用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統及脫氣方法與流程

本發明涉及一種用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統及脫氣方法，尤其涉及VD、VOD、RH、VAD、VAR干式機械泵鋼水真空脫氣系統。

背景技術：
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近幾年來，隨著市場對優質鋼需求的不斷提升，鋼液真空處理成為了鋼鐵冶煉中不可或缺的一個步驟。對鋼液進行真空處理有如下好處：

◆ 降低鋼液中的氣體成分（H，N）含量；

◆ 凈化提純鋼液；

◆ 降低碳含量。

鋼液真空處理所需的真空度根據真空處理形式的不同而各不相同，最常見的不外乎要求真空度達到67Pa的“深真空脫氣”或“深真空自動脫碳”，或是要求真空度控制在8KPa-15KPa之間的吹氧脫碳處理。

現階段廣為人知并且在鋼廠中廣泛應用的傳統的抽真空方式是使用蒸汽噴射泵進行抽真空。但是，蒸汽噴射泵的耗能巨大，維護困難，并且在很多情況下難以進行自動化控制。

隨著市場上出現了抽氣能力可達到100000m³/h的機械真空泵，機械泵抽氣技術應用在了鋼液真空脫氣處理當中。現在，在二次冶金流程中使用機械泵進行真空處理在鋼鐵行業中正漸漸成為一種潮流。相比于傳統的使用蒸汽噴射泵的技術來說，這一新技術的優勢是毫無爭議的。除了大幅度降低能源消耗之外，其優勢還包括：

◆ 靈活性——新型真空設備可以通過一鍵式的操作來進行啟動或停止；

◆ 減少對環境的影響——進行真空處理時幾乎不排放任何有害物質；

◆ 占地面積更小，節約空間；

◆ 低維護，高穩定性。

目前爐外精煉脫氣使用的干式泵系統，通常采用數十套模塊小氣量干式機械真空泵組并聯進行，每個模塊機械真空泵組依次串聯一級羅茨真空泵、二級羅茨真空泵和三級螺桿真空泵；三級螺桿真空泵為兩個并聯的結構。

但是，這種結構這種配置機械真空泵數量高達幾十臺，若一臺機械真空泵出現故障時，同一單元的其它機械真空泵也將無法運行，這就使整個干式機械泵抽真空系統的可靠性降低，使得系統備機數量增加。

進一步，采用各級真空泵組并聯，每一級泵組再串聯的方式，是目前比較先進的泵組布置形式，但這種布置形式的缺點是：設計安裝時采用3級或4級布置，生產成本比較高。

技術實現要素：
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本發明的目的在于提供一種節能降耗，泵組運行效率高的用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統及脫氣方法。

技術解決方案：

用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統，包括：真空主隔離閥、過濾器、4級串聯泵組，其特征在于，第三級泵與第四級泵通過管道連接，管道上設有蝶閥，用于將4級泵系統切換成3級泵系統，第三級泵組與第四級泵組并聯設置。

進一步：所述第一級泵組、第二級泵組、第三級采用羅茨機械真空泵，第四級泵組采用螺桿機械真空泵，第一級泵組至第四級泵組中，級與級之間采用串聯設置；每一級泵組中，泵與泵之間采用并聯設置，形成大串連、小并聯的真空泵系統。

進一步：所述真空主隔離閥安裝管路上設有旁路，旁路上安裝有旁路切斷閥，所述旁路切斷閥與真空主隔離閥并聯設置。

進一步：過濾器包括：殼體，殼體上部開有出風口，下部設有進風口，底部開有出灰口，殼體內設布袋過濾器和旋風過濾器，所述旋風過濾器置于布袋過濾器下方，所述進風口設置在旋風過濾器頂部下方，所述出風口置于布袋過濾器頂部上方；布袋過濾器頂部與出風口之間的殼體安裝有氮氣脈沖吹掃系統，所述氮氣脈沖吹掃系統的氮氣管穿入殼體內，置于殼體內的氮氣管上安裝有噴嘴。

所述旋風過濾器形狀為錐形。

所述殼體頂設有帶有安全閥的蓋體。

用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統脫氣方法，其特征在于，采用RH方法步驟如下：

（一）預真空狀態：

1）執行步驟K1，真空脫氣系統處于停止狀態；

2）執行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應，準備進入預真空狀態；

3）執行步驟K3，機械真空泵系統啟動，第四級泵開啟，第四級泵轉速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門；

4）執行步驟K4，過濾器進口切斷閥、出口切斷閥開啟；

5）執行步驟K5，系統管道到達10Kpa后，進入預真空狀態，準備真空處理；

6）執行步驟K6，真空開始程序響應，開始真空脫氣處理狀態；

7）執行步驟K7，真空處理結束后，處理停止，回到預真空狀態K5，等待下一個處理周期；

8）執行步驟K8，全部真空處理完成后，系統停止程序響應，預真空狀態停止，回到步驟K1，真空脫氣系統停止；

（二）真空脫氣處理狀態：

高真空運行模式：

1）執行步驟L1，系統處于預真空狀態；

2）執行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門，系統壓力回升；

3）執行步驟L3，當系統壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組啟動，第三級泵組轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門，旁通閥門關閉；

4）執行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥，關閉主閥旁路閥門（5）；

5）執行步驟L5，系統壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門，旁通閥門關閉；

6）執行步驟L6，系統壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門，旁通閥門關閉；

7）執行步驟L7，此時的系統狀態為，第四級泵組、第三級泵組、第二級泵組、第一級泵組均處于正常工作狀態，機械泵真空脫氣系統處于完全啟動，進入深真空狀態，鋼水開始脫氣；

8）執行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關閉，第一、二級泵組停止運轉，第三、四級泵組處于工作狀態，吹氧開始。

9）執行步驟L9，吹氧結束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執行步驟L5、6、7，繼續進行鋼水脫氣處理；

10）執行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組順序停止工作，開啟相應的旁路切斷閥；

11）執行步驟L11，第四級泵組繼續運轉，系統從真空狀態回到預真空狀態。

本發明另一種實施方式：系統中的4級泵組切換為3級泵組時，

預真空狀態采用如下步驟：

1）執行步驟M1，真空脫氣系統處于停止狀態；

2）執行步驟M2，接到預真空指令，預真空程序作出響應，準備進入預真空狀態；

3）執行步驟M3，機械真空泵系統啟動，第四級泵開啟，第四級泵（3d）轉速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門；

旁通閥門（8c）開啟，第三級泵組啟動，第三級泵組轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門；

4）執行步驟M4，過濾器進口切斷閥、出口切斷閥開啟；

5）執行步驟M5，系統管道到達10Kpa后，進入預真空狀態，旁通閥門關閉，準備真空處理，真空處理方法與4級泵組相同。

本發明第三種實施方式：當采用VD時高真空運行模式：采用如下步驟

1）執行步驟L1，系統處于預真空狀態；

2）執行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門，系統壓力回升；

3）執行步驟L3，當系統壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組啟動，第三級泵組轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門，旁通閥門關閉；

4）執行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥，關閉主閥旁路閥門；

5）執行步驟L5，系統壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門，旁通閥門關閉；

6）執行步驟L6，系統壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門，旁通閥門關閉；

7）執行步驟L7，此時的系統狀態為，第四級泵組、第三級泵組、第二級泵組、第一級泵組均處于正常工作狀態，機械泵真空脫氣系統處于完全啟動，進入深真空狀態，鋼水開始脫氣；

8）執行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組順序停止工作，開啟相應的旁路切斷閥；

9）執行步驟L11，第四級泵組繼續運轉，系統從真空狀態回到預真空狀態。

本發明第四種實施方式：當采用VOD時高真空運行模式與RH相同，過濾器采用一個常溫過濾器，一個高溫過濾器即可。

本發明優點：

本發明是在這種大串聯、小并聯結構的基礎上，進一步優化泵組結構的布置形式，并發明了與之配套的旋風+布袋除塵過濾器，這樣大大提高了泵組的運行效率。

具體特點如下；

1. 正確配置的干式機械泵真空脫氣系統，在這種大串聯、小并聯結構的基礎上如圖1所示為本發明干式機械泵真空脫氣系統結構示意圖，所述系統包括液壓驅動的真空主隔離閥、一套高效的過濾系統、一套4級壓縮工藝的真空泵組。

2.干式機械真空泵組的每一級泵組的各個真空泵并聯，而第一級羅茨機械真空泵組、第二級羅茨機械真空泵組、第三級羅茨機械真空泵（組）及第四級螺桿機械真空泵組依次串聯。即大串連、小并聯的真空泵組的布置形式。

3. 第三級的真空泵組為帶預注氣體冷卻的羅茨真空泵，可以按照煉鋼工藝的需求，通過閥門切換，隨時將真空泵系統在3級及4級之間切換。在開始抽氣時可直連大氣，切換成3級泵系統，抽到一定壓力后，再切換至4級泵系統，均勻各級泵組的壓縮比，這樣可以縮短預真空時間，提高真空泵系統的運行效率，保證煉鋼生產的工作節奏；同時，減少了4級泵的配置數量，大大節約了投資成本。

4. 本系統還可以根據不同的工藝要求（如RH爐、VD爐、VOD爐等）、以及冶煉不同的鋼種，選擇不同的工作模式，本系統可以實現三種模式：第一種模式，啟用第一、二、三、四級泵構成4級泵系統；第二種模式，啟用第一、二、三級泵；構成3級泵系統；第三種模式，啟用第一、二、四級泵，構成3級泵系統。這種根據生產實際情況，選擇不同的工作模式，可以大大節約生產運行成本，起到節能、降耗的作用。

5. 真空泵組每級并聯，每個泵獨立工作，設計時考慮一定量的冗余，即使一級泵中個別泵出現問題，其它泵仍可正常運行，保證生產的需要。

6. 在各級與各級泵組之間的真空管道上，設置真空氣體冷卻器，使進入下一級的氣體溫度降低，可以降低各級泵組的溫度。

7. 這種泵組布置形式可以保證系統每一級的溫度和真空度的平衡。即使在單一泵發生故障的情況下，并不影響其它泵的正常工作。這種形式真空泵的配置數量降低，設備投資低，系統運行可靠性顯著增加，系統故障率顯著降低。

8. 真空泵組布局靈活，還可以選擇平面式或高架式布局，以適應使用現場場地緊張的情況。

9. 本發明的真空泵組使用4級泵系統，可以優化每級泵之間的壓縮比，從而提高系統的效率并降低發熱量。

10. 本發明的真空泵組根據鋼水精煉具體工藝要求，配置泵組的種類及每一級泵的大小和數量。正確的配置可以顯著降低系統的經濟投入成本、運行能耗成本及系統維護成本，提高泵的使用壽命。

11. 真空主隔離閥安裝在真空槽和過濾器之間。它是一個帶有自動密封清掃系統的液壓驅動杯閥。特殊設計的杯閥可以更好的保持真空泵系統的密閉性。

12. 真空主隔離閥可以實現過濾器，連接管道以及泵組在脫氣工藝開始前的預抽。而過濾器和真空泵組的預真空是真空處理的必要過程，不但會節省時間，還能防止因高溫金屬粉塵在過濾器中的反應對布袋的損毀。

13. 為實現本發明的目的，本發明還提供了一種組合式過濾器，即旋風+布袋過濾器，這是一種結合了旋風分離設備以及反向脈沖噴射袋式過濾設備的新型過濾器。組合式過濾器安裝在真空主閥和泵組之間，具有高除塵率（除塵率達到99.8%），并能瞬時耐高溫(900℃，時間不超過1分鐘。這種過濾器可以允許壓差20Pa氣體通過。

14. 過濾器中安裝有能夠有效除塵的脈沖反吹清掃系統。當過濾器的通過率低于一定界限時，脈沖反吹系統在真空狀態下亦會對布袋進行吹掃。

15. 過濾器上安裝有溫度監控設備和激光粉塵監控設備以確保過濾器的功能。在布袋受到被破壞威脅時，激光粉塵監控設備立刻預警，以避免大顆粒的粉塵接近并破換真空泵。通過過濾器的氣體粉塵含量可以控制在小于5 mg/m³，激光粉塵探測器在粉塵含量超過 10 mg/m³時報警。

本發明所述的干式機械真空泵脫氣系統與蒸汽泵的對比：

（1）干式機械泵的原理是體積的轉移，因此:

v其抽氣能力在所有真空度下恒定

v其抽氣能力在所有溫度下恒定

v其抽氣能力在所有濕度下恒定

蒸汽泵的原理是質量的轉移，因此:

v不同溫度下抽氣能力不恒定

v抽氣能力受濕度影響

v抽氣能力受粉塵分離器影響。

（2）干式機械真空泵系統使用電力運行，因此:

v無需提前蓄能

v可依需要產生“一鍵式”的真空

v無需能源輸送

蒸汽噴射泵使用高溫高壓的蒸汽運行，因此:

v需要鍋爐進行蒸汽生產和貯存

v無法依據需要產生真空，需持續預熱

v需要為鍋爐運輸燃料和氣體，并通過蒸汽管道為泵運輸蒸汽。

（3）干式機械泵系統不接觸水，因此:

v無泵污染，維護少

v粉塵干燥易處理

v粉塵處理利于環境管理

蒸汽泵會將水和粉塵混合起來，因此:

v因為水和粉塵的結合因此需要大量的維護

v從水和粉塵的混合物中很難分離出粉塵

v不利于環境管理。

（4）環保方面：

干式機械泵

v無空轉損耗（按需產生真空）

v使用壽命長

v顯著節能

v維護量少

v比蒸汽泵噸鋼成本降低90%。

附圖說明

圖1為本發明真空脫氣系統的結構示意圖；

圖2為本發明過濾器結構示意圖；

圖3為圖2 剖視圖；

圖4為本發明4級泵組預真空狀態工藝流程圖；

圖5為本發明4級泵組切換成3級泵組預真空狀態工藝流程圖；

圖6為本發明真空處理狀態工藝流程圖；

圖7為100噸RH真空脫氣系統結構示意圖；

圖8為100噸VD真空脫氣系統結構示意圖；

圖9為100噸VOD真空脫氣系統結構示意圖。

具體實施方式

本發明用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統，包括，真空主隔離閥、過濾器，所述真空主隔離閥安裝管路上設有旁路，旁路上安裝有旁路切斷閥，所述旁路切斷閥與真空主隔離閥并聯設置；真空主隔離閥通過管路與過濾器連接，過濾器通過管路與泵組連接，泵組包括：第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組、第四級泵組，所述第三級泵組與第四級泵組通過管道連接，管道上設有蝶閥，將4級泵組系統切換成3級泵組系統，第三級泵組與第四級泵組并聯設置。

所述第一級泵組、第二級泵組、第三級采用羅茨機械真空泵，第四級泵組采用螺桿機械真空泵，第一級泵組至第四級泵組中，級與級之間采用串聯設置；每一級泵組中，泵與泵之間采用并聯設置，形成大串連、小并聯的真空泵系統。

所述過濾器包括：殼體，殼體頂部有帶有安全閥的蓋體，殼體上部開有出風口，下部設有進風口，底部開有出灰口，殼體內設布袋過濾器和錐形旋風過濾器，所述旋風過濾器置于布袋過濾器下方，所述進風口設置在旋風過濾器頂部下方，所述出風口置于布袋過濾器頂部上方；布袋過濾器頂部與出風口之間的殼體安裝有氮氣脈沖吹掃系統，所述氮氣脈沖吹掃系統的氮氣管穿入殼體內，置于殼體內的氮氣管上安裝有噴嘴。

實施例1

見圖7，以100噸RH干式機械泵真空脫氣系統為例：

當采用100噸RH方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用7個羅茨泵、第二級泵采用7個羅茨泵、第三級泵采用5個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用5個螺桿泵；由于在RH真空脫氣裝置中加入頂槍吹氧,因此，真空處理狀態有高真空運行模式和吹氧模式兩種，同時，過濾器只采用兩個或三個常溫過濾器和一個在吹氧狀態下使用的高溫過濾器。具體方法步驟如下：

（一）預真空狀態：

1）執行步驟K1，真空脫氣系統處于停止狀態；

2)執行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應，準備進入預真空狀態；

3)執行步驟K3，機械真空泵系統啟動，第四級泵（3d）開啟，第四級泵（3d）轉速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門（4d）；

4)執行步驟K4，過濾器進口切斷閥（6）、出口切斷閥（7）開啟；

5)執行步驟K5，系統管道到達10Kpa后，進入預真空狀態，準備真空處理；

6)執行步驟K6，真空開始程序響應，開始真空脫氣處理狀態；

7)執行步驟K7，真空處理結束后，處理停止，回到預真空狀態K5，等待下一個處理周期；

8)執行步驟K8，全部真空處理完成后，系統停止程序響應，預真空狀態停止，回到步驟K1，真空脫氣系統停止；

（二）真空脫氣處理狀態：

高真空運行模式：

1)執行步驟L1，系統處于預真空狀態；

2)執行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統壓力回升；

3)執行步驟L3，當系統壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關閉；

4)執行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa—8Kpa時，開啟主閥（1），關閉主閥旁路閥門（5）；

5)執行步驟L5，系統壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關閉；

6)執行步驟L6，系統壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關閉；

7)執行步驟L7，此時的系統狀態為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態，機械泵真空脫氣系統處于完全啟動，進入深真空狀態，鋼水開始脫氣；

8)執行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關閉，第一、二級泵組停止運轉，第三、四級泵組處于工作狀態，吹氧開始。

9)執行步驟L9，吹氧結束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執行步驟L5、6、7，繼續進行鋼水脫氣處理；

10)執行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

11)執行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續運轉，系統從真空狀態回到預真空狀態。

實施例2

見圖8，以100噸VD干式機械泵真空脫氣系統為例：

當采用100噸VD方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用5個羅茨泵、第二級泵采用5個羅茨泵、第三級泵采用3個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用3個螺桿泵；由于該方法沒有吹氧階段，過濾器只采用一個常溫過濾器，高真空運行模式與RH方法相同，沒有吹氧模式。具體方法步驟如下：

1）執行步驟L1，系統處于預真空狀態；

2）執行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統壓力回升；

3）執行步驟L3，當系統壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關閉；

4）執行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥（1），關閉主閥旁路閥門（5）；

5）執行步驟L5，系統壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關閉；

6）執行步驟L6，系統壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關閉；

7）執行步驟L7，此時的系統狀態為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態，機械泵真空脫氣系統處于完全啟動，進入深真空狀態，鋼水開始脫氣；

8）執行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

9）執行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續運轉，系統從真空狀態回到預真空狀態。

實施例3

以100噸VOD干式機械泵真空脫氣系統為例：見圖9

當采用100噸VOD方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用5個羅茨泵、第二級泵采用5個羅茨泵、第三級泵采用3個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用3個螺桿泵；高真空運行模式與RH相同，過濾器采用一個常溫過濾器，一個高溫過濾器即可。

（一）預真空狀態：

1)執行步驟K1，真空脫氣系統處于停止狀態；

2)執行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應，準備進入預真空狀態；

3)執行步驟K3，機械真空泵系統啟動，第四級泵（3d）開啟，第四級泵（3d）轉速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門（4d）；

4)執行步驟K4，過濾器進口切斷閥（6）、出口切斷閥（7）開啟；

5)執行步驟K5，系統管道到達10Kpa后，進入預真空狀態，準備真空處理；

6)執行步驟K6，真空開始程序響應，開始真空脫氣處理狀態；

7)執行步驟K7，真空處理結束后，處理停止，回到預真空狀態K5，等待下一個處理周期；

8)行步驟K8，全部真空處理完成后，系統停止程序響應，預真空狀態停止，回到步驟K1，真空脫氣系統停止；

（二）真空脫氣處理狀態：

高真空運行模式：

1)執行步驟L1，系統處于預真空狀態；

2)執行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統壓力回升；

3)執行步驟L3，當系統壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關閉；

4)執行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥（1），關閉主閥旁路閥門（5）；

5)執行步驟L5，系統壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關閉；

6)執行步驟L6，系統壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關閉；

7)執行步驟L7，此時的系統狀態為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態，機械泵真空脫氣系統處于完全啟動，進入深真空狀態，鋼水開始脫氣；

8)執行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關閉，第一、二級泵組停止運轉，第三、四級泵組處于工作狀態，吹氧開始。

9)執行步驟L9，吹氧結束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執行步驟L5、6、7，繼續進行鋼水脫氣處理；

10）執行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

11）執行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續運轉，系統從真空狀態回到預真空狀態。