具有非對稱褶皺的鋸線的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型的一個或多個實施例涉及具有非對稱褶皺的鋸線，并且更具體地，涉及具有非對稱褶皺的鋸線，該鋸線增強切割材料的供給能力，通過增強切割材料的保持力來提高切割速度，通過順暢地排出切肩來防止待切割的材料表面的品質下降，并且降低缺陷率并由此提高諸如晶片之類的最終產品的生產率。
【背景技術】
[0002]通常，在鋸機中使用的鋸線在該鋸線連同切割材料移動并以合適的壓力接觸待切割的材料來對待切割的材料進行切割，在切割材料中，諸如碳化硅粉末、金剛石粉末等的研磨顆粒與油等混合。
[0003]使用鋸線切割諸如硅塊之類的硬質材料的方法如下:鋸線沿著多個輥中的多個槽卷繞，并且成排的鋸線被驅動以將特定的力施加到硅塊或待切割的材料。在該階段，在成排的鋸線和待切割的材料之間供應研磨顆粒以由于研磨顆粒的切割效應而將硅塊切割成晶片。切割過程的效率和晶片的厚度品質取決于若干因素，諸如經受切割的硬質材料的特性和鋸線的速度。這些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在鋸線中。
[0004]用于切割硅塊的每排鋸線被常規地卷繞在輥上1000至3000次。該線沿著輥上制備的槽移動以切割硬質材料，并且當硬質材料被切割時，切割材料不僅研磨硬質材料并且研磨鋸線，而且減小鋸線的厚度，這是成問題的。在切割開始時，大量切割材料可能伴隨有存在于鋸線表面上的軟質材料鍍層；然而，由于鍍層在硬質材料被切割時被移除，基層被露出并且包括切割材料的能力減弱。
[0005]因此，有必要提高在鋸線使用時包括切割材料的能力。在國際專利申請W090/12670中，提供一種鋸線，該鋸線良好地伴隨切割材料。該特點通過改變鋸線的外表面被實現。根據該專利申請的實施例，許多微腔位于鋸線的表面上。而且，根據該專利申請的另一實施例，鋸線沿圓周方向具有多個槽。這些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改變鋸線的外表面通常是昂貴的和耗時的。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的一個或多個實施例包括通過提供具有非對稱褶皺的鋸線解決上述問題，該鋸線提高切割材料的供給能力，通過增強切割材料的保持力來提高切割速度，通過順暢地排出切肩來防止待切割的材料的切割表面的品質下降，并且降低缺陷率并由此提高諸如晶片之類的最終產品的生產率。
[0007]根據本實用新型的一個或多個實施例，具有非對稱褶皺的鋸線包括其上形成有連續褶皺的鋸線，其中以鋸齒形形狀連續形成的非對稱單元褶皺包括第一部分和第二部分，所述第二部分從所述第一部分彎曲并延伸且具有比所述第一部分的長度長的長度，同時所述第一部分與所述第二部分的長度比是1:1.2至1:4。
[0008]根據本實用新型的一個或多個實施例，可取的是，所述第一部分的斜度大于所述第二部分的斜度。
[0009]根據本實用新型的一個或多個實施例，可取的是，所述單元褶皺被形成為當所述單元褶皺沿所述鋸線的縱向方向移動時沿一個方向旋轉。
[0010]另外的方面將部分在以下說明書中陳述，部分將由說明書變明顯，或者可通過實踐所提出的實施例而被得知。
[0011]根據本實用新型的一個或多個上述實施例，具有非對稱褶皺的鋸線可提高切割材料的供給能力，通過增強切割材料的保持力來提高切割速度，通過順暢地排出切肩來防止待切割的材料的切割表面的品質下降，并且降低缺陷率并由此提高諸如晶片之類的最終產品的生產率。
【附圖說明】
[0012]由于結合附圖對實施例進行的以下描述，這些和/或其它方面將變得明顯且更易于理解，在附圖中:
[0013]圖1是根據本實用新型的實施例的具有非對稱褶皺的鋸線的側視圖；
[0014]圖2是從圖1中選擇的主要部分的放大視圖；
[0015]圖3是例示當圖1中的鋸線被使用時包括切割材料的圖；和
[0016]圖4是例示根據本實用新型的另一實施例的具有非對稱褶皺的鋸線的斜視圖的概念圖。
【具體實施方式】
[0017]現在將詳細參照實施例，其示例在附圖中例示，其中相同的附圖標記始終指代相同的元件。在這點上，本實施例可具有不同的形式，并且不應當被解釋為局限于在此陳述的說明書。因此，在下面僅通過參照附圖描述實施例，以解釋本說明書的方面。
[0018]本實用新型涉及在線鋸機中使用的鋸線。該鋸線被用于切割半導體、陶瓷、超硬合金等并將半導體、陶瓷、超硬合金等切成片。
[0019]圖1是根據本實用新型的實施例的具有非對稱褶皺的鋸線100的側視圖，圖2是從圖1中選擇的主要部分的放大視圖，圖3是例示當圖1中的鋸線被使用時包括切割材料的圖。
[0020]參見圖1和圖2，根據本實用新型的實施例的具有非對稱褶皺的鋸線100具有連續且非對稱地形成在其中的單元褶皺10。
[0021]具體地，單元褶皺10包括第一部分11和第二部分12。
[0022]第一部分11比第二部分12短。第二部分12從第一部分11彎曲并延伸并且具有比第一部分11長的長度。由于第一部分11和第二部分12的長度不同，所以單元褶皺10被非對稱形成。
[0023]單元褶皺10以鋸齒形形狀連續形成。根據本實用新型的實施例，連續的單元褶皺10被形成在鋸線100中意味著，鋸線100本身被制造成具有鋸齒形形狀。
[0024]根據本實用新型的實施例，第一部分11的長度與第二部分12的長度的比率是從1:1.2 至 1:4。
[0025]當第二部分12的長度比第一部分11的長度的1.2倍小時，第二部分12和待切割的材料接觸的區域以及第一部分11和待切割的材料接觸的區域之間的差別可能不會被充分地獲得。因此，通過使接觸區域有差別來提高切割材料20的供應量的效果可能微不足道。
[0026]另一方面，當第二部分12的長度比第一部分11的長度的4倍大時，第一部分11的長度可能相對太小，并且褶皺效果可能減半。換言之，在鋸線100中連續形成單元褶皺10的目的是為了利用彎曲的單元褶皺10順暢地對待切割的材料進行切割；然而，當第二部分12的長度超過第一部分11的長度的4倍時，褶皺功能可能不會被有效地表現出。
[0027]根據本實用新型的實施例，第一部分11的斜度大于第二部分12的斜度。
[0028]詳細地，如圖2中所例示的，基于從第一部分11和第二部分12相交的頂點P平行于鋸線100的縱向方向延伸的虛線L