定第一攝像區域22A的位置和第二攝像區域22B的位置。前針和后針之間的聚焦差依賴于入射于第一攝像區域22A的第二光學圖像通過的光路差生成部件21的厚度tl及折射率和入射于第二攝像區域22B的第二光學圖像通過的光路差生成部件21的厚度t2及折射率的差。
[0059]另外，如圖4(a)所示，光路差生成部件21具有相對于與第二光路L2的光軸正交的面(在此，相對面25)傾斜的第一面26及第二面27。第一面26及第二面27以相對于頂部24對稱的方式，相對于相對面25均傾斜30°左右。通過第一面26及第二面27，來自第二光路L2的光在第一面26及第二面27上向內向折射并入射于攝像面20a。此外，優選光路差生成部件21的相對面25上的第二光學圖像的移動方向的長度比第二攝像裝置20的攝像面20a上的第二光學圖像的移動方向的長度長。在該情況下，可以使在第一面26的上端側或第二面27的下端側折射的光入射至攝像面20a的端部，并可有效地利用位于攝像面20a的端部的像素列。
[0060]通過在光路差生成部件21上設置第一面26及第二面27，可以與試樣S的攝像視野的雙方向掃描(參照圖13(a))對應。在進行雙方向掃描的情況下，只要如下進行即可，即，根據伴隨著試樣S的掃描的攝像面20a上的第二光學圖像的移動方向，在進行一方的掃描時，在與第一面26對應的攝像面20a的上半分區域，從上側依次設定第一攝像區域22A及第二攝像區域22B，在進行另一方的掃描時，在與第二面27對應的攝像面20a的下半分區域，從下側依次設定第一攝像區域22A及第二攝像區域22B即可(參照圖4(b))。
[0061]光路差生成部件21中，在第一面26和第二面27之間設有減少到達第二攝像裝置20的攝像面20a的光的光減少部28。光減少部28以將頂部24作為中心并在第一面26側和第二面27側以相等寬度伸出的方式，沿著頂部24在相對于第二光學圖像的移動方向(掃描方向:Z方向)成垂直的方向延伸。
[0062]光減少部28可以設為反射來自第二光路L2的光的光反射部。在設為光反射部的情況下，也可以使例如鋁、金、銀、銅之類的金屬的箔貼附于光路差生成部件21，也可以將這些金屬的膜蒸鍍于光路差生成部件21上。另外，光減少部28也可以設為減少來自第二光路L2的光的光減光部或遮擋來自第二光路L2的光的光遮光部。在設為光減光部及光遮光部的情況下，也可以將例如黑色涂料涂布于光路差生成部件21，也可以將黑色密封材料貼附于光路差生成部件21。另外，也可以對上述金屬的膜的表面涂布黑色涂料。光減少部28也可以設為吸收來自第二光路L2的光的光吸光部。在設為光吸光部的情況下，只要將例如紅寶石或藍寶石之類的氧化鋁等的吸收光的吸光物質形成于光路差生成部件21的內部即可。
[0063]在光路差生成部件21上未設置光減少部28的情況下，如圖5 (a)所示，入射于光路差生成部件21的頂部24附近的來自第二光路L2的光通過第一面26及第二面27上的折射而在攝像面20a上重疊，如圖5(b)所示，在攝像面20a上形成光重疊區域29。光重疊區域29中，光路差不同的光入射至攝像面20a，因此，在第一攝像區域22A及第二攝像區域22B的設定中成為不適當的非設定區域R1。在非設定區域R1相對于攝像面20a的寬度較大的情況下，可設定第一攝像區域22A及第二攝像區域22B的設定區域R2的寬度相對變窄。認為當設定區域R2的寬度變窄時，例如第一攝像區域22A和第二攝像區域22B之間的間隔的設定寬度被限制，且前針和后針之間的聚焦差的調整寬度被限制。
[0064]與之相對，在本實施方式那樣在光路差生成部件21上設有作為光反射部的光減少部28的情況下，如圖6(a)所示，入射于光路差生成部件21的頂部24附近的來自第二光路L2的光被光減少部28反射。因此，如圖6(b)所示，與未在光路差生成部件21上設置光減少部28的情況相比，可以大幅縮小形成于攝像面20a的光重疊區域29的寬度。因此，可設定第一攝像區域22A及第二攝像區域22B的設定區域R2的寬度相對變寬，可充分確保前針和后針之間的聚焦差的調整寬度。
[0065]另外，在本實施方式那樣在光路差生成部件21上設有作為光減光部.光遮光部.光吸光部的光減少部28的情況下，如圖7(a)所示，入射于光路差生成部件21的頂部24附近的來自第二光路L2的光被光減少部28減光、遮光或吸光。在該情況下，如圖7(b)所示，與未在光路差生成部件21上設置光減少部28的情況相比，可以大幅縮小形成于攝像面20a的光重疊區域29的寬度即非設定區域R1的寬度。因此，可設定第一攝像區域22A及第二攝像區域22B的設定區域R2的寬度相對變寬，可充分確保前針和后針之間的聚焦差的調整寬度。
[0066]此外，光減少部28的寬度可根據光路差生成部件21的折射率、第一面26及第二面27相對于相對面25的傾斜角等適當設定。例如第一面26中在與光減少部28的邊界部分折射的光和第二面27中在與光減少部28的邊界部分折射的光均優選以朝向攝像面20a的中央部分(與頂部24對應的部分)的方式設定光減少部28的寬度。在該情況下，可使非設定區域R1的寬度最小化。
[0067]圖8是表示圖像取得裝置的功能性的結構要素的方塊圖。如同圖所示，圖像取得裝置Μ具備包括CPU、存儲器、通信接口、硬盤等的存儲部、鍵盤等的操作部31、監視器32等的計算機系統。另外，作為控制部33的功能性的構成要素，圖像取得裝置Μ具備焦點控制部34、區域控制部35、物鏡控制部36、工作臺控制部37、圖像生成部38和虛擬幻燈片圖像存儲部39。
[0068]焦點控制部34是解析在第二攝像裝置20取得的第二圖像并根據該解析結果控制由第一攝像裝置18進行的攝像的焦點位置的部分。更具體而言，焦點控制部34首先在第二攝像裝置20中求得在第一攝像區域22Α中取得的圖像的對比度值和在第二攝像區域22Β中取得的圖像的對比度值之差量。
[0069]在此，如圖9所示，在相對于試樣S的表面對準物鏡15的焦點位置的情況下，在第一攝像區域22Α中取得的前針的圖像對比度值和在第二攝像區域22Β中取得的后針的圖像對比度值大致一致，它們的差分值大致成為零。另一方面，如圖10所示，在到試樣S的表面的距離比物鏡15的焦點距離長的情況下，在第二攝像區域22Β中取得的后針的圖像對比度值大于在第一攝像區域22Α中取得的前針的圖像對比度值，并且它們的差分值成為正值。在該情況下，焦點控制部34相對于物鏡控制部36輸出在接近于試樣S的方向上驅動物鏡15的內容的指示信息。
[0070]另外，如圖11所示，在到試樣S的表面的距離比物鏡15的焦點距離短的情況下，在第二攝像區域22B中取得的后針的圖像對比度值小于在第一攝像區域22A中取得的前針的圖像對比度值，并且它們的差分值成為負值。在該情況下，焦點控制部34相對于物鏡控制部36輸出在遠離于試樣S的方向上驅動物鏡15的內容的指示信息。
[0071]區域控制部35是控制第二攝像裝置20的攝像面20a上的第一攝像區域22A的位置及第二攝像區域22B的位置的部分。區域控制部35基于來自操作部31的操作，以避開形成于攝像面20a的光重疊區域29的方式，首先設定第一攝像區域22A，在進行了第一攝像區域22A中的攝像之后，解除第一攝像區域22A的設定。接著，從第一攝像區域22A在Z方向(掃描方向)上具有規定的間隔地設定第二攝像區域22B，在進行了第二攝像區域22B中的攝像之后，解除第二攝像區域22B的設定。
[0072]從第一攝像區域22A中的攝像到第二攝像區域22B中的攝像的等待時間基于第一攝像區域22A與第二攝像區域22B之間的間隔和工作臺1的掃描速度進行設定。另外，第一攝像區域22k和第二攝像區域22B之間的間隔基于由光路差生成部件21產生的光路長差進行設定。但是，該間隔需要實際上與試樣S的載片上的距離對應，并最終將間隔轉換成第二攝像區域22B的像素數。
[0073]另外，區域控制部35可以基于來自操作部31的操作，沿著攝像面20a的面內的掃描方向(在此，Z方向)變更第一攝像區域22A的位置和第二攝像區域22B的位置的至少一方。在該情況下，也可以僅變更第一攝像區域22A的位置及第二攝像區域22B的位置的任一方，也可以變更第一攝像區域22A的位置及第二攝像區域22B的