一種藍寶石襯底拋光裝置的制作方法

本實用新型涉及藍寶石襯底加工技術領域，具體為一種藍寶石襯底拋光裝置。

背景技術：

隨著高亮度LED在照明工程領域需求量的急劇增長，帶動了國內藍寶石襯底材料制備產業的發展。由于藍寶石晶體具有耐高溫、耐腐蝕、透光波段寬等顯著特點，是外延長的首選襯底材料，但也正是由于藍寶石硬度極高、脆性大、化學性質穩定的特點，給材料加工，尤其是晶片表面納米級拋光在技術上帶來很多困難，為應對光電技術的發展對產品襯底材料表面提出的超光滑、無損傷的要求，必須對藍寶石襯底進行精細拋光，拋光時需要使拋光盤與藍寶石襯底貼合以產生壓力進行拋光，但是由于藍寶石襯底材質較脆，在對其進行拋光的時候要注意，傳統的藍寶石襯底拋光機對藍寶石襯底的固定不夠好，在對藍寶石襯底進行拋光時可能會導致其發生損壞，導致報廢，造成經濟損失，而且傳統的拋光機不能調節拋光盤與藍寶石襯底貼合程度。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提供一種藍寶石襯底拋光裝置，具備對藍寶石襯底固定效果好的優點，解決了傳統拋光機對藍寶石襯底固定效果不好的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種藍寶石襯底拋光裝置，包括底座，所述底座的頂部設置有固定架，所述固定架的頂部開設有第一通孔，所述第一通孔的內部設置有軸承，所述固定架的頂部還設置有電機支架，所述電機支架的內部設置有電機。

所述固定架的內部設置有置物板，所述置物板上開設有第二通孔，所述置物板的上表面開設有滑槽，所述滑槽的內部設置有滑塊，所述滑塊的一側面與滑槽的內側壁之間設置有間隙，間隙內設置有第一彈簧，所述滑槽的內底壁開設有凹槽。

所述固定架的內部還設置有定位桿，所述定位桿的一端與底座的上表面固定連接，所述定位桿的另一端延伸出第二通孔并設置有限位塊，所述限位塊的下表面與置物板的上表面接觸，所述定位桿的外表面設置有限位螺母，所述定位桿的外表面還套接有第二彈簧，所述固定架的內部還設置有轉動軸，所述轉動軸的一端設置有拋光盤，所述轉動軸的外表面與軸承的內表面固定連接，所述轉動軸的另一端延伸出第一通孔與電機的輸出端通過聯軸器固定連接。

優選的，所述凹槽的截面呈三角形狀，所述凹槽的內部設置有防滑塊，所述防滑塊為橡膠防滑塊。

優選的，四個所述第二通孔以兩兩對稱的形式設置在置物板上，四個所述定位桿的外表面分別與四個所述第二通孔的內表面接觸。

優選的，所述定位桿的外表面還設置有螺紋，所述限位螺母的內表面與定位桿的外表面螺紋連接。

優選的，所述第二彈簧的頂部與置物板的下表面固定連接，所述第二彈簧的底部與限位螺母的上表面接觸。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過在置物板的上表面開設有滑槽，滑槽的內部設置有滑塊，滑塊的一側面與滑槽的內側壁之間設置有間隙，間隙內設置有第一彈簧，能夠對不同大小的藍寶石襯底起到很好的緊固效果，滑槽的內底壁開設有凹槽，凹槽的內部設置有防滑塊，橡膠防滑塊能夠防止藍寶石襯底在置物板上發生移動，達到了對藍寶石襯底很好的固定的效果。

2、本實用新型通過定位桿的另一端延伸出第二通孔并設置有限位塊，所述限位塊的下表面與置物板的上表面接觸，防止定位桿從第二通孔內脫落，定位桿的外表面設置有限位螺母，定位桿的外表面還套接有第二彈簧，第二彈簧的頂部與置物板的下表面固定連接，第二彈簧的底部與限位螺母的上表面接觸，通過調節限位螺母的位置改變第二彈簧的伸縮長度，以改變拋光盤與襯底之間的貼合程度，從而有效的解決了傳統的拋光機不能調節拋光盤與藍寶石襯底貼合程度的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型置物板剖面圖；

圖3為本實用新型置物板結構示意圖。

圖中：1底座、2固定架、3第一通孔、4軸承、5電機支架、6電機、7置物板、8第二通孔、9滑槽、10滑塊、11第一彈簧、12凹槽、13防滑塊、14定位桿、15限位塊、16限位螺母、17第二彈簧、18轉動軸、19拋光盤、20聯軸器、21螺紋。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1，一種藍寶石襯底拋光裝置，包括底座1，底座1的頂部設置有固定架2，固定架2的頂部開設有第一通孔3，第一通孔3的內部設置有軸承4，固定架2的頂部還設置有電機支架5，電機支架5的內部設置有電機6。

請參閱圖1-3，固定架2的內部設置有置物板7，置物板7上開設有第二通孔8，四個第二通孔8以兩兩對稱的形式設置在置物板7上，第二通孔8開設在置物板7的四角，使定位桿14對置物板7的穩定效果更好，有效的避免置物板7在藍寶石襯底拋光過程中發生錯位的情況，置物板7的上表面開設有滑槽9，滑槽9的內部設置有滑塊10，滑塊10的一側面與滑槽9的內側壁之間設置有間隙，間隙內設置有第一彈簧11，能夠對不同大小的藍寶石襯底起到很好的緊固效果，滑槽9的內底壁開設有凹槽12，凹槽12的內部設置有防滑塊13，凹槽12的截面呈三角形狀，防滑塊13為橡膠防滑塊，三角形的穩定性最好，配合三角形的橡膠防滑塊，能夠對藍寶石襯底起到更好的防滑固定作用，而且橡膠有很好的減震效果，能夠降低藍寶石襯底在拋光時所受到的振動，避免因為振動造成損壞，達到了對藍寶石襯底很好的固定的效果。

固定架2的內部還設置有定位桿14，定位桿14的一端與底座1的上表面固定連接，定位桿14的另一端延伸出第二通孔8并設置有限位塊15，防止定位桿14從第二通孔8內脫落，四個定位桿14的外表面分別與四個第二通孔8的內表面接觸，限位塊15的下表面與置物板7的上表面接觸，定位桿14的外表面設置有限位螺母16，定位桿14的外表面還套接有第二彈簧17，第二彈簧17的頂部與置物板7的下表面固定連接，第二彈簧17的底部與限位螺母16的上表面接觸，定位桿14的外表面還設置有螺紋21，限位螺母16的內表面與定位桿14的外表面螺紋連接，用戶可以通過改變限位螺母16的位置，以改變第二彈簧17的伸縮長度達到調節藍寶石襯底與拋光盤19之間的貼合程度，第二彈簧17的設置即能夠用來調節藍寶石襯底與拋光盤19之間的壓力，又能避免拋光盤19與藍寶石襯底之間壓力過大導致襯底損壞的情況，有效的解決了傳統的拋光機不能調節拋光盤19與藍寶石襯底貼合程度的問題，固定架2的內部還設置有轉動軸18，轉動軸18的一端設置有拋光盤19，轉動軸18的外表面與軸承4的內表面固定連接，轉動軸18的另一端延伸出第一通孔3與電機6的輸出端通過聯軸器20固定連接。

工作原理：將需要拋光的藍寶石襯底通過滑塊10和第一彈簧11固定在置物板7上表面的滑槽9內，根據拋光需要的壓力調節限位螺母16的位置，啟動電機6，對襯底進行打磨。

綜上所述：該藍寶石襯底拋光裝置，通過在置物板7的上表面開設有滑槽9，滑槽9的內部設置有滑塊10，滑塊10的一側面與滑槽9的內側壁之間設置有間隙，間隙內設置有第一彈簧11，滑槽9的內底壁開設有凹槽12，凹槽12的內部設置有防滑塊13，解決了傳統拋光機對藍寶石襯底固定性不好的問題。

通過定位桿14的另一端延伸出第二通孔8并設置有限位塊15，所述限位塊15的下表面與置物板7的上表面接觸，定位桿14的外表面設置有限位螺母16，定位桿14的外表面還套接有第二彈簧17，第二彈簧17的頂部與置物板7的下表面固定連接，第二彈簧17的底部與限位螺母16的上表面接觸，解決了傳統的拋光機不能調節拋光盤與藍寶石襯底貼合程度的問題。

盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。