一種極紫外反射鏡片的裝調裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于極紫外(Extreme ultrav1let，簡寫為EUV)光刻技術領域，具體涉及一種鏡片裝調裝置，特別是EUV反射鏡片的裝調裝置。
【背景技術】
[0002]EUV光刻技術是繼193nm浸沒式光刻技術之后的下一代光刻機技術，由于EUV福射被幾乎所有物質(包括空氣)強烈吸收，EUV光刻機系統必須置于真空環境中。真空抽氣泵組用于實現這種真空環境，使腔室滿足真空度要求。
[0003]另外，EUV光刻機的光學系統為反射式光學系統，在封閉的真空環境中除了要求穩定的安裝、可靠的調節，還需要將外界的各種干擾(如真空抽氣泵組或地面的振動影響)排除在外，這就對EUV反射鏡片的裝調裝置提出了較高的要求。
[0004]可以通過在真空抽氣泵組和真空腔體之間加裝一個減振波紋管來減少真空抽氣泵組對真空腔體的振動影響，從而減少對反射鏡片的振動影響；這樣在抽真空管道上會額外增加較長的波紋管長度，會增加抽氣流阻增大抽速損失，從而導致泵的有效抽速減少、抽氣時間增加的不良結果。
【發明內容】
[0005](一 )要解決的技術問題
[0006]本發明所要解決的技術問題是如何在不減少抽氣泵有效抽速的條件下使EUV光刻機的光學系統能夠穩定的安裝和可靠的調節。
[0007]( 二)技術方案
[0008]為解決上述技術問題，本發明提出一種鏡片裝調裝置，用于安裝和調節鏡片，包括:腔體，其底壁具有通孔；鏡片支撐架，位于所述腔體內，用于支撐所述鏡片；抱壓系統，用于將所述鏡片固定在所述鏡片支撐架上；支承系統從所述腔體的通孔穿過，使得其一部分位于腔體內，另一部分位于腔體外，位于腔體內的部分與所述鏡片支撐架的底部固定連接。
[0009]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述支承系統的長度可以調節，該支承系統的長度的變化會導致固接于該支承系統的一端的鏡片支承架的高度發生變化。
[0010]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述腔體為真空腔體，所述支承系統與所述腔體的通孔之間真空密封。
[0011]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述支承系統包括上法蘭、下法蘭、波紋管和支承螺桿，其中，所述上法蘭、下法蘭分別與所述波紋管的兩端固定連接并且軸向對正，沿所述上法蘭、下法蘭和波紋管的軸心開一通孔；所述上法蘭與所述鏡片支撐架的底部固定連接；所述下法蘭與所述真空腔體內側的底壁固定連接；所述波紋管的長度可調節；所述支承螺桿從所述腔體的外部依次穿過該腔體的通孔以及下法蘭、波紋管、上法蘭的軸心的通孔，抵頂所述鏡片支撐架的底部。
[0012]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述支承螺桿的抵頂所述鏡片支撐架的底部的一端為球面端。
[0013]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述支承螺桿的沒有抵頂所述鏡片支撐架的底部的一端與一個基板固定連接，該基板的下部設有減振系統，通過該減振系統放置在安裝平面上。
[0014]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述支承系統的數量至少是三個，并且各支承系統的支承螺桿對鏡片支撐架的作用點在同一水平面上的投影點不在同一直線上。
[0015]根據本發明的一種【具體實施方式】，各支承系統與所述鏡片支撐架的底面的周邊固定連接。
[0016]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述抱壓系統包括壓塊、抱壓螺釘和鎖緊螺母，其中，所述壓塊上端開一螺紋孔，下端與所述鏡片直接接觸；所述抱壓螺釘穿過所述鏡片支撐架的側邊后旋接于所述壓塊的所述螺紋孔；所述鎖緊螺母套設于抱壓螺釘，將所述抱壓螺釘相對于所述壓塊鎖緊。
[0017]根據本發明的一種【具體實施方式】，所述壓塊的材料為銅或鋁。
[0018](三)有益效果
[0019]本發明能夠實現反射鏡片和鏡片支撐架的三維調節，隔離真空抽氣泵組對反射鏡片的振動影響。因此本發明不需要在真空腔體上額外增加減振波紋管，也能夠隔離地面振動的影響。
【附圖說明】
[0020]圖1是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的結構示意圖；
[0021]圖2是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的抱壓系統的結構示意圖；
[0022]圖3是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的支承系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]本發明提出的鏡片裝調裝置用于安裝和調節鏡片，特別適合EUV反射鏡片。該裝調裝置至少包括腔體、鏡片支撐架、抱壓系統和支承系統。腔體的底壁具有通孔，鏡片支撐架位于腔體內，用于支撐鏡片。抱壓系統用于將鏡片固定在鏡片支撐架上。支承系統從腔體的通孔穿過，使得其一部分位于腔體內，另一部分位于腔體外，位于腔體內的部分與鏡片支撐架的底部固定連接。
[0024]為了調節鏡片的高度，支承系統的長度是可以調節的。也就是說，支承系統的長度的變化會導致固接于該支承系統的一端的鏡片支承架的高度發生變化。當本發明的鏡片裝調裝置用于EUV反射鏡片時，所述腔體為真空腔體，此時，支承系統應與腔體的通孔之間真空密封。
[0025]根據本發明的優選方式，支承系統包括上法蘭、下法蘭、波紋管和支承螺桿，上法蘭、下法蘭分別與波紋管的兩端固定連接并且軸向對正，且沿上法蘭、下法蘭和波紋管的軸心開有一個通孔。上法蘭與鏡片支撐架的底部固定連接，下法蘭與真空腔體內側的底壁固定連接。波紋管的長度是可調節的。支承螺桿從腔體的外部依次穿過腔體的通孔以及下法蘭、波紋管、上法蘭的軸心的通孔，抵頂鏡片支撐架的底部。支承螺桿的抵頂鏡片支撐架的一端優選為球面端，另一端則與一個基板固定連接，該基板的下部可以設有減振系統，通過該減振系統放置在安裝平面上。
[0026]為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照附圖，對本發明作進一步的詳細說明。
[0027]圖1是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的結構示意圖。如圖1所示，該裝調裝置用于安裝并調節反射鏡片2，其包括真空腔體1、鏡片支撐架3、連接反射鏡片2和鏡片支撐架3的抱壓系統4、連接真空腔體I和鏡片支撐架3的支承系統5。
[0028]真空腔體I上連接安裝有真空泵組、真空計等。雖然現有技術也可以直接將真空腔體安放在普通地面上，但這樣會有外界干擾直接傳遞到真空腔體上，如真空泵組的振動、地面傳遞過來的振動等。
[0029]考慮承重和初步定位，鏡片支撐架3與反射鏡片2的下部分直接接觸；反射鏡片2一般為圓形，鏡片支撐架3與反射鏡片2直接用弧面接觸；在反射鏡片2的上部分通過抱壓系統4將反射鏡片2牢固安裝在鏡片支撐架3上。
[0030]圖2是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的抱壓系統的結構示意圖。如圖2所示，抱壓系統4由壓塊41、抱壓螺釘42和鎖緊螺母43組成。壓塊41上端開一螺紋孔，下端與反射鏡片2直接用弧面接觸；壓塊41選為較軟且真空放氣率較小的材料，如銅、鋁等，因橡膠等非金屬材料在真空環境下會發生大量放氣，且放氣成分會污染反射鏡片，極大的降低反射鏡片的反射率和其使用壽命，所以壓塊材料不能為橡膠等非金屬材料。抱壓螺釘42首先穿過鏡片支撐架3的螺紋孔，再旋接于壓塊41上端的螺紋孔；通過旋轉抱壓螺釘42來實現壓塊41的前后直線移動，從而壓緊或者放松反射鏡片2 ;要注意選用適當的抱壓螺釘42長度，使壓塊41壓緊反射鏡片時抱壓螺釘的螺帽與鏡片支撐架之間還留有一定余量，防止壓塊還未達到壓緊位置時抱壓螺釘就旋接到鏡片支撐架的極限位置。當壓塊移動到一定位置壓緊反射鏡片2時，為確保系統穩定，引入鎖緊螺母43將抱壓螺釘42和壓塊41的相對位置固定，防止螺紋松動。
[0031]需要注意的是，雖然圖1中畫出了兩個對稱的、與豎直方向成一定角度(45度)的抱壓系統4，但本發明不限于此，抱壓系統4也可以與豎直方向成其余角度，如30度，或者只用一個位于反射鏡片2上端的抱壓系統。
[0032]另外，在反射鏡片2的下端除了直接用弧面接觸，也可以改為抱壓系統的緊固方式，這樣整個反射鏡片2與鏡片支撐架3之間就只有多個(兩個、三個、四個或者多個)抱壓系統4相連。這些都應視為本發明所要求保護的范圍。
[0033]支承系統5安放在真空腔體I上，支承系統5能夠支承反射鏡片2和鏡片支撐架3的重量，也能夠實現三維調節(重力方向的平動，除了繞重力方向轉動外的其余兩種轉動)。該支承系統5實現了反射鏡片2和真空腔體3的分離，能夠隔離真空抽氣泵組對反射鏡片2的振動影響，從而不需要在真空腔體I上額外增加減振波紋管。
[0034]圖3是本發明的一個實施例的EUV反射鏡片的裝調裝置的支承系統的結構示意圖。如圖3所示，支承系統5由上法蘭51、下法蘭52、波紋管53、密封圈54、支承螺桿55、鎖緊螺母56、承重螺母57和基板58組成。上法蘭(51)、下法蘭(52)分別與波紋管(53)的兩端固定連接并且軸向對正，沿上法蘭(51)、下法蘭(52)、波紋