電光調制器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及電光設備和方法，更具體地涉及電光調制器。
【背景技術】
[0002]電光調節器包括光波導部分和導線部分的布置。可以操作光波導部分以促進光信號的傳播，并且導線部分傳播輸入射頻(RF)信號。當射頻信號與波導材料交互時，射頻信號可導致改變波導材料的折射率的電光效應。這樣的布置提供了光信號和射頻信號之間的交互，這樣光信號可以由輸入射頻信號進行調制。
【發明內容】
[0003]根據本發明一實施例，電光調制器設備包括部分地由波導部分定義的光信號通路，部分地由導線部分定義的射頻信號通路，交互區域，在該交互區域中，在射頻信號通路中傳播的射頻信號與在光信號通路中傳播的光信號交互以調制該光信號，以及位于接近導線部分的第一調整部分，該第一調整部分包括傳導部分和開關部分，該開關部分可被操作以將該傳導部分連接到地。
[0004]根據本發明的另一實施例，電光調制器設備系統包括部分地由波導部分定義的光信號通路，部分地由導線部分定義的射頻信號通路，交互區域，在該交互區域中，在射頻信號通路中傳播的射頻信號與在光信號通路中傳播的光信號交互以調制該光信號，位于接近導線部分的第一調整部分，所述第一調整部分包括傳導部分和開關部分，該開關部分可被操作以將該傳導部分連接到地，以及控制器部分，該控制器部分通信地鏈接到所述第一調整部分的開關部分，所述控制器部分可被操作以控制所述開關部分的狀態。
[0005]根據本發明又一實施例，電光調制器設備包括襯底，部分地由位于所述襯底上的導線部分定義的射頻信號通路，部分地由位于所述襯底上的波導部分定義的光信號通路，交互區域，在該交互區域中在所述射頻通路中傳播的射頻信號和在所述光信號通路中傳播的光信號交互以調制該光信號，以及位于所述襯底上接近導線部分的第一調整部分，所述第一調整部份包括傳導部分和開關部分，該開關部分可被操作以將所述傳導部分連接到地。
[0006]更多的特征和優點將通過本發明的技術實現。本發明的其他實施例和部分將在下文中詳細描述，并且被認為是請求保護的本發明的一部分。通過參考下面的描述和附圖，將獲得對本發明的優點和特征的更好的理解。
【附圖說明】
[0007]在對說明書結論處的權利要求中具體地指出并清楚地要求保護被認為是發明的主題。從下述詳細描述并結合附圖，本發明的上述和其它特征、優點將顯而易見。
[0008]圖1示出了電光調制器設備的一示例性實施例的部分的俯視圖；
[0009]圖2示出了導線和調整部分的示例性布置的俯視圖；
[0010]圖3示出了調整部分的示例性實施例的一側的部分的剖視圖；
[0011]圖4示出了電光調制器設備另一示例性實施例的部分的俯視圖；
[0012]圖5示出了圖4中區域5中的設備的示例性實施例的部分；
[0013]圖6示出了圖4中區域5中的設備的另一替代示例性實施例；
[0014]圖7示出了操作所述電光設備的示例性方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0015]以前的電光調制器包括波導部分和導線部分，其中波導部分傳播光信號，導線部分傳播射頻(RF)信號。RF信號與光信號的交互被用于調制光信號。盡管設備被傾向設計為光信號和RF信號基本以相似的速度傳播，電光調制器的材質和構造可能影響光信號的和RF信號相對傳播速度。如果，例如，在電光設備的交互區域中RF信號的傳播速度與光信號的傳播速度不匹配，調制器的帶寬可能會被減少，這種減少顯然是不期望的。
[0016]在此描述的圖示的示例性實施例提供了一種方法和系統用于使得在電光設備的交互區域中RF信號的傳播速度與光信號的傳播速度匹配。這種信號速度的匹配(或調諧)可以增加電光設備和系統的有效帶寬。
[0017]圖1示出了電光調制器設備100的示例性實施例的部分的俯視圖。在此實施例中，設備100布置在襯底上。該襯底例如為硅襯底材料。波導部分102布置在襯底上。導線104布置在波導部分102之上的層或者與波導部分102相鄰的層。波導部分102被用于傳播一個連續波(CW)光輸入信號，導線104被用于傳播RF輸入信號。波導部分102和導線104在交互區域106重疊。RF信號和波導部分102在交互區域106中的交互影響CW光輸入光的調制，由此得到調制的或者編碼的光輸出信號。如上面所討論的，設備100的構造和材質會影響光和RF信號的傳播速度。在圖示的示例性實施例中RF信號的傳播速度會高于光信號的傳播速度。因此，降低RF信號的傳播速度將會減少光信號和RF信號之間傳播速度的相對差。
[0018]RF信號的群速度是線路電感和導線104的電容的函數。改變導線104的電容或者電感將會改變RF信號的群速度。圖示的實施例包括多個調整部分108，其跨過或者臨近導線104。調整部分108與導線104電絕緣，并且調整部分108例如可以被布置在襯底上的材料的層上，襯底與導線電絕緣。每個調整部分108都通過一個或多個開關設備110與地相連，開關設備110可以由下面描述的控制器控制。當某個調整部分108的開關設備110閉合時(也就是說調整部分108在任一端、調整部分108的相對的端或者開關設備110布置在調整部分108的中間區域接地)，關聯的導線104的電容會增加。導線104的電容的增加會降低RF信號在導線104中的傳播速度。
[0019]雖然圖示的實施例包括2個調整部分位于并關聯于每個導線104，替代實施例中每個導線104可以對應任意數量的調整部分108。每個調整部分108可以被獨立地控制以便可以通過影響將特定調整部分108接地的開關設備110來逐步增加導線104的有效電容。通過改變調整部分108的狀態(也就是說將調整部分108連接到地的開關設備110的狀態)，導線104的有效電容可以被增加或者減少以影響RF信號的速度來接近或者基本匹配光信號的速度。
[0020]圖2示出了導線104和調整部分108的示例性實施例的俯視圖。線負載元件包括與開關設備I1連接的傳導部分202。通過閉合位于調整部分108 —端的開關設備110，每個傳導部分202可以選擇性的、獨立的接地。開關設備110由控制器部分204控制，該控制器部分204可以被用于輸出改變開關設備110狀態的信號。控制器部分204可以包括例如處理器或者邏輯電路，其用于接收輸入、處理輸入并輸出信號。在圖示實施例中，控制器204可以閉合開關設備110a。開關設備IlOa將傳導部分202a連接到地。這樣的連接可以使得導線104的電容增加。正如上面所討論的，導線104的電容的增加會減少RF輸入信號的速度(減少RF輸入和光信號之間的相對差)。如果RF輸入的速度的減少是有利的，控制器可以例如閉合開關設備IlOb以將傳導部分202b連接到地，這樣會進一步的增加導線104的電容。如果需要，可以通過閉合其他調整部分108的開關設備110來進一步增加電容。
[0021]圖3示出了調整部分108的示例性實施例的一側的部分剖視圖。傳導部分202連接到開關設備110。在圖示實施例中，開關設備110包括一個或多個晶體管。開關設備110將節點302和控制器204連接到地。調整部分108被布置在絕緣層303中，例如布置在襯底301上的氧化或者氮化材料中。導線104布置在絕緣層303上。雖然圖示實施例包括襯底301和絕緣層303，設備也可以包括任意數量的、包括任意材料的層。雖然僅示出了一個開關設備110，替代實施例可以包括兩個或更多的開關設備110，這樣傳導部分202的每一端都通過開關設備110連接到地，或者替代實施例可以包括在傳導部分202的中間區域的開關設備110，其使得當開關