一種雙工件臺系統換臺過程控制方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于半導體制造裝備的技術領域。
【背景技術】
[0002]現代科技的迅猛發展對超大規模集成電路的制造能力提出了越來越高的要求，芯片越來精細，集成度越來越高是集成電路發展的必然趨勢。光刻機作為極大規模電路制造裝備，其技術目前主要被歐美等發達國家所壟斷，我國尖端芯片依然依賴進口，嚴重制約了我國在航空、航天、船舶、電力等領域的發展。為了打破壟斷，提高我國集成電路制造能力，我國已將掃描光刻設備的研制列為國家重大科技專項。
[0003]工件臺技術是光刻機的核心技術之一，其主要作用是承載硅片，實現高速、高加速度條件下，硅片的納米級精度的定位，并配合光刻過程中的上片、預對準、對準、曝光和下片等加工制造工序。工件臺技術對光刻機分辨率、套刻精度、產率三大性能指標起著至關重要的影響。相比傳統的通過增加硅片直徑減少換片次數，來提高生產效率的方法，雙工件臺技術已成為已成為目前提高光刻機生產效率的主流技術手段。
[0004]雙工件臺技術涉及到兩個工件臺在兩個不同工位之間進行切換的問題，換臺效率將直接影響到光刻機的產率。傳統的雙工件臺技術采用直線換臺方案，工件臺定位精度較低，換臺過程對臺體沖擊較大。
【發明內容】
[0005]本發明的目的是提供一種雙工件臺系統換臺過程控制方法，是為了解決現有的雙工件臺技術采用直線換臺方案，工件臺定位精度較低，換臺過程對臺體沖擊較大的問題。
[0006]所述的目的是通過以下方案實現的:所述的一種雙工件臺系統換臺過程控制方法，它的方法步驟為:
[0007]步驟一:第一水平移動臺架總成2中的第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2抓卡住第一工件臺1，第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4中的第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2抓卡住第二工件臺3，第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側曝光工作位置B處；
[0008]步驟二:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第一工件臺I移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第二工件臺3移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0009]步驟三:公轉電機5左側上的第三抓卡機構5-1抓卡住第一工件臺I ;公轉電機5右側上的第四抓卡機構5-2抓卡住第二工件臺3 ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2解卡，使第一工件臺I與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2解卡，使第二工件臺3與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0010]步驟四:第一水平移動臺架總成2向左側移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側移動一段距離；然后公轉電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉180度；
[0011]步驟五:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0012]步驟六:第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2抓卡住第一工件臺I ;第一X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉電機5上的第三抓卡機構5-1解卡，使第一工件臺I與公轉電機5分開；公轉電機5上的第四抓卡機構5-2解卡，使第二工件臺3與公轉電機5分開；
[0013]步驟七:第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第二工件臺3移動到左側預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第一工件臺I移動到右側曝光工作位置B處；
[0014]步驟八:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第二工件臺3移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第一工件臺I移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0015]步驟九:公轉電機5上的第四抓卡機構5-2抓卡住第二工件臺3 ；公轉電機5上的第三抓卡機構5-1抓卡住第一工件臺I ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2解卡，使第二工件臺3與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2解卡，使第一工件臺I與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0016]步驟十:第一水平移動臺架總成2向左側移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側移動一段距離；然后公轉電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3順時針旋轉180度；
[0017]步驟^^一:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0018]步驟十二:第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2抓卡住第一工件臺I ;然后公轉電機5上的第三抓卡機構5-1解卡，使第一工件臺I與公轉電機5分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉電機5上的第四抓卡機構5-2解卡，使第二工件臺3與公轉電機5分開；
[0019]步驟十三:第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側曝光工作位置B處；完成一個循環工作。
[0020]本發明方法采用回轉換臺方案，與直線換臺方案相比，減少了換臺過程中對臺體的沖擊，減少了換臺時間，提高了工件臺定位精度，對增加光刻機產率起到了至關重要的作用。
【附圖說明】
[0021]圖1是本發明方法涉及的裝置中第一工件臺I處在左側預處理工作位置A處和第二工件臺3處在右側曝光工作位置B處的簡要結構示意圖；
[0022]圖2是圖1中第一 X向移動平臺2-1與第一工件臺I處在左側換卡位置C處和第二 X向移動平臺4-1和第二工件臺3處在右側換卡位置D處的簡要結構示意圖；
[0023]圖3是圖1中第一水平移動臺架總成2向左側移動一段距離和第二水平移動臺架總成4向右側移動一段距離時的簡要結構示意圖；
[0024]圖4是圖1中公轉電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉180度后的簡要結構示意圖；
[0025]圖5是圖1中第一 X向移動平臺2-1與第二工件臺3處在左側換卡位置C處和第二 X向移動平臺4-1與第一工件臺I處在右側換卡位置D處的簡要結構示意圖；
[0026]圖6是圖1中第二工件臺3處在左側預處理工作位置A處和第一工件臺I處在右側曝光工作位置B處的簡要結構示意圖。
【具體實施方式】
[0027]【具體實施方式】一:結合圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示，它的方法步驟為:
[0028]步驟一:第一水平移動臺架總成2中的第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構
2-2抓卡住第一工件臺1，第一水平移動臺架總成2通過其自身的Y向移動和第一 X向移動平臺2-1的X向移動，將第一工件臺I移動到左側預處理工作位置A處；第二水平移動臺架總成4中的第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2抓卡住第二工件臺3，第二水平移動臺架總成4通過其自身的Y向移動和第二 X向移動平臺4-1的X向移動，將第二工件臺3移動到右側曝光工作位置B處；
[0029]步驟二:當預處理工作和曝光工作完成后，第一水平移動臺架總成2帶動其上的第一工件臺I移動，并使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，第二水平移動臺架總成4帶動其上的第二工件臺3移動，并使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0030]步驟三:公轉電機5左側上的第三抓卡機構5-1抓卡住第一工件臺I ;公轉電機5右側上的第四抓卡機構5-2抓卡住第二工件臺3 ;然后第一 X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2解卡，使第一工件臺I與第一 X向移動平臺2-1分開；第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2解卡，使第二工件臺3與第二 X向移動平臺4-1分開；
[0031]步驟四:第一水平移動臺架總成2向左側移動一段距離，第二水平移動臺架總成4向右側移動一段距離；然后公轉電機5帶動第一工件臺I和第二工件臺3逆時針旋轉180度；
[0032]步驟五:使第一 X向移動平臺2-1移動到左側換卡位置C處，使第二 X向移動平臺4-1移動到右側換卡位置D處；
[0033]步驟六:第二 X向移動平臺4-1上的第二抓卡機構4-2抓卡住第一工件臺I ;第一X向移動平臺2-1上的第一抓卡機構2-2抓卡住第二工件臺3 ;然后公轉電機5上的第三抓卡機構5-1解卡，使第一工件臺I與公轉電機5分開；公轉電機5上的第四抓卡機構5-2解卡，使第二工件臺3與公轉