一種背板夾取裝置、對位裝置及蒸鍍設備的制造方法

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種背板夾取裝置、對位裝置及蒸鍍設備。

背景技術：
目前，在OLED(有機電致發光)顯示領域，由于OLED自發光的特性，可視度和亮度均高、電壓需求低且省電效率高，反應快、重量輕、厚度薄，構造簡單，成本低等優點，被視為21世紀最具前途的產品之一，作為OLED顯示的一種方式，AMOLED(有源矩陣有機發光二極體)顯示通過真空蒸鍍將OLED材料按照流程蒸鍍到鍍有ITO(銦錫氧化物)的LTPS(低溫多晶硅)背板上，利用FMM(精細金屬)上的圖形，形成用于產生R(紅)、G(綠)和B(藍)三原色的器件，現已初步成熟，實現了量產。在真空蒸鍍過程中，需要先進行FMM與LTPS背板的對位，在蒸鍍設備對位系統中，背板夾取裝置用于進行LTPS背板的夾取，現有夾取裝置是采用許多類似手指的背板夾取裝置對背板進行夾取，彼此相對獨立的背板夾取裝置之間有一定距離，采用螺栓固定，長時間使用出現固定不牢使背板夾取裝置松動，導致其與背板對應的接觸面的壓強增大，在安裝過程中，螺釘安裝的松緊程度不同，背板夾取裝置出現偏移，導致局部壓強過大，在夾取過程中對背板造成損傷，同時由于LTPS背板只有0.5mm厚，壓強增大后容易產生碎片，而真空設備碎片很難處理，處理碎片時間較長(10h左右)，大大的降低了產能。

技術實現要素：
本發明一種背板夾取裝置、對位裝置及蒸鍍設備，該背板夾取裝置可以使背板在夾取的過程中均勻受力，防止由于受力不均產生局部壓強過大而導致碎片，具有背板夾取裝置的對位系統的蒸鍍設備能夠提高產能。為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：一種背板夾取裝置，包括機架、上夾板和下夾板組件，所述上夾板安裝于所述機架，所述下夾板組件包括支架、多個支撐板和與所述支撐板一一對應的彈性支撐結構，其中：每一個所述彈性支撐結構位于其對應的支撐板與所述支架之間、且與所述支撐板以及支架連接；每一個所述支撐板背離所述彈性支撐結構一側的表面形成用于支撐背板的支撐面，每一個所述支撐板沿可垂直于所述支撐面方向移動地安裝于所述支架；所述支架沿可垂直于所述支撐面方向移動地安裝于所述機架。在上述背板夾取裝置中，工作時，背板放置支撐面上，沿著機架向上移動下夾板組件，當背板與上夾板接觸后，繼續移動支架，支撐板將相對于支架向下沿著垂直于背板的方向運動，位于支架與支撐板之間的彈性支撐結構受力壓縮，直至支架到達預定位置后結束運動過程，此時，彈性支撐結構壓縮所產生的壓力不足以使背板擠壓受損，整個背板的四周均與支撐板相接觸，以保證受力均勻且彈性支撐結構的彈力卸去了由于受力不均而產生的過大壓力，在實現背板夾取的同時保證了背板不受損；分離時，整體向下移動下夾板組件至背板與上夾板分離后停止，操作過程簡單。因此，上述背板夾取裝置可以使背板在夾取的過程中均勻受力，防止由于受力不均產生局部壓強過大而導致碎片。優選地，每一個所述支撐板的邊緣部設有開槽，各所述支撐板設有的開槽的槽底配合形成所述支撐面。優選地，所述支撐板背離所述支撐面的表面上設有延伸方向垂直于所述支撐面的導向柱，所述支架上設有與所述導向柱導向配合以限定所述支撐板移動方向的導向機構。優選地，所述導向機構包括設置于所述支架上的通孔、和設置于所述支架的導向套，所述導向柱貫穿所述通孔、且所述導向套套設于所述導向柱外側。優選地，所述導向柱穿過所述導向機構的一端形成有回縮限位機構。優選地，所述導向柱與所述支撐板可拆卸地連接，和/或，所述導向柱與所述回縮限位機構可拆卸地連接。優選地，所述彈性支撐結構為彈簧。優選地，所述彈簧套設于所述導向柱外側。優選地，所述支架設有用于限定所述彈簧的凹槽。本發明還提供了一種對位裝置，包括上述技術方案中提供的任意一種背板夾取裝置。另外，本發明還提供了一種蒸鍍裝置，包括上述技術方案中提供的對位裝置。附圖說明圖1為本發明提供的一種背板夾取裝置在未夾緊背板時的剖面圖；圖2為本發明提供的一種背板夾取裝置在夾緊背板時的剖面圖；圖3為本發明提供的一種背板夾取裝置的下夾板組件在工作狀態時的結構示意圖；圖4為本發明提供的一種背板夾取裝置的下夾板組件在自由狀態時的結構示意圖；圖5為圖4所示本發明提供的一種背板夾取裝置的下夾板組件在自由狀態時的結構示意圖的左視圖。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。如圖1、圖2、圖3和圖5所示，一種背板夾取裝置，包括機架、上夾板1和下夾板組件2，上夾板1安裝于機架，下夾板組件2包括支架21、多個支撐板22和與支撐板22一一對應的彈性支撐結構24，其中：每一個彈性支撐結構24位于其對應的支撐板22與支架21之間、且與支撐板22以及支架21連接；每一個支撐板22背離彈性支撐結構24一側的表面形成用于支撐背板3的支撐面，每一個支撐板22沿可垂直于支撐面方向移動地安裝于支架21；支架21沿可垂直于支撐面方向移動地安裝于機架。在上述背板夾取裝置中，工作時，背板3放置支撐面上，沿著機架向上移動下夾板組件2，當背板3與上夾板1接觸后，繼續移動支架21，支撐板22將相對于支架21向下沿著垂直于背板3的方向運動，位于支架21與支撐板22之間的彈性支撐結構24受力壓縮，直至支架21到達預定位置后結束運動過程，此時，彈性支撐結構24壓縮所產生的彈力不足以使背板3擠壓受損，整個背板3的四周均與支撐板22相接觸，以保證受力均勻且彈性支撐結構24的彈力卸去了由于受力不均而產生的過大壓力，實現背板3夾取的同時保證了背板3不受損；分離時，整體向下移動下夾板組件2至背板3與上夾板1分離后停止，操作過程簡單。因此，上述背板夾取裝置可以使背板3在夾取的過程中均勻受力，防止由于受力不均產生局部壓強過大而導致碎片。在背板夾取裝置工作過程中，為了減少上夾板1與支撐板22對背板3的損傷，如圖1和圖3所示，一種優選實施方式中，每一個支撐板22的邊緣部設有開槽，各支撐板22設有的開槽的槽底配合形成支撐面。背板3玻璃放置在各支撐板22的開槽的槽底所形成的支撐面上，根據上夾板1的具體形狀、背板3玻璃的整體尺寸綜合考慮支撐板22上開槽的寬度和深度，同時，開槽的深度應當大于或等于背板3的厚度，且當上夾板1與下夾板相接觸時背板3能夠同時與上夾板1與支撐板22相接觸，在此開槽狀態下，支撐板22與上夾板1與支撐板22相接觸，但上夾板1與支撐板22施加在背板3上的作用力不會對背板3造成損傷。在背板夾取裝置工作過程中，為了保證下夾板組件2能夠沿著垂直于支撐面的方向移動，如圖1、圖2、圖3和圖4所示，一種優選實施方式中，支撐板22背離支撐面的表面上設有延伸方向垂直于支撐面的導向柱23，支架21上設有與導向柱23導向配合以限定支撐板22移動方向的導向機構26。在背板夾取裝置的工作過程中，當背板3與上夾板1接觸后，繼續移動支架21，由于支架21沿垂直于支撐面方向移動地安裝于機架，支撐板22上延伸方向垂直于支撐面的導向柱23與支架21上的導向機構26相配合，故支撐板22將相對于支架21向下沿著垂直于背板3的方向運動，直至支架21到達預定位置后結束運動過程，因此，整個背板夾取裝置工作過程下夾板組件2均能夠沿著垂直于支撐面的方向移動，在上夾板1與支撐板22相接觸時保證上夾板1與支撐板22之間的接觸力以及背板3受到上夾板1與支撐板22所施加的接觸力的方向均垂直支撐面，不會出現下夾板組件2在移動的過程中出現傾斜的情況，從而不會對背板夾取裝置以及位于背板夾取裝置中的背板3造成損傷。具體地，如圖1、圖2和圖4所示，導向機構26包括設置于支架21上的通孔262、和設置于支架21的導向套261，導向柱23貫穿通孔262、且導向套261套設于導向柱23外側。設置在支架21上的通孔262和導向套261組成導向機構26，在支撐板22將相對于支架21向下沿著垂直于背板3的方向運動時，導向機構26對位于其中的導向柱23起導向作用，保證導向柱23沿著垂直于支撐面的方向移動，進而保證支撐板22及位于支撐板22上的背板3能夠沿著垂直于支撐面的方向移動。在進行通孔262及導向套261尺寸的設計時，需要保證導向柱23能夠在其中順暢移動。在上述背板夾取裝置的基礎上，為了避免上夾板1與支撐板22分離時，支撐板22與支架21之間出現分離，如圖1、圖2和圖4所示，一種優選實施方式中，導向柱23穿過導向機構26的一端形成有回縮限位機構25。在上夾板1與支撐板22分離時，整體向下移動下夾板組件2，位于支撐板22與支架21之間的彈簧由于彈力張開，位于導向柱23一端的回縮限位機構25限制向下移動的距離，保證支架21與背板3不會發生分離。在實現上述背板夾取裝置功能的基礎上，為了便于支架21與支撐板22之間的裝拆，一種優選實施方式中，導向柱23與支撐板22可拆卸地連接，和/或，導向柱23與回縮限位機構25可拆卸地連接。由于支撐板22上的導向柱23位于支架21上的導向機構26中，且導向柱23穿過導向機構26的一端形成有用于限制導向柱23在導向機構26中回縮行程的回縮限位機構25，故導向柱23與支撐板22、導向柱23與回縮限位機構25中至少有一為可拆卸連接，其中，導向柱23與支撐板22以及回縮限位機構25之間的連接關系有多種方式：方式一，導向柱23與回縮限位機構25固定連接，導向柱23與支撐板22可拆卸連接，在進行背板夾取裝置的組裝過程中，先將導向柱23插入支架21的導向機構26中，然后連接導向柱23與支撐板22；方式二，導向柱23與支撐板22固定連接，導向柱23與回縮限位機構25可拆卸連接，在進行背板夾取裝置的組裝過程中，先將導向柱23插入到支架21的導向機構26中，然后將回縮限位機構25連接到導向柱23上；方式三，導向柱23與支撐板22可拆卸連接、且導向柱23與回縮限位機構25可拆卸連接，在進行背板夾取裝置的組裝過程中，可以先連接導向柱23與回縮限位機構25連接，接著將導向柱23插入支架21的導向機構26中，最后連接導向柱23與支撐板22，也可以先連接導向柱23與支撐板22，接著導向柱23插入到支架21的導向機構26中，最后將回縮限位機構25連接到導向柱23上。一種優選實施方式中，彈性支撐結構24可以為彈簧，可以為彈片，還可以為其他能夠提供彈性支撐的彈性元件，在進行彈性支撐結構24選擇時，需要綜合考慮背板3的大小、重量，背板夾取裝置的大小，以及背板夾取裝置的行程時間等因素，選擇合適的彈性支撐結構24。具體地，如圖1、圖2、圖3、圖4和圖5所示，彈簧套設于導向柱23外側。彈簧位于支架21與支撐板22之間，且套設與支撐板22上的導向柱23的外側，在背板夾取裝置的工作過程中，彈簧在支撐板22相對于支架21向下沿著垂直于背板3的方向運動時將沿著導向柱23的軸線方向受力壓縮，壓縮過程直至支架21到達預定位置；在進行彈簧的選擇時，需要保證在壓縮過程結束時，彈簧所產生的彈力不足以使背板3擠壓受損，且彈力卸去了由于受力不均而產生的過大壓力。具體地，如圖3和圖4所示，支架21設有用于限定彈簧的凹槽。凹槽的作用是限定彈簧的位置，使得彈簧受壓時能夠沿著導向柱23的軸線方向受力壓縮，而不發生偏斜。本發明還提供了一種對位裝置，包括如上述技術方案中提供的任意一種背板夾取裝置，由于背板夾取裝置可以使背板3在夾取的過程中均勻受力，防止由于受力不均產生局部壓強過大而導致碎片，所以具有上述技術方案中提供的任一種背板夾取裝置的對位裝置能夠減少背板3破損，提高產能。另外，本發明還提供了一種蒸鍍裝置，包括上述技術方案中提供的對位裝置。由于對位裝置能夠減少背板3破損，提高產能，具有上述技術方案中提供的對位裝置的蒸鍍裝置能夠提高產能。顯然，本領域的技術人員可以對本發明實施例進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。