1.一種靶材熱處理方法，其特征在于，包括：
提供靶材，所述靶材待達到預定工藝溫度；
提供砂子，預熱所述砂子到初始溫度，所述初始溫度比所述預定工藝溫度至少低100攝氏度；
將所述靶材埋入具有初始溫度的砂子中；
升溫埋有靶材的所述砂子到預定工藝溫度，對所述靶材進行熱處理。
2.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述靶材為銅靶材或鈦靶材。
3.根據權利要求2所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述銅靶材的純度范圍為4N5～6N；所述鈦靶材的純度范圍為4N5～6N。
4.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，當所述靶材為銅靶材時，所述預定工藝溫度為250攝氏度～350攝氏度。
5.根據權利要求4所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述初始溫度為100攝氏度～250攝氏度。
6.根據權利要求5所述的靶材熱處理方法，其特征在于，對所述銅靶材進行熱處理后，所述銅靶材的晶粒大小為15um～30um。
7.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，當所述靶材為鈦靶材時，所述預定工藝溫度為350攝氏度～500攝氏度。
8.根據權利要求7所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述初始溫度為200攝氏度～400攝氏度。
9.根根據權利要求8所述的靶材熱處理方法，其特征在于，對所述鈦靶材進行熱處理后，所述鈦靶材的晶粒大小為8um～20um。
10.根據權利要求1所述靶材熱處理方法，其特征在于，當所述靶材為銅靶材時，在將所述靶材從初始溫度升溫至預定工藝溫度的過程中，所述砂子的升溫速率為3攝氏度/分鐘～10攝氏度/分鐘；當所述靶材為鈦靶材時，在將所述靶材從初始溫度升溫至預定工藝溫度的過程中，所述砂子的升溫速率 為5攝氏度/分鐘～12攝氏度/分鐘。
11.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述熱處理的工藝步驟為：升溫所述靶材至預定工藝溫度；在預定工藝溫度下對所述靶材進行第二保溫。
12.根據權利要求11所述的靶材熱處理方法，其特征在于，當所述靶材為銅靶材時，所述第二保溫的時間為1小時～3小時；當所述靶材為鈦靶材時，所述第二保溫的時間為1小時～3小時。
13.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述砂子的材料為碳化硅、氧化硅或石英砂。
14.根據權利要求13所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述砂子的規格為45號、60號、70號、80號或90號。
15.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，當所述靶材為銅靶材時，所述靶材的體積與所述砂子的體積比為4:5～4:7；當所述靶材為鈦靶材時，所述靶材的體積與所述砂子的體積比為4:5～4:9。
16.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述靶材的數量為兩個以上。
17.根據權利要求16所述的靶材熱處理方法，其特征在于，各個靶材水平放置于砂子中，各個靶材分立且層疊放置于砂子中，相鄰靶材之間的垂直間距大于等于2mm。
18.根據權利要求16所述的靶材熱處理方法，其特征在于，各個靶材水平放置于砂子中，各個靶材分立且處于同一個水平面，相鄰靶材之間的距離大于等于5mm。
19.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述砂子放置于砂浴盆中，所述砂浴盆為圓柱形。