負型感光性樹脂組合物、樹脂固化膜、分隔壁和光學元件的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及負型感光性樹脂組合物、樹脂固化膜、分隔壁和光學元件。
【背景技術】
[0002] 在有機EL (Electro-Luminescence;電致發光）元件等光學元件的制造中，有時使 用將發光層等有機層作為點、用噴墨（IJ)法進行圖案印刷的方法。在上述方法中，沿著想 要形成的點的輪廓設置分隔壁，在由該分隔壁包圍而成的分區（以下，也稱為"開口部"）內 注入包含有機層的材料的墨，對其進行干燥和/或加熱等，由此形成期望的圖案的點。
[0003] 在上述方法中，為了防止相鄰的點間的墨的混合以及均勻涂布用于形成點的墨， 需要分隔壁上表面具有拒墨性，另一方面，需要包括分隔壁側面的由分隔壁包圍而成的用 于形成點的開口部具有親墨性。
[0004] 因此，為了得到在上表面具有拒墨性的分隔壁，已知使用包含拒墨劑的感光性樹 脂組合物并利用光刻法形成與點的圖案相應的分隔壁的方法。例如，專利文獻1中公開了 包含有機硅系拒墨劑的負型感光性樹脂組合物，所述有機硅系拒墨劑包含含氟水解性硅烷 化合物的水解縮合物。
[0005]另外，在利用使用了感光性樹脂組合物的光刻法的分隔壁的制造中，從提高生產 率的觀點出發，認為需要以較低的曝光量進行感光性樹脂組合物的固化。特別是形成于分 隔壁上表面的具有拒墨性的層若固化不充分，則有時在顯影時發生溶出而變得極薄、或者 有時該層自身變得不存在，使其充分固化是重要的。例如，專利文獻2中記載了使用特定的 光聚合引發劑的感光性組合物。作為敏化劑，記載了 1官能或2官能的硫醇化合物。
[0006] 現有技術文獻
[0007] 專利文獻
[0008] 專利文獻1:國際公開第2010/013816號
[0009] 專利文獻2:國際公開第2008/146855號
【發明內容】
[0010] 發明要解決的問題
[0011] 近年來，以更高的生產率為目標，期望開發出即使在比專利文獻2中記載的曝光 條件更低的曝光量下也能充分固化、且能對分隔壁上表面賦予拒墨性的感光性樹脂組合 物。
[0012] 本發明的目的在于提供即使以低曝光量也能充分固化、能對分隔壁上表面賦予良 好的拒墨性的負型感光性樹脂組合物、使用該組合物而得到的在上表面具有良好的拒墨性 的樹脂固化膜和分隔壁。
[0013] 進而，本發明的目的在于提供具有在由分隔壁分隔成的開口部均勻涂布墨而精度 良好地形成的點的光學元件。
[0014] 用于解決問題的方案
[0015] 本發明具有以下的[1]~[16]的要旨，提供樹脂固化膜、負型感光性樹脂組合物、 分隔壁和光學元件。
[0016] [1]一種樹脂固化膜，其特征在于，其為形成于基板上的樹脂固化膜，
[0017] 在利用使用了 Ar濺射離子的X射線光電子能譜法（XPS)進行的前述樹脂固化膜 的厚度方向的組成分析中，
[0018] 前述樹脂固化膜的表面的氟原子濃度相對于碳原子濃度的比值[F/C]ws 0. 100~3. 000,該[F/C]w大于表層內部區域的氟原子濃度相對于碳原子濃度的比值的平 均值[F/C] m)，其中，所述表層內部區域以距前述樹脂固化膜的表面4nm厚的位置作為起點 且以距該表面7nm厚的位置作為終點，并且，
[0019] 前述樹脂固化膜的表面的硫原子濃度相對于碳原子濃度的比值[S/C] w、以及前 述樹脂固化膜的前述表層內部區域的硫原子濃度相對于碳原子濃度的比值的平均值[S/C] (ii)為 0? 001 ~0? 050。
[0020] [2] -種負型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有：具有烯屬雙鍵的堿溶性樹脂 或堿溶性單體（A)、光聚合引發劑（B)、l分子中具有3個以上巰基的硫醇化合物（C)、以及 拒墨劑（D)。
[0021] [3]根據前述[2]所述的負型感光性樹脂組合物，其中，在負型感光性樹脂組合物 中的全部固體成分中含有5~80質量％具有烯屬雙鍵的堿溶性樹脂或堿溶性單體（A)、 0. 1~50質量％光聚合引發劑（B)、以及0.01~15質量％拒墨劑（D)。
[0022] [4]根據前述[2]或[3]所述的負型感光性樹脂組合物，其中，以前述硫醇化合物 (C)所具有的巰基的量相對于前述負型感光性樹脂組合物中的全部固體成分所具有的烯屬 雙鍵1摩爾為0. 0001~1摩爾的方式含有該化合物。
[0023] [5]根據前述[2]~[4]中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述拒墨 劑（D)具有氟原子，前述拒墨劑〇))中的氟原子的含有率為1~40質量％。
[0024] [6]根據前述[2]~[5]中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述拒墨 劑（D)為具有烯屬雙鍵的化合物。
[0025] [7]根據前述[2]~[6]中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述拒墨 劑（D)為水解性硅烷化合物的部分水解縮合物。
[0026] [8]根據前述[7]所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述部分水解縮合物為水 解性硅烷化合物混合物的部分水解縮合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有氟亞烷 基和/或氟烷基以及水解性基團的水解性硅烷化合物（si)。
[0027] [9]根據前述[8]所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述水解性硅烷化合物混 合物還包含在硅原子上鍵合有4個水解性基團的水解性硅烷化合物（s2)。
[0028] [10]根據前述[9]所述的負型感光性樹脂組合物，其中，前述水解性硅烷化合物 混合物還包含具有具備烯屬雙鍵的基團和水解性基團、且不含氟原子的水解性硅烷化合物 (s3) 〇
[0029] [11]根據前述[2]~[10]中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其還包含1分 子中具有2個以上烯屬雙鍵、且不具有酸性基團的交聯劑（E)。
[0030] [12]根據前述[2]~[11]中任一項所述的負型感光性樹脂組合物，其還包含溶劑 (F)。
[0031] [13] -種樹脂固化膜，其使用前述[2]~[12]中任一項所述的負型感光性樹脂組 合物而形成。
[0032] [14] -種樹脂固化膜，其為形成于基板上的前述[13]所述的樹脂固化膜，
[0033] 在利用使用了 Ar濺射離子的X射線光電子能譜法（XPS)進行的前述樹脂固化膜 的厚度方向的組成分析中，
[0034] 前述樹脂固化膜的表面的氟原子濃度相對于碳原子濃度的比值[F/C] WS 0. 100~3. 000,該[F/C]w大于表層內部區域的氟原子濃度相對于碳原子濃度的比值的平 均值[F/C] m)，其中，所述表層內部區域以距前述樹脂固化膜的表面4nm厚的位置作為起點 且以距該表面7nm厚的位置作為終點，并且，
[0035] 前述樹脂固化膜的表面的硫原子濃度相對于碳原子濃度的比值[S/C] w以及前 述樹脂固化膜的前述表層內部區域的硫原子濃度相對于碳原子濃度的比值的平均值[S/C] (ii)為 0? 001 ~0? 050。
[0036] [15] -種分隔壁，其形成為將基板表面分隔成用于形成點的多個分區的形狀，所 述分隔壁包含前述[1]、[13]或[14]所述的樹脂固化膜。
[0037] [16] -種光學元件，其在基板表面具有多個點和位于相鄰的點間的分隔壁，前述 分隔壁由前述[15]所述的分隔壁形成。
[0038] [17]根據前述[16]所述的光學元件，其中，前述點是利用噴墨法而形成的。
[0039] 發明的效果
[0040] 根據本發明，能夠提供即使以低曝光量也能充分固化、能對分隔壁上表面賦予良 好的拒墨性的負型感光性樹脂組合物。