一種mems微鏡、顯示面板及顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種MEMS微鏡、顯示面板及顯示裝置。
【背景技術】
[0002]隨著納米技術的蓬勃興起，微機電系統(Microelectromechanical Systems，MEMS)隨之誕生。微機電系統由微電子技術與機械工程技術有機結合而來，并集合當今科學發展的很多尖端成果，涉及微電子、材料、機械、力學和化學等多領域，包括微型結構、微型傳感器、微型執行器和控制電路等微型器件。
[0003]如圖1、圖2所示，MEMS微鏡10由鏡面11、扭轉梁12、驅動裝置(未示出)以及支撐結構13等構成，在驅動裝置的驅動下，扭轉梁12轉動帶動鏡面11旋轉，從而控制光的透光性。現有技術中的MEMS扭轉微鏡的尺寸通常在毫米或微米級別，從而可以完成大尺寸光學系統難以完成的任務，一般用于光通信開關等領域。
【發明內容】
[0004]本發明的實施例提供一種MEMS微鏡、顯示面板及顯示裝置，所述MEMS微鏡可反射出不同顏色的光，應用于顯示面板可使得顯示面板實現彩色顯示。
[0005]為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案:
[0006]—方面，本發明實施例提供了一種MEMS微鏡，包括反光鏡以及帶動所述反光鏡旋轉的扭轉梁；所述反光鏡的反光面上形成有顏色圖層。
[0007]可選的，所述圖層的顏色為三原色中的其中一種。
[0008]另一方面，本發明實施例提供了一種顯示面板，包括；
[0009]載體基板；
[0010]設置在所述載體基板上、陣列排布的多個微鏡，所述微鏡為本發明實施例提供的所述的微鏡；至少三個所述微鏡為一組，同一組中的各所述微鏡的反光面上形成的顏色圖層均不同。
[0011]可選的，三個所述微鏡為一組，同一組中的各所述微鏡的反光面分別形成有三原色中的其中一種顏色的圖層。
[0012]可選的，還包括；位于所述微鏡上方的導光板；所述導光板包括上表面、下表面以及側面，所述反光鏡的反光面朝向所述導光板的下表面；
[0013]位于所述導光板側面的光源。
[0014]可選的，還包括；位于所述導光板上方的遮光層；所述遮光層包括透光部分和不透光部分；其中，所述不透光部分在所述載體基板的投影位于相鄰的兩個微鏡在所述載體基板的投影之間的區域；
[0015]沿與所述微鏡的扭轉梁垂直的方向，任意相鄰的三個微鏡中，至少兩個微鏡之間的區域對應所述不透光部分。
[0016]可選的，沿與所述微鏡的扭轉梁垂直的方向，任意相鄰的三個微鏡中，其中的兩個所述微鏡之間的區域對應所述不透光部分；或者，
[0017]沿與所述微鏡的扭轉梁垂直的方向，任意相鄰的三個微鏡中，任意兩個微鏡之間的區域對應所述不透光部分。
[0018]可選的，所述微鏡的驅動周期的占空比可調節。
[0019]可選的，所述微鏡為壓電驅動、熱驅動、靜電驅動或電磁驅動。
[0020]再一方面，本發明實施例提供了一種顯示裝置，包括本發明實施例提供的任一所述的顯示面板。
[0021]本發明的實施例提供一種MEMS微鏡、顯示面板及顯示裝置，所述微鏡的反光鏡的反光面上形成有顏色圖層，則經微鏡反射后發出的光具有特定顏色。該微鏡應用于顯示面板可以實現彩色顯示。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1為現有的MEMS微鏡示意圖；
[0024]圖2為圖1所示微鏡發生偏轉的側面示意圖；
[0025]圖3為本發明實施例提供的一種MEMS微鏡不意圖；
[0026]圖4為本發明實施例提供的一種顯示面板示意圖；
[0027]圖5為本發明實施例提供的一種微鏡的驅動波形圖；
[0028]圖6為本發明實施例提供的另一種顯不面板不意圖；
[0029]圖7為本發明實施例提供的另一種顯不面板不意圖。
[0030]附圖標記:
[0031]10-MEMS微鏡；11_鏡面；12-扭轉梁；13-支撐結構；14-顏色圖層；15-反光鏡；20-載體基板；21_導光板；22_光源；23_遮光層。
【具體實施方式】
[0032]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0033]本發明實施例提供了一種MEMS微鏡，如圖3所不，包括反光鏡15以及帶動反光鏡15旋轉的扭轉梁12 ;反光鏡15的反光面上形成有顏色圖層14。則反光鏡的反光面上反射的光的顏色為圖層的顏色。例如，反光鏡的反光面上形成紅色圖層，則白色的光經反光鏡的反光面反射后射出的光為紅光。
[0034]本發明實施例提供了一種MEMS微鏡，所述微鏡的反光鏡的反光面上形成有顏色圖層，則經微鏡反射后發出的光具有特定顏色。
[0035]優選的，圖層的顏色為三原色中的其中一種。具體的，圖層的顏色可以是綠色、紅色或藍色。本發明實施例中的微鏡可用于顯示面板，每個微鏡相當于一個亞像素，則分別形成有紅色圖層、綠色圖層和藍色圖層的微鏡組合在一起組合為一個像素，顯示面板從而可以實現彩色顯示。
[0036]本發明實施例提供了一種顯示面板100，如圖4所示，包括:
[0037]載體基板20 ；
[0038]設置在載體基板20上、陣列排布的多個微鏡10，如圖3所示，微鏡10包括反光鏡15以及帶動反光鏡15旋轉的扭轉梁12 ;反光鏡15的反光面上形成有顏色圖層14 ;至少三個微鏡10為一組，同一組中的各微鏡的反光面上形成的顏色圖層均不同。
[0039]圖4中以三個微鏡10為一組為例，三個微鏡10中的顏色圖層分別為紅色圖層、綠色圖層和藍色圖層。當然，也可以是四個微鏡為一組，同一組中的四個微鏡的反光面上形成的顏色圖層可以分別是紅色圖層、綠色圖層、藍色圖層以及黃色圖層，即四個微鏡分別反射發射紅光、綠光、藍光和黃光。即一組為一個像素，每個微鏡相當于一個亞像素，每個亞像素反射的光的顏色不同，則可以通過調和每個微鏡反射的光使得每個像素的顏色不同，從而顯示面板可以實現彩色顯示。
[0040]當然，上述以各微鏡的反光面顏色為上述為例說明實現彩色顯示，至少三個微鏡為一組，同一組中的各微鏡的反光面上形成的顏色圖層也不局限于上述的描述。
[0041]需要說明的是，圖4中僅示意了對應一個像素的一組微鏡，顯示面板100可以包括諸多類似像素，其他像素的顯示部分可以參照示例的像素。并且，每個像素的大小不是限制性的，可以根據具體顯示分辨率的要求來設置。微鏡10的尺寸大小可以根據像素的大小來設定，微鏡10的尺寸越小，顯示面板的分辨率可以設置得更高。
[0042]此外，在本發明的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。
[0043]優選的，三個微鏡為一組，同一組中的各微鏡的反光面分別形成有三原色中的其中一種顏色的圖層。例如，同一組中的各微鏡的反光面圖層的顏色可以分別是綠色、紅色或藍