在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線的制作方法
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型的一個或多個實施例涉及在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線，并且更具體地，涉及在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線，該結構化鋸線即使在切分張力被施加到所述結構化鋸線用于對待切割的材料進行切割時也呈現小的褶皺變形，保持褶皺特性，提高切割性能，防止結構化鋸線兩端處的品質下降，并且降低缺陷率并由此提高諸如晶片之類的最終產品的生產率。
【背景技術】
[0002]通常，在鋸機中使用的鋸線隨著鋸線移動并連同切割材料以合適的壓力接觸待切割的材料來對待切割的材料進行切割，在切割材料中，諸如碳化硅粉末、金剛石粉末等的研磨顆粒與油等混合。
[0003]使用鋸線切割諸如硅塊之類的硬質材料的方法如下:鋸線沿著多個輥中的多個槽卷繞，并且成排的鋸線被驅動以將特定的力施加到硅塊或待切割的材料。在該階段，在成排的鋸線和待切割的材料之間供應研磨顆粒以由于研磨顆粒的切割效應而將硅塊切割成晶片。切割過程的效率和晶片的厚度品質取決于若干因素，諸如經受切割的硬質材料塊的特性和鋸線的速度。這些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在鋸線中。
[0004]用于切割硅塊的每排鋸線被常規地卷繞在輥上1000至3000次。該線沿著輥上制備的槽移動以切割硬質材料，并且當硬質材料被切割時，切割材料不僅研磨硬質材料并且研磨鋸線，而且減小鋸線的厚度，這是成問題的。在切割開始時，大量切割材料可能伴隨有存在于鋸線表面上的軟質材料鍍層；然而，隨著鍍層在硬質材料被切割時被移除，基層被露出并且包括切割材料的能力減弱。
[0005]因此，有必要提高在鋸線使用時包括切割材料的能力。在國際專利申請W090/12670中，提供一種鋸線，該鋸線良好地伴隨切割材料。該特點通過改變鋸線的外表面被實現。根據該專利申請的實施例，許多微腔位于鋸線的表面上。而且，根據該專利申請的另一實施例，鋸線沿圓周方向具有多個槽。這些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改變鋸線的外表面通常是昂貴的和耗時的。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的一個或多個實施例通過提供一種在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線而解決上述問題，該結構化鋸線即使在切分張力被施加到結構化鋸線用于對待切割的材料進彳丁切割時也呈現小的裙皺變形，保持裙皺特性、提尚包括切割材料的能力并提高使用切割材料進行切割的能力，防止鋸線兩端處的品質下降，減少缺陷率并由此提高諸如晶片之類的最終產品的生產率。
[0007]根據本實用新型的一個或多個實施例，在切分張力下保持褶皺特性的所述結構化鋸線包括鋸線，在所述鋸線上形成有連續的褶皺，其特征在于，連續形成鋸齒形形狀的單元褶皺包括第一部分和從所述第一部分彎曲并延伸的第二部分，并且所述第二部分從所述第一部分彎曲為使得，當與由所述第一部分和所述第二部分形成的邊緣鄰接的虛構圓被考慮時，所述虛構圓的半徑或曲率半徑被形成為所述線的直徑的5至20倍。
[0008]根據本實用新型的一個或多個實施例，可取的是，齒狀單元褶皺被形成為當該單元褶皺沿所述鋸線的縱向方向移動時沿一個方向旋轉。
[0009]另外的方面將部分在以下說明書中陳述，部分將由說明書變明顯，或者可通過實踐所提出的實施例而被得知。
[0010]根據本實用新型的一個或多個上述實施例，在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線即使在切分張力被施加到結構化鋸線用于對待切割的材料進行切割時也可呈現小的褶皺變形并保持褶皺特性。因此，可增加由于褶皺造成的切割材料的量，并且可提高對待切割的材料進行切割的能力。
【附圖說明】
[0011]由于結合附圖對實施例進行的以下描述，這些和/或其它方面將變得明顯且更易于理解。在附圖中:
[0012]圖1是根據本實用新型的實施例的在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線的側視圖。
[0013]圖2是從圖1中選擇的主要部分的放大視圖。
[0014]圖3是切分張力被施加到結構化鋸線兩端的狀態下的結構化鋸線的側視圖。
[0015]圖4是例示根據本實用新型的另一實施例的在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線的斜視圖的概念圖。
【具體實施方式】
[0016]現在將詳細參照實施例，其示例在附圖中例示，其中相同的附圖標記始終指代相同的元件。在這點上，本實施例可具有不同的形式，并且不應當被解釋為局限于在此陳述的說明書。因此，在下面僅通過參照附圖描述實施例，以解釋本說明書的方面。
[0017]本實用新型包括在線鋸機中使用并用于切割半導體、陶瓷、超硬合金等且將半導體、陶瓷、超硬合金等切成片的鋸線。
[0018]圖1是根據本實用新型的實施例的在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線100的側視圖，圖2是從圖1中選擇的主要部分的放大視圖，圖3是在切分張力被施加到鋸線兩端的狀態下的結構化鋸線100的側視圖。
[0019]參見圖1和圖2，根據本實用新型的實施例的在切分張力下保持褶皺特性的結構化鋸線100具有連續形成在其中的單元褶皺10，并具有一特征，借助該特征，單元褶皺10在切分張力被施加到結構化鋸線100的兩端用于對待切割的材料進行切割時保持性能。
[0020]具體地，單元褶皺10包括連續形成鋸齒形形狀的第一部分11和第二部分12，其中第二部分12從第一部分11彎曲并延伸，使得與由第一部分11和第二部分形成的邊緣鄰接的虛構圓具有一半徑或曲率半徑，該半徑或曲率半徑是結構化鋸線100的橫截面直徑d的5至20倍。
[0021]具體地，單元褶皺10包括第一部分11和第二部分12。由第一部分11與第二部分12相交所形成的邊緣的形狀是銳利的。雖然邊緣部分具有基本圓形形狀，但是該邊緣部分大體上被形成為銳利的。
[0022]根據本實用新型的實施例，連續的單元褶皺10被形成在結構化鋸線100中意味著，結構化鋸線100本身被制造成具有鋸齒形形狀。
[0023]如圖2中例示的，與由第一部分11和第二部分12形成的邊緣鄰接的虛構圓C的曲率半徑R是結構化鋸線100的橫截面直徑d的5至20倍。曲率半徑R是虛構圓C的半徑。
[0024]圖1例示在切分張力被施加到其中連續形成有單元褶皺10的結構化鋸線100之前的無張力狀態，圖3例示切分張力被施加到圖1中的結構化鋸線100的狀態。
[0025]如圖3中例示的，結構化鋸線100受到沿一方向的張力，其中單元褶皺10在拉動結構化鋸線100兩端的切分張力被施加時延長。
[0026]因此，邊緣的高度降低并且結構化鋸線100大致變直。在本公開中，曲率半徑R是結構化鋸線100的橫截面直徑d的5至20倍，并且由此單元褶皺10的形狀在切分張力被施加的狀態下被保持。
[0027]當曲率半徑R小于結構化鋸線100的橫截面直徑d的5倍時，這表示在第二部分12從第一部分11彎曲并延伸時第二部分12通過過度的彎曲