噴嘴的制作方法

本實用新型涉及有機電致發光器件制備領域，更具體涉及一種噴嘴。

背景技術：

有機電致顯示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件由于同時具備自發光、不需背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣、構造及制作過程較簡單等優異的特性，被認為是下一代的平面顯示器的新興應用技術。

OLED器件在制作過程中，線性蒸發源將有機材料進行加熱，材料分子在受熱后通過內板(Inner plate)均一化后，經過線性蒸發源的噴嘴(Nozzle)將其蒸鍍到低溫多晶硅(LTPS)基板上。傳統技術中由于線性蒸發源的坩堝加熱的溫度均勻性不好，坩堝頂部溫度高于底部溫度，而坩堝頂部的加熱絲在加熱過程中加熱噴嘴的底部位置，坩堝底部的加熱絲在加熱過程中加熱噴嘴的頂部位置，噴嘴頂部又靠近冷卻板，這樣導致噴嘴頂部的溫度相對低，圖1A、圖1B分別為線性蒸發源的噴嘴的側視圖和俯視圖。溫度過低會導致材料經過噴嘴頂部時發生材料粘貼在噴嘴內壁上的現象，時間長就會導致噴嘴堵塞。目前由于噴嘴堵塞造成的線性蒸發源故障的頻率在10％～15％左右。噴嘴堵塞后導致坩堝內部壓強發生變化，蒸鍍形成的有機材料薄膜厚度均一性變差，影響器件性能。

另外，目前線性蒸發源為10個有機蒸鍍腔室，共19個線性坩堝，每個坩堝上面至少有9個噴嘴，并且是在在線工作Inline狀態下所有腔室一起蒸鍍，如有一個坩堝上的一個噴嘴發生堵塞，解決噴嘴阻塞(Nozzle Clogging)問題時需要同時停止其他腔室中的噴嘴，其他腔室中噴嘴的利用率嚴重下，造成資源的浪費。并且處理噴嘴堵塞需要降溫開腔后處理再升溫抽成真空，目前對于該問題的處理至少需要12小時，嚴重影響了工作效率和產品的制作效率。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是如何提高蒸鍍噴嘴噴頭部位的溫度。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種噴嘴，所述噴嘴包括噴射件以及溫度維持部件，所述溫度維持部件設置在所述噴射件的外側或內側，所述溫度維持部件用于將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，或者通過熱傳導的方式將噴射件底部的熱量傳導到所述噴射件的噴射部位，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度。

優選地，所述溫度維持部件設置在所述噴射件的外側，與所述噴射件不接觸，并且所述溫度維持部件為筒狀結構。

優選地，所述溫度維持部件與所述噴射件同軸。

優選地，所述溫度維持部件與所述噴射件等高。

優選地，所述溫度維持部件包括多個外徑不同的筒狀結構。

優選地，所述溫度維持部件的每個所述筒狀結構的厚度均為0.1～1mm。

優選地，所述噴射件為不銹鋼噴射件。

優選地，所述噴射件為筒狀結構，并且所述噴射件的內壁設置有導熱膜。

優選地，所述噴射件為銅噴射件。

優選地，溫度維持部件為不銹鋼溫度維持部件。

優選地，所述噴射件為筒狀結構，所述溫度維持部件為設置在所述噴射件的內壁的金屬薄膜。

優選地，所述噴射件的內壁設置有銅薄膜。

優選地，所述銅薄膜的厚度為0.5～5mm。

本實用新型提供了一種噴嘴，該噴嘴包括噴射件和溫度維持部件，溫度維持部件設置在噴射件的外側或內側，溫度維持部件用于將噴射件向外輻射的熱量反射回噴射件，以提高噴射件的噴射部位的溫度，或者通過熱傳導的方式將噴射件底部的熱量傳導到噴射件的噴射部位，以提高噴射件的噴射部位的溫度，從而避免了噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位(即噴頭位置)而造成堵塞和因噴射件(或噴嘴)，阻塞造成的線性蒸發源利用率下降，從提高了工作效率和產品的制作效率，同時由于噴嘴的受熱均勻，因此提高了蒸鍍形成的蒸鍍膜厚度的均一性，從而保證了器件的性能。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1A是現有技術中線性蒸發源噴嘴的側視圖；

圖1B是現有技術中線性蒸發源噴嘴的俯視圖；

圖2是本實用新型的實施例一的噴嘴的側視圖；

圖3是本實用新型的實施例三的噴嘴的側視圖；

圖4為本實用新型的實施例四的噴嘴的俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。

一種噴嘴，所述噴嘴包括噴射件以及溫度維持部件，所述溫度維持部件設置在所述噴射件的外側或內側，所述溫度維持部件用于將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，或者通過熱傳導的方式將噴射件底部的熱量傳導到所述噴射件的噴射部位，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度，從而避免了噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位(即噴頭位置)而造成堵塞和因噴射件(或噴嘴)阻塞造成的線性蒸發源利用率下降，從而提高了工作效率和產品的制作效率，同時由于噴嘴受熱均勻，提高了蒸鍍形成的蒸鍍膜厚度的均一性，從而保證了器件的性能。

進一步地，溫度維持部件設置在所述噴射件的外側，與所述噴射件不接觸，并且所述溫度維持部件為筒狀結構，此種結構的噴嘴能夠利用溫度維持部件將所述噴射件向外輻射的熱量反射回所述噴射件，以提高所述噴射件的噴射部位的溫度。另外，將所述噴射件設計為筒狀結構。筒狀的結構使噴射件對其內部材料的壓力均一，從而使噴射出去的材料的均更加均勻，從而進一步提高了形成的蒸鍍膜的厚度發熱均一性。

進一步地，為保證溫度維持部件反射回噴射件的熱量更加均勻，將所述溫度維持部件設計為與所述噴射件同軸，從而實現均勻的提高噴射件噴射部位的溫度。為進一步提高溫度維持部件反射回噴射件的熱量均勻性，將所述反射件與所述噴射件等高設置。例如可將溫度維持部件和噴射件設置為等高、同軸的圓筒狀結構。優選地，所述溫度維持部件為不銹鋼溫度維持部件。

為了進一步地提高噴射件噴射部位的溫度，避免噴射物粘貼，將所述溫度維持部件設計為包括多個外徑不同并且同軸的筒狀結構。優選地，每個所述筒狀結構的厚度可以為0.1～1mm。外徑不同的多個筒狀結構可以將透過內層的筒狀結構的熱能被外層筒狀結構反射回噴射件，從而達到進一步提高噴射件噴射部位的溫度的目的。

進一步地，所述噴射件為不銹鋼噴射件，為了提高噴射件的熱均勻性，在噴射件的內壁設置有導熱性能好的導熱膜，例如金屬薄膜，優選地，噴射件的內壁設置有銅薄膜，從而有效提高噴射件內部的溫度以及噴射件不同部位的熱均勻性。其中所述銅薄膜的厚度可以為0.5～5mm。

另外，所述噴射件可以為銅噴射件，進一步地提高了噴射件的導熱性，從而實現將噴射件底部的熱量很好的傳導到噴射件的噴射部，達到提高噴射件噴射部位溫度的目的。

進一步地，所述溫度維持部件為設置在所述噴射件的內壁的金屬薄膜，其中噴射件為筒狀結構，優選地，在所述噴射件的內壁設置銅薄膜，通過利用金屬薄膜的良好的熱傳導性將將噴射件底部的熱量很好的傳導到噴射件的噴射部，提高噴射件噴射部位溫度。

下面通過幾個具體的實施例對上述噴嘴進行詳細介紹。

實施例一：

如圖2所示，本實施例的噴嘴包括噴射件1以及設置在所述噴射件外部的溫度維持部件2，所述溫度維持部件2將所述噴射件1向外輻射的熱量反射回所述噴射件1，從而提高了所述噴射件1的噴射部位的溫度。

本實施例中，噴射件采用導熱性能更好的Cu材質，為圓筒狀。如圖2所示，溫度維持部件為多個同軸、等高、直徑不同的圓筒狀，并且與噴射件同軸等高。溫度維持部件采用不銹鋼SUS材質，厚度為0.5mm。溫度維持部件的作用是將熱量傳遞給Cu噴射件，溫度維持部件設置為多個同軸、半徑不同并且互不接觸的圓筒狀設置，其作用是可以更加有效的將噴射件輻射的熱量以及透過反射件輻射出去的熱量重新反射回噴射件，從而可以更加有效的提高噴射件噴射部位(即提高Cu噴射件頂部)以及整個噴射件的溫度，頂部溫度升高后噴射材料不容易粘貼在噴射件內壁上，不會引起噴嘴堵塞。另外，Cu材質的噴射件的直徑可以是現有技術中的噴嘴的直徑的一半，最外圍的反射件的直徑與現有技術中的噴嘴的直徑相等，從而使本實施例中的噴嘴的直徑與現有技術中噴嘴的直徑相等。

本實施例中的噴嘴利用溫度維持部件2將噴射件1輻射出來的熱量重新反射回噴射件1，從而可以提高噴射件噴射部位的溫度，避免了由于噴射件噴射部位溫度冷卻快造成的噴射物冷卻粘貼在噴射件的噴射部位，造成堵塞和線性蒸發源利用率下降的問題。同時利用溫度維持部件2將噴射件1的輻射出來的熱量反射回噴射件可以提高熱量的利用率，節省由于保持或提高反射件的溫度所消耗的資源。

實施例二：

本實施例與實施例一的區別在于，本實施例的噴射件的材質為不銹鋼SUS。相比于實施例一本實施例的噴射件的導熱性不夠好，但是由于設置了多個同軸、等高、直徑不同的筒狀的溫度維持部件，同樣可以有效的將噴射件輻射的熱量以及透過內層溫度維持部件輻射出去的熱量重新反射回噴射件，從而可以有效的提高噴射件噴射部位以及整個噴射件的溫度，從而使使材料不容易粘貼在冷卻的噴射件內壁上，避免引起噴嘴堵塞。

實施例三：

在實施例二的基礎上為了提高噴射件的導熱性，本實施例在噴射件1的內壁上鍍一層銅質薄膜3，作為導熱膜，如圖3所示，其中薄膜的厚度為2mm，通過銅的良好的導熱性，可以將噴射件頂部以下的部分的熱量有效的傳導到噴射件的噴射頂部，從而可以進一步地提高噴射件頂部的溫度，從而使噴射材料不容易粘貼在噴射件內壁上引起噴嘴堵塞。

實施例四：

本實施例的噴嘴的溫度維持部件為設置在所述噴射件的內壁的金屬薄膜4，如圖4所示，并且該金屬薄膜4選用價格低導熱性能好的銅薄膜，其中銅薄膜的厚度設置為0.5～5mm之間，例如，可以為2mm，單獨在噴射件的內壁設置導熱性能好的銅薄膜，同樣可以實現將噴射件底部的熱量傳導到噴射件的噴射部位，達到提高噴射件噴射部位溫度的目的，從而使噴射材料不容易粘貼在噴射件內壁上引起噴嘴堵塞。

本實用新型的噴嘴通過設計溫度維持部件來提高噴射件噴射部位的溫度，溫度維持部件的作用是給噴射件傳遞熱量，使噴射件能夠受到溫度維持部件傳遞的熱量，來保證噴射件受到的熱量均勻。由于加熱絲加熱對噴嘴來說，各個位置受到的熱量是有差異的，因此優選地采用銅質噴射件或內壁鍍銅的噴射件來提高噴射件的導熱性，達到提高噴射件熱均勻性、提高噴射件頂部溫度的目的。另外可以使用多圈溫度維持部件的方法來實現噴射件頂部溫度的提高，避免由于噴射件受熱不均導致的噴嘴堵塞，材料浪費以及最終導致的蒸鍍膜厚不均勻的問題，本實用新型能夠有效的提高噴射件內壁的溫度，防止噴嘴堵塞，提高量產產能，保證器件性能。

需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。術語“上”、“下”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

本發明的說明書中，說明了大量具體細節。然而能夠理解的是，本發明的實施例可以在沒有這些具體細節的情況下實踐。在一些實例中，并未詳細示出公知的方法、結構和技術，以便不模糊對本說明書的理解。類似地，應當理解，為了精簡本發明公開并幫助理解各個發明方面中的一個或多個，在上面對本發明的示例性實施例的描述中，本發明的各個特征有時被一起分組到單個實施例、圖、或者對其的描述中。然而，并不應將該公開的方法解釋呈反映如下意圖：即所要求保護的本發明要求比在每個權利要求中所明確記載的特征更多的特征。更確切地說，如權利要求書所反映的那樣，發明方面在于少于前面公開的單個實施例的所有特征。因此，遵循具體實施方式的權利要求書由此明確地并入該具體實施方式，其中每個權利要求本身都作為本發明的單獨實施例。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。本發明并不局限于任何單一的方面，也不局限于任何單一的實施例，也不局限于這些方面和/或實施例的任意組合和/或置換。而且，可以單獨使用本發明的每個方面和/或實施例或者與一個或更多其他方面和/或其實施例結合使用。

最后應說明的是：以上各實施例僅用以說明本發明的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發明進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本發明各實施例技術方案的范圍，其均應涵蓋在本發明的權利要求和說明書的范圍當中。