光罩檢查機和光罩檢查方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及光罩檢查技術領域，尤其涉及一種光罩檢查機和一種光罩檢查方法。
【背景技術】
[0002]光罩檢查機，英文名Mask Cleaner，該設備可以夾持光罩，用強光燈檢查光罩上的微粒(Particle)，同時，用氣槍進行清潔，防止微粒存在造成光罩損傷(Mask Defect)。
[0003]因放置光罩檢查機的房間面積有限，大多放置光罩存儲柜，所以光罩檢查機占地面積越小，放置光罩檢查機的房間利用率越高；同時，光罩正面和背面都需要進行微粒清潔，則要求設備能力清潔范圍越大越好；此外，生產條件對光罩清潔度及品質要求非常高，不可出現任何擦痕和損傷，否則該光罩將無法使用，會影響整個工廠的生產，該限制條件則要求設備方便操作，降低人員誤碰觸光罩的風險。
[0004]目前業內傳統的光罩檢查機大致有兩類:一類承載光罩直上直下式，該類設備占地面積小，放置光罩檢查機的房間利用率高，但該類設備僅能在水平方向檢查光罩，清潔范圍有限，且操作人員容易碰觸到光罩，損傷光罩風險大；另一類光罩檢查機帶有翻轉機構，可近360度翻轉，人員操作方便，清潔范圍廣，但需設計專門的過渡小車及導軌，光罩從推車轉移到過渡小車、過渡小車通過導軌運行到翻轉機構下方，過渡小車將光罩上移到鄰近翻轉機構的位置，再與翻轉機構進行光罩交換，設備占地面積較大，放置光罩檢查機的房間利用率變低，且安裝光罩和卸載光罩的時間都較長，增加了光罩清理工序的耗時。
【發明內容】
[0005]本發明所要解決的技術問題在于提供一種占地面積小、清潔范圍大的光罩檢查機和光罩檢查方法。
[0006]為了實現上述目的，本發明實施方式采用如下技術方案:
[0007]—方面，提供一種光罩檢查機，所述光罩檢查機包括機架、翻轉機構、承載機構和升降軌，所述機架包括第一位置和第二位置，所述翻轉機構轉動連接在所述機架之所述第一位置處，所述升降軌固定于所述機架，且所述升降軌從所述第一位置延伸至所述第二位置，所述承載機構滑動連接于所述升降軌，所述承載機構通過所述升降軌在所述第一位置與所述第二位置之間移動。
[0008]優選的，所述機架包括彼此相對間隔設立的兩個支架，每個所述支架之面對另一個所述支架的表面為所述機架的安裝面，所述升降軌包括至少一對分別固定在所述兩個安裝面上的軌道。
[0009]優選的，所述翻轉機構包括翻轉框及若干個光罩夾持件，所述若干個光罩夾持件均勻分布在所述翻轉框四周，所述翻轉框轉動連接在所述機架之所述兩個支架之間。
[0010]優選的，所述翻轉框上鄰近所述兩個支架的兩個側面為固定面，每個所述固定面的中部均設有凸出的旋轉軸，每個所述支架的上部均設有凹部，每個所述旋轉軸分別插入對應的所述凹部且相對于所述凹部轉動。
[0011]優選的，所述翻轉框上鄰近所述兩個支架之所述安裝面的兩個側面為固定面，每個所述固定面的中部均設有凹部，每個所述支架的上部均設有旋轉軸，每個所述凹部分別套設在對應的所述旋轉軸外且相對于所述旋轉軸轉動。
[0012]優選的，所述承載機構包括承載部、定位部和移動部，所述承載部上表面為水平的承載平面，所述定位部設置在所述承載平面上，所述移動部設置在所述承載部靠近所述支架的所述安裝面的側面上，所述側面垂直于所述承載平面，所述移動部連接所述升降軌且沿所述升降軌在所述第一位置與所述第二位置之間移動。
[0013]優選的，所述承載部包括分別連接在兩個所述支架上的兩個子承載部，所有所述子承載部的上表面公共構成所述承載部之所述承載平面。
[0014]優選的，所述承載機構還包括驅動裝置、定位傳感裝置和控制器，所述驅動裝置驅動所述承載機構通過所述升降軌在所述第一位置與所述第二位置之間移動，所述定位傳感裝置檢測所述承載機構位置并將信號反饋給所述控制器，所述控制器處理所述信號并控制所述驅動裝置從而控制承載機構的停留位置。
[0015]優選的，所述第二位置位于所述第一位置正下方。
[0016]另一方面，還提供一種光罩檢查方法，采用如上任一項所述的光罩檢查機，檢查步驟如下:
[0017]放置光罩至所述承載機構；
[0018]所述承載機構沿所述升降軌從所述第二位置移動至所述第一位置，安裝所述光罩至所述翻轉機構上，所述承載機構沿所述升降軌從所述第一位置移動至所述第二位置；
[0019]轉動所述翻轉機構，檢查所述光罩；
[0020]檢查完成后，所述承載機構沿所述升降軌從所述第二位置移動至所述第一位置，放置所述光罩至所述承載機構上，所述承載機構沿所述升降軌從所述第一位置移動至所述第二位置；
[0021]取出所述光罩。
[0022]相較于現有技術，本發明具有以下有益效果:
[0023]本發明所提供光罩檢查機不需要借助專門設計的過渡小車及導軌即可以實現光罩盒子在推車與翻轉機構之間的交換動作，節約了光罩檢查機的占地面積，提高放置光罩檢查機的房間的利用效率。
[0024]同時本發明所提供光罩檢查方法減少了將過渡小車運行到翻轉機構下方的步驟，節約了光罩檢查工序的時間，提高了光罩檢查清洗效率。
【附圖說明】
[0025]為了更清楚地說明本發明的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以如這些附圖獲得其他的附圖。
[0026]圖1是本發明實施例提供一種光罩檢查機的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合本發明實施方式中的附圖，對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0028]請參閱圖1，本發明的實施例提供一種光罩檢查機，光罩檢查機主要包括機架1、翻轉機構2、承載機構3和升降軌4，機架I包括第一位置和第二位置，翻轉機構2轉動連接在機架I的第一位置處，升降軌4固定在機架I上，且升降軌4從所述第一位置延伸至所述第二位置，承載機構3滑動連接于升降軌4，承載機構3通過升降軌4在所述第一位置與所述第二位置之間移動。在本實施例中，翻轉機構2用于夾持光罩，且可以相對機架I實現360°旋轉，人員操作方便，清潔范圍廣，降低了光罩損傷風險。同時，安裝光罩至翻轉機構2時，推車可以直接與承載機構3交換光罩盒子(光罩盒子內放置有光罩)，而后承載機構3承載光罩盒子沿升降軌4從第二位置移動到第一位置，承載機構3與翻轉機構2進行光罩的交換；反之即為從翻轉機構2上卸載光罩的動作。相較于現有技術中光罩檢查機，本發明實施例不需要借助專門設計的過渡小車及導軌即可以實現光罩盒子在推車與翻轉機構之間的交換動作，節約了光罩檢查機的占地面積，提高放置光罩檢查機的房間的利用效率。
[0029]如圖1所示，在本實施例中，所述機架I包括間隔一定距離彼此相對設立的兩個支架，所述的翻轉機構2、承載機構3和升降軌4設置在所述兩個支架之間。其中，每個所述支架的面對另一個所述支架的表面為所述機架I的安裝面，升降軌4包括至少兩對分別固定在兩個安裝面上的軌道，也即在每一個安裝面上的所述的軌道至少包括兩條。如此，承載機構3可以平穩地沿升降軌4上下移動。可以理解的，為節約所述支架的占地面積而減小所述安裝面面積時，也可以僅設置一對分別固定在兩個安裝面上的軌道。
[0030]作為本發明的一種優選實施例，翻轉機構2包括翻轉框21及若干個光罩夾持件22，若干個光罩夾持件22均勻分布在翻轉框21四周，翻轉框21轉動連接機架。作為一種優選實施例，翻轉框21可以選用如圖1所示的長方形的中間漏空框架，如此可減輕翻轉機構2的重量，使翻轉機構2在機架I上的翻轉動作更加輕盈，人機交互性好，并且可以同時檢查光罩的正反面。在本實施例中，翻轉框21的四條邊上均設置有光罩夾持件22，能更穩定的夾持光罩，翻轉框21每一條邊上間隔設置有至少兩個光罩夾持件22。光罩夾持件22可以實現對光罩的夾緊和松開動作。
[0031]進一步的，所述翻轉框21上鄰近所述兩個支架的兩個側面為固定面，每個所述固定面的中部均設有凸出的旋轉軸23，每個所述支架的所述第一位置處設有通孔，每個所述旋轉軸23分別插入對應的所述通孔且相對于所述通孔轉動。