技術總結
本發明提供了一種鉭鋁靶的生產工藝，包括以下步驟：A)將鉭靶和鋁背板疊加放置后放置于包套中；B)將步驟A)得到的包套抽真空，然后將包套中的鉭靶和鋁背板進行焊接；C)將得到的包套進行熱處理，去除包套，得到鉭鋁靶。在生產鉭鋁靶的過程中，本申請將鉭鋁靶在密閉的包套空間內依次進行焊接和熱處理，在包套的真空保護下能有效防止鉭鋁靶在固溶時效處理過程中鉭靶表面的氧化，且不影響鋁背板硬度的提高。
技術研發人員：姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學澤;廖培君
受保護的技術使用者：寧波江豐電子材料股份有限公司
文檔號碼：201510569380
技術研發日：2015.09.09
技術公布日：2017.03.22