1.一種鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,包括:
提供鎢、鈦混合粉末和不銹鋼;
對所述鎢、鈦混合粉末和所述不銹鋼進行冷等靜壓工藝,形成鎢、鈦混合粉末和不銹鋼初始坯料;
將所述鎢、鈦混合粉末和不銹鋼初始坯料裝入真空包套并對所述真空包套抽真空后,對所述鎢、鈦混合粉末和不銹鋼初始坯料進行熱等靜壓工藝,形成鎢鈦合金;
去除所述真空包套,獲得以所述鎢鈦合金為靶材、以所述不銹鋼為背管的鎢鈦管靶。
2.如權利要求1所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述冷等靜壓工藝的工藝溫度為25℃至200℃,環境壓強為150MPa至160MPa,在所述工藝溫度和環境壓強下的工藝時間為10分鐘至30分鐘。
3.如權利要求1所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述熱等靜壓工藝包括加熱工藝和熱等靜壓燒結工藝。
4.如權利要求3所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述加熱工藝的工藝溫度為250℃至500℃,在該溫度下保溫3小時至4小時。
5.如權利要求3所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述熱等靜壓燒結工藝的工藝溫度為1050℃至1200℃,環境壓強為150MPa至180MPa,在所述工藝溫度和環境壓強下的工藝時間為3小時至6小時。
6.如權利要求3所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,對所述真空包套抽真空的過程中,所述真空包套的真空度至少為2E-3Pa,且在所述熱等靜壓工藝過程中使所述真空包套保持封死狀態。
7.如權利要求1所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,將所述冷等靜壓后的鎢、鈦混合粉末和不銹鋼初始坯料裝入真空包套后,對所述真空包套抽真空之前,所述制造方法還包括:采用氬弧焊接的方式封死所述真空包套;在所述真空包套引出一脫氣管;
所述抽真空步驟通過所述脫氣管對真空包套進行抽真空。
8.如權利要求1所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,去除所述真空包套前,還包括:對所述真空包套進行去壓冷卻。
9.如權利要求1所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,提供鎢、鈦混合粉末的步驟包括:提供鎢粉和鈦粉;采用混粉機對鎢、鈦粉末進行機械混合。
10.如權利要求9所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述鎢粉和鈦粉的質量比為8.95:1至9.05:1。
11.如權利要求9所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,提供鎢、鈦混合粉末的步驟還包括:在用混粉機進行機械混合前,向混粉機內充入惰性氣體使混粉機內達到正壓。
12.如權利要求9所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,將鎢粉和鈦粉用混粉機進行機械混合的過程中,向混粉機中加入介質球,所述介質球為鈦球或鎢球。
13.如權利要求12所述的鎢鈦管靶的制造方法,其特征在于,所述介質球和所述鎢、鈦混合粉末的質量比為2.5:1至3.5:1。