1.一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:包括反饋調(diào)節(jié)模塊、信號(hào)處理及采集模塊、探測(cè)器模塊、UVLED光源模塊和供電與控制模塊;
探測(cè)器模塊用于探測(cè)UVLED光源強(qiáng)度,將光源強(qiáng)度信息轉(zhuǎn)換成電信息;
信號(hào)處理及采集模塊的輸入端與探測(cè)器模塊的輸出端連接;信號(hào)處理及采集模塊的輸出端與反饋調(diào)節(jié)模塊的輸入端連接,反饋調(diào)節(jié)模塊的輸出端和供電與控制模塊的輸入端連接,供電與控制模塊的輸出端與UVLED光源模塊的輸入端連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述探測(cè)器模塊包括光電探測(cè)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述光電探測(cè)器設(shè)置于勻勻光路后,UVLED光源模塊的曝光面之前。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述探測(cè)器模塊還包括設(shè)置于光電探測(cè)器周圍的水冷裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述信號(hào)處理及采集模塊包括依次連接的I/V轉(zhuǎn)換電路、均值濾波電路和A/D采集電路,I/V轉(zhuǎn)換電路與探測(cè)器模塊連接,A/D采集電路與反饋調(diào)節(jié)模塊連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述反饋調(diào)節(jié)模塊包括PID調(diào)節(jié)模塊和卡爾曼濾波器,所述PID調(diào)節(jié)模塊的輸出端和供電與控制模塊連接,所述PID調(diào)節(jié)模塊的輸入端與卡爾曼濾波器的輸出端連接,卡爾曼濾波器的輸入端和信號(hào)處理及采集模塊連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述UVLED光源模塊包括UVLED燈盤、散熱裝置和UVLED勻光光路,散熱裝置對(duì)UVLED燈盤進(jìn)行散熱,UVLED勻光光路對(duì)UVLED燈盤的出射光進(jìn)行均光。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述散熱裝置包括銅冷排,所述銅冷排上設(shè)置有多條獨(dú)立的流體通道,相鄰兩流體通道內(nèi)的冷卻液的流動(dòng)方向相反。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述流體通道內(nèi)設(shè)有的散熱柱。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種UVLED曝光光源強(qiáng)度穩(wěn)定裝置,其特征在于:所述銅冷排的散熱面上設(shè)置有用于放置溫度傳感器的凹槽。