一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的制作方法

本發明屬于真空鍍膜技術領域，特別涉及一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置。

背景技術：

等離子鍍膜作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應用于航空航天、汽車制造、機械重工和五金工具制造等領域。在等離子鍍膜過程中，需要將鍍膜設備腔室內空氣抽出維持低壓力狀態，同時需要通入工藝氣體和化學單體氣體用于反應生成聚合物涂層。由于整個等離子鍍膜過程中需要持續抽氣，且抽氣口、進氣口、加料口位置是固定的，因此化學單體氣體有向抽氣口方向擴散的趨勢，導致化學單體氣體在加料口區域和擴散方向區域的密度相對較大。這就出現了這些區域放置的被鍍膜工件表面聚合物涂層厚度較厚而其他區域涂層厚度較薄現象，造成批量生產的質量不一致。

技術實現要素：

本發明的目的是克服上述不足，提供一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置。

本發明為實現上述目的所采用的技術方案是：一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置，其特征在于：包括腔室，所述腔室頂部連接抽氣口，抽氣口連接真空泵，進氣閥通過進氣管路與腔室連接，加料閥通過加料管路與腔室連接，射頻電源通過導線與腔室內電極連接，腔室中心軸位置安裝有中空管，中空管上開有通孔，所述中空管上端連接到抽氣口，所述腔室底部安裝有旋轉電機，旋轉電機上安裝有行星回轉貨架；

所述行星回轉貨架包括旋轉軸、旋轉置物架，所述旋轉軸與旋轉電機連接，旋轉軸與中空管同軸，旋轉軸上固定設置旋轉置物架，旋轉置物架上對稱設置有至少兩根行星旋轉軸，所述行星轉轉軸上設置至少一層置物臺，所述行星旋轉軸垂直于旋轉置物架且可自轉，置物臺上放置待處理的工件。

所述行星旋轉軸為2-8根，所述置物臺為1-10層。

所述腔室的容積為50～3000L，材質為鋁合金或不銹鋼材質。

所述真空泵的功率為3-50KW，抽速600-1200m³/h。

所述旋轉電機的功率為30-3000W，射頻電源功率為50-1500W。

本發明具有的有益效果：

(1)鍍膜過程中工件不僅圍繞中心的旋轉軸公轉，而且還繞行星旋轉軸自轉，該持續雙重的旋轉，避免出現因各區域化學單體氣體密度不均勻造成固定區域的工件涂層厚度不均勻現象。同時，旋轉置物架的轉動也有利于將進入腔室內的化學單體氣體充分混合均勻。

(2)中心軸位置的中空管上的通孔，可以使進入腔室內的化學單體氣體形成沿每層置物臺徑向往通孔位置擴散的趨勢，使得從腔壁到中空管區域化學單體密度更加均勻。

附圖說明

圖1為一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的結構示意圖。

圖中：1、真空泵，2、抽氣口，3、腔室，4、進氣閥，5、加料閥，6、行星旋轉軸，7、工件，8、置物臺，9、旋轉電機，10中空管，11、旋轉置物架，12、射頻電源。

具體實施例

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步說明。

實施例1

如圖1所示，一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置，包括腔室，所述腔室3頂部連接抽氣口2，抽氣口連接真空泵1，進氣閥4通過進氣管路與腔室3連接，加料閥5通過加料管路與腔室3連接，射頻電源12通過導線與腔室3內電極連接，腔室中心軸位置安裝有中空管10，中空管上開有通孔，所述中空管上端連接到抽氣口，所述腔室底部安裝有旋轉電機9，旋轉電機上安裝有行星回轉貨架；

所述行星回轉貨架包括旋轉軸、旋轉置物架11，所述旋轉軸與旋轉電機連接，旋轉軸與中空管同軸，旋轉軸上固定設置旋轉置物架11，旋轉置物架上對稱設置有行星旋轉軸6，所述行星轉轉軸上設置置物臺8，所述行星旋轉軸垂直于旋轉置物架且可自轉，置物臺上放置待處理的工件7。

行星旋轉軸為2根，置物臺為1層。

腔室3的腔容積為50L，材質為鋁合金。

真空泵1的功率為3KW，抽速600m³/h。

旋轉電機6的功率為30W，射頻電源功率為50W。

本發明的工作過程如下：首先將待鍍膜工件7放置于鍍膜設備腔室3內的置物臺8上，真空泵1從抽氣口將腔室3內空氣抽出使腔室3內壓力降低，壓力低于1Pa，然后通過進氣閥4從進氣口向腔室內通入工藝氣體，再通過加料閥5從加料口向腔室內添加化學單體氣體，旋轉電機9帶動旋轉軸旋轉，同時行星旋轉軸6帶動置物臺自轉，由射頻電源12放電，引發化學單體氣體發生聚合并沉積在工件7表面形成聚合物涂層。

實施例2

本實施例的一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的各部分結構與連接關系均與實施例1中相同，不同的技術參數為：

行星旋轉軸為4根，置物臺為3層。

腔室3的容積為600L，材質為鋁合金。

真空泵1的功率為10KW，抽速700m³/h。

旋轉電機6的功率為400W，射頻電源功率為600W。

實施例3

本實施例中所述的一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的各部分結構與連接關系均與實施例1中相同，不同的技術參數為：

行星旋轉軸為4根，置物臺為5層。

腔室3的腔容積為1200L，材質為不銹鋼。

真空泵1的功率為20KW，抽速900m³/h。

旋轉電機6的功率為800W，射頻電源功率為900W。

實施例4

本實施例中所述的一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的各部分結構與連接關系均與實施例1中相同，不同的技術參數為：

行星旋轉軸為6根，置物臺為8層。

腔室3的腔容積為2200L，材質為不銹鋼。

真空泵1的功率為40KW，抽速1100m³/h。

旋轉電機6的功率為1800W，射頻電源功率為1200W。

實施例5

本實施例中所述的一種納米鍍膜設備行星回轉貨架裝置的各部分結構與連接關系均與實施例1中相同，不同的技術參數為：

行星旋轉軸為8根，置物臺為10層。

腔室3的腔容積為3000L，材質為不銹鋼。

真空泵1的功率為50KW，抽速1200m³/h。

旋轉電機6的功率為3000W，射頻電源功率為1500W。