺，空調蒸發器外罩8頂端為平面，并附有耐熱潔凈的軟性材料，避免靶材底面劃傷。
本實用新型的有益效果在于：
(1)具有抽真空及沖惰性氣體的功能，可以確保產品不被氧化,。本實用新型由于具有抽真空功能，可以將空氣抽空，避免靶材在冷卻過程中接觸氧氣而被氧化，充入惰性氣體后，可以使磁控濺射靶材在冷卻過程始終處于惰性氣體的保護氣氛中，確保產品不被氧化。
(2)具有強制冷卻功能，可以快速高效的使產品降溫，提高生產效率。相對于傳統的真空冷卻方式，本實用新型由于充入了惰性氣體，可以確保對流傳熱，大大提高了傳熱效率，同時采用空調強制冷卻，可以迅速將熱量帶走，使靶材迅速冷卻，極大的提高生產效率，使靶材的冷卻效率也優于氮氣柜。
(3)結構簡單，適用性強，可以滿足多種靶材產品的冷卻需求。
附圖說明
附圖1為保護氣氛快速冷卻裝置的結構示意圖。
附圖標記：1－箱體，2－密封圈，3－真空泵接口，4－惰性氣體接口，5－空氣接口，6－箱門，7－空調蒸發器，8－空調蒸發器外罩。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型進行詳細說明。
附圖1為保護氣氛快速冷卻裝置的結構示意圖，如圖1所示，該裝置包括箱體1、密封圈2、真空泵接口3、惰性氣體接口4、空氣接口5、箱門6、空調蒸發器7以及空調蒸發器外罩8。在箱體1開口處設有密封槽，并裝有密封圈2，在箱體1背面下方分別并排設置真空泵接口3、惰性氣體接口4與空氣接口5，三個接口外均設有閥門，用于控制接口的開閉，箱門6通過鉸鏈與箱體1連接，在箱體1底部中央安裝帶有風扇的空調蒸發器7，空調蒸發器7的控制電線和銅管引出箱體，在開口處進行密封處理，防止空氣漏入。在空調蒸發器7外側安裝側面帶有網眼結構的不銹鋼外罩8，外罩8頂端為平面，并附上耐熱潔凈的軟性材料，避免靶材底面劃傷。本實用新型的冷卻方法如下：首先將真空接口與真空系統連接，將惰性氣體接口與惰性氣體鋼瓶連接，將空調蒸發器與空調壓縮機連接。然后將靶材放入箱體，關閉箱門并鎖緊，打開真空泵接口的閥門，啟動真空泵將箱體內的空氣抽出；關閉真空泵接口的閥門，打開惰性氣體接口閥門，充入惰性氣體；待充滿后，啟動空調系統，對箱體內的氣體進行強制冷卻，通過對流方式，帶走磁控濺射靶材的熱量，達到快速冷卻的效果。
此實施例僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求的保護范圍為準。