防掉落硅片鍍膜掛鉤的制作方法

本實用新型屬于光伏產品的工藝設備技術領域，涉及對板式PECVD工藝中硅片載片器掛鉤的改進，具體涉及一種防掉落硅片鍍膜掛鉤。

背景技術：

太陽能電池硅片鍍膜大多采用板式PECVD工藝，是把硅片放在硅片載片器的掛鉤上，利用鉤尖托住太陽能電池硅片，然后載片器與硅片一通進入平板爐進行鍍膜。由于鍍膜工藝要求掛鉤的尺寸越小越好，所以在生產過程中，正常狀態下的硅片偶爾會出現掉落的情況，如圖1所示，掛鉤3利用其魚鉤形的尖端托住正常狀態硅片1，但在運行中遇到振動或碰撞時，容易出現脫離掛鉤3的掉落硅片2。當硅片掉落在設備內部時，需要將鍍膜設備停機，打開腔體，而腔體內是有高溫和真空要求的，就需要破真空、降溫后方可開腔清理，清理后又需要關閉腔體、抽真空和升溫。對于連續生產的板式PECVD工藝，停機清理會產生極高的能耗，以及巨大的產能損失。

對現有硅片載片器掛鉤進行改進，即便發生硅片掉落，也不至于進行停機清理，避免影響產能；同時又不能影響鍍膜工藝，就成為亟待解決的技術問題。

技術實現要素：

發明目的：為了克服現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種防掉落硅片鍍膜掛鉤。

技術方案：為解決上述技術問題，本實用新型提供的防掉落硅片鍍膜掛鉤，包括設于硅片載片器上的掛鉤，所述掛鉤具有用于托住硅片的支撐結構，所述掛鉤的底部固設有橫擋，所述橫擋的寬度大于支撐結構的寬度，所述橫擋與支撐結構之間留有間距。

具體地，所述支撐結構呈上翹的魚鉤形，魚鉤的勾尖用于托舉硅片，以保證最小的接觸面積和盡可能小的掛鉤尺寸。

具體地，所述支撐結構是斜面，所述斜面的傾角是10-50°，利用斜面與硅片的邊緣接觸，實現托舉功能。

具體地，所述間距是2~10mm，避免橫擋對硅片底部鍍膜工藝的影響。

具體地，所述橫擋的寬度是支撐結構寬度的1.2~2倍，從而最大限度地承托從掛鉤一端掉落的硅片。

具體地，所述硅片載片器的中部安裝有中部掛鉤，邊緣安裝有邊緣掛鉤，所述中部掛鉤的兩側均有支撐結構，所述邊緣掛鉤單側具有支撐結構。

具體地，所述中部掛鉤兩側的支撐機構相互對稱。

具體地，所述橫擋的中部通過連接部與掛鉤的底部中心固定連接。

具體地，所述掛鉤是金屬材質掛鉤，橫擋結構與掛鉤本體一體成型。

有益效果：本實用新型通過在掛鉤下方增加橫擋結構，避免生產過程中硅片掉落在設備內部，造成設備停機清理，影響設備產能。

除了上面所述的本實用新型解決的技術問題、構成技術方案的技術特征以及由這些技術方案的技術特征所帶來的優點外，本實用新型的防掉落硅片鍍膜掛鉤所能解決的其他技術問題、技術方案中包含的其他技術特征以及這些技術特征帶來的優點，將結合附圖做出進一步詳細的說明。

附圖說明

圖1是現有掛鉤硅片掉落的示意圖；

圖2是本實用新型實施例1的結構示意圖；

圖3是圖2在硅片掉落狀態下的示意圖；

圖4是本實用新型實施例3的結構示意圖；

圖中：1正常狀態硅片，2掉落硅片，3掛鉤，4防掉落掛鉤，4-1橫擋，5斜面掛鉤，5-1斜面掛鉤橫擋。

具體實施方式

實施例1：

本實施例的防掉落掛鉤4如圖2所示，是在現有載板掛鉤的下部，增加一段伸出的橫擋4-1，用于擋住掉落的硅片。

如圖3所示，當硅片出現掉落的情況時，橫擋4-1可以繼續托住掉落硅片2，使其不會掉落在生產設備里面，不至于進行停機清理，不會影響到產能；而且增加的橫擋4-1離正常狀態硅片1的下表面有一段距離，可以取2~10mm，使其不影響鍍膜工藝，目前已經進行實驗正常，可以取得預期效果。該項創新已經在客戶單位實施驗證，在不影響生產工藝的前提下，避免了硅片掉落造成的停機清理。

實施例2

本實施例不同于實施例1雙側結構，本實施例的掛鉤采用單側結構，布置在載板的邊緣，單側掛鉤與單側橫擋均指向載板的中心，與載板內部的雙側掛鉤配合使用。

實施例3

本實施例的結構如圖4所示，不同于實施例1的魚鉤類型掛鉤，本實施例采用斜面掛鉤5，在其底端增加斜面掛鉤橫擋5-1，用于托住生產過程中的掉落的硅片，其使用原理與實施例1相同。

以上結合附圖對本實用新型的實施方式做出詳細說明，但本實用新型不局限于所描述的實施方式。對本領域的普通技術人員而言，在本實用新型的原理和技術思想的范圍內，對這些實施方式進行多種變化、修改、替換和變形仍落入本實用新型的保護范圍內。