靜電夾具的制作方法
【專利說明】靜電夾具
[0001]與申請相關的交叉引用
[0002]本申請要求享有2013年I月22日提交的美國臨時申請案號61/755，088的權益，并且該臨時申請在此通過引用全文并入本文。
技術領域
[0003]本發明涉及一種靜電夾具以及一種制造靜電夾具的方法。靜電夾具可以形成光刻設備的一部分。
【背景技術】
[0004]光刻設備是將所需圖案施加至襯底的目標部分上的機器。光刻設備可以例如用于集成電路(IC)的制造。在該情形下，備選地稱作掩模或掩模版的圖案化裝置可以用于產生對應于IC的單個層的電路圖案，并且該圖案可以成像至具有對輻射敏感材料(抗蝕劑)層的襯底(例如硅晶片)上的目標部分(例如包括一個或數個裸片的一部分)之上。通常，單個襯底將包含連續曝光的相鄰目標部分的網絡。已知的光刻設備包括其中通過一次性暴露整個圖案至目標部分上而照射每個目標部分的所謂步進機，以及其中通過沿給定方向(“掃描”方向)穿過束掃描圖案而并行于或反平行于該方向而同步地掃描襯底的所謂掃描機。也可能通過壓印圖案至襯底上而將圖案從圖案化裝置轉移至襯底。
[0005]靜電夾具可以用于其中使用真空夾具不實用的光刻設備中。例如，EUV光刻設備的一些區域工作在真空條件下，并且因此在那些區域中使用真空夾具不實用。可以替代使用靜電夾具。可以提供靜電夾具以將諸如掩模或襯底(晶片)的物體分別靜電地夾持(也即保持)至諸如掩模工作臺或晶片工作臺的物體支撐。備選地和/或額外地，夾具可以形成物體保持器的一部分。物體保持器可以有時備選地和/或額外地描述作為物體支撐。
[0006]需要提供例如一種改進的靜電夾具，其消除或者減緩了不論在此或它處識別的現有技術的一個或多個問題。
【發明內容】
[0007]根據本發明的第一方面，提供了一種靜電夾具，包括電極、位于電極上的阻性材料層、以及位于阻性材料上的電介質層，其中靜電夾具進一步包括從電介質層突出的突節。
[0008]突節可以由電介質形成。突節可以由并非電介質的絕緣體形成。
[0009]突節與電介質材料層可以均由相同電介質形成。
[0010]突節可以由與用于形成電介質層的電介質不同的電介質形成。
[0011]其上提供了電介質層的阻性材料的表面可以是平滑的。
[0012]其上提供了電介質層的阻性材料的表面可以拋光的。
[0013]突節可以由類金剛石碳形成。
[0014]電介質層和突節可以均由類金剛石碳形成。
[0015]根據本發明的第二方面，提供了一種靜電夾具，包括電極、位于電極上的電介質層，其中靜電夾具進一步包括從電介質層突出的突節。
[0016]突節可以由電介質形成。突節可以由并非電介質的絕緣體形成。
[0017]突節和電介質材料層可以均由相同電介質形成。
[0018]電介質可以由不同于用于形成電介質層的電介質不同的電介質所形成。
[0019]其上提供了電介質層的電極的表面可以是平滑的。
[0020]其上提供了電介質層的電極的表面可以拋光的。
[0021]突節可以由類金剛石碳形成。
[0022]電介質層和突節可以均由類金剛石碳形成。
[0023]突節和電介質材料層可以均由相同電介質形成。
[0024]根據本發明的第三方面，提供了一種制造靜電夾具的方法，包括:
[0025]在電極的頂部上提供阻性材料層；
[0026]在阻性材料層的頂部上提供電介質層；
[0027]移除一些電介質以形成從電介質層突出的突節。
[0028]其上提供了電介質層的阻性材料層的表面可以是平滑的。
[0029]其上提供了電介質層的阻性材料層的表面可以拋光的。
[0030]根據本發明的第四方面，提供了一種制造靜電夾具的方法，包括:
[0031]在電極的頂部上提供阻性材料層；
[0032]在阻性材料層的頂部上提供電介質層；
[0033]在電介質層的頂部上形成突節。
[0034]突節可以由電介質形成。突節可以由并非電介質的絕緣體形成。
[0035]突節和電介質層可以均使用相同電介質而形成。
[0036]其上提供了電介質層的阻性材料層的表面可以是平滑的。
[0037]其上提供了電介質層的阻性材料層的表面可以是拋光的。
[0038]本發明的第三和第四方面的方法可以設置用于提供一種參照本發明第一方面如上進一步所述的具有任何合適的特征的靜電夾具。
[0039]根據本發明的第五方面，提供了一種制造靜電夾具的方法，包括:
[0040]在電極的頂部上提供電介質層；
[0041 ]移除一些電介質以形成從電介質材料層突出的突節。
[0042]其上提供了電介質層的電極的表面可以是平滑的。
[0043]其上提供了電介質層的電極的表面可以是拋光的。
[0044]根據本發明的第六方面，提供了一種制造靜電夾具的方法，包括:
[0045]在電極的頂部上提供電介質層；
[0046]在電介質材料層的頂部上形成突節。
[0047]其上提供了電介質層的電極的表面可以是平滑的。
[0048]其上提供了電介質層的電極的表面可以是拋光的。
[0049]本發明的第五方面和第六方面的方法可以設置用于提供參照本發明第二方面如上進一步所述具有任何合適特征的靜電夾具。
[0050]根據本發明的另一方面，提供了一種包括本發明第一方面或第二方面的夾具的光刻設備。根據本發明的另一方面，提供了一種根據本發明第三方面至第六方面中任一項制造的夾具的光刻設備。
[0051]以下將參照附圖詳細描述本發明的其他特征和優點、以及本發明各個實施例的結構和操作。應該注意的是，本發明不限于在此拾具體實施例。這些實施例僅為了示意說明目的展示于此。本發明的一個或多個方面對于本領域技術人員合適的是可以與在此拾任意一個或多個其他方面、和/或與在此所述任何一個或多個特征相組合。
【附圖說明】
[0052]現在將僅借由示例的方式、參照示意性附圖描述本發明的實施例，其中對應的附圖標記指示對應的部件，以及其中:
[0053]圖1示意性示出了根據本發明的一個實施例的光刻設備；
[0054]圖2是光刻設備的更詳細示意圖；
[0055]圖3是圖1和圖2的設備的源收集器設備SO的更詳細示意圖；
[0056]圖4A —圖4D以剖視圖示意性示出了根據本發明一個實施例的制造靜電夾具的方法;
[0057]圖5示意性示出了從上方看到的使用圖4所示方法制造的靜電夾具；
[0058]圖6A —圖6D以剖視圖示意性示出了根據本發明一個實施例的制造靜電夾具的備選方法；以及
[0059]圖7A —圖7D以剖視圖示意性示出了根據本發明一個實施例的制造靜電夾具的另
—備選方法°
[0060]當結合附圖時從列出的詳細說明書將使得本發明的特征和優點更明顯，其中相同附圖標記標識了全部附圖中對應的元件。在附圖中，相同的附圖標記通常指示等同、功能類似、和/或結構類似的元件。元件首次出現的附圖由對應附圖標記中的最左數位指示。
【具體實施方式】
[0061]該說明書公開了包括本發明特征的一個或多個實施例。所公開的實施例僅解釋說明了本發明。本發明的范圍不限于所公開實施例。本發明由所附權利要求限定。
[0062]所述的實施例、以及在說明書中涉及“一個實施例”、“一實施例”、“示例性實施例”等指示了所述實施例可以包括特定的特征、結構或特性，但是并非每個實施例必需包括特定的特征、結構或特性。此外，這些短語無需涉及相同實施例。此外，當結合實施例描述特定的特征、結構或特性時，應該理解的是不論是否明確描述，結合其他實施例以實現這些特征、結構或特性在本領域技術人員認知范圍內。
[0063]圖1示意性示出了根據本發明一個實施例的包括源收集器設備SO的光刻設備100。光刻設備包括:
[0064]照射系統(照射器)IL，配置用于調節輻射束B (例如EUV輻射)；
[0065]支撐結構(例如掩模工作臺)MT，構造用于支撐圖案化裝置(例如掩模或掩模版)MA并且連接至配置用于精確地定位圖案化裝置的第一定位器PM ;
[0066]襯底工作臺(例如晶片工作臺)WT，構造用于保持襯底(例如涂覆了抗蝕劑的晶片)W并且連接至配置用于精確地定位襯底的第二定位器PW ;以及