一種顯示面板的間隔單元、光罩及顯示面板的制造方法與流程

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板的間隔單元、光罩及顯示面板的制造方法。

背景技術(shù)：

顯示器具有機(jī)身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有市場上的顯示器大部分為背光型顯示器，其包括顯示面板及背光模組(backlightmodule)。顯示面板的工作原理是在兩片平行的基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩片基板上施加驅(qū)動電壓來控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)方向，以將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。

其中，薄膜晶體管顯示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay，tft-lcd)由于具有低的功耗、優(yōu)異的畫面品質(zhì)以及較高的生產(chǎn)良率等性能，目前已經(jīng)逐漸占據(jù)了顯示領(lǐng)域的主導(dǎo)地位。同樣，薄膜晶體管顯示器包含顯示面板和背光模組，顯示面板包括彩膜基板(colorfiltersubstrate，cfsubstrate，也稱彩色濾光片基板)和薄膜晶體管陣列基板(thinfilmtransistorsubstrate，tftsubstrate)，上述基板的相對內(nèi)側(cè)存在透明電極。兩片基板之間夾一層液晶分子(liquidcrystal，lc)。顯示面板是通過電場對液晶分子取向的控制，改變光的偏振狀態(tài)，并藉由偏光板實現(xiàn)光路的穿透與阻擋，實現(xiàn)顯示的目的。

目前顯示面板行業(yè)中，往往為產(chǎn)出良好的間隔單元的高度，必須進(jìn)行制程的再現(xiàn)測試，經(jīng)過幾次的光罩穿透率修正或者是制程曝光能量的調(diào)整，使得獲得較佳的間隔單元的高度控制，浪費(fèi)相關(guān)測試成本或光罩開發(fā)成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種有效降低生產(chǎn)成本的顯示面板的間隔單元的制造方法。

此外，本發(fā)明還提供一種顯示面板。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：

一種顯示面板的間隔單元的制造方法，包括步驟：

設(shè)立多色調(diào)的第一光罩，所述第一光罩上設(shè)有至少兩個曝光單元；

利用第一光罩曝光形成多個測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)；

基于所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作用于生產(chǎn)顯示面板的第二光罩；

利用所述第二光罩制作所述顯示面板的間隔單元；

其中，所述利用第一光罩曝光形成測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：

將第一光罩架設(shè)于測試間隔材料上方；

在同一曝光條件下對測試間隔材料進(jìn)行曝光處理形成多個測試間隔單元；

記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)；

其中所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包含曝光能量、曝光單元的穿透率、曝光單元的開口尺寸及/或間隔單元尺寸。

其中，所述利用第一光罩曝光形成測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：

將第一光罩架設(shè)于測試間隔材料上方；

每個曝光單元對應(yīng)設(shè)定相互間隔的獨(dú)立光源；

在不同曝光條件下曝光形成多個所述測試間隔單元；

記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

其中，所述基于生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作用于生產(chǎn)顯示面板的第二光罩的步驟包括：

利用一算法處理生產(chǎn)數(shù)據(jù)；

計算得出生產(chǎn)需要的曝光能量、以及多色調(diào)的第二光罩的曝光單元的穿透率和開口尺寸；

生產(chǎn)第二光罩。

其中，所述顯示面板包括基板和設(shè)在基板上的透明電極層，所述利用所述第二光罩制作所述顯示面板的間隔單元的步驟包括：

在透明電極層上設(shè)置間隔單元材料；

采用所述第二光罩獲得間隔單元的圖案；

采用蝕刻液蝕刻獲得間隔單元。

其中，所述第一光罩的曝光單元的開口尺寸相同，任意兩個曝光單元的穿透率不同。

其中，所述第一光罩的曝光單元的開口尺寸相同，任意兩個曝光單元的穿透率不同。

其中，所述第一光罩有多個，多個第一光罩之間的曝光單元的開口尺寸各不相同，多個第一光罩的在同一位置的曝光單元的穿透率相同。

其中，所述第一光罩的曝光單元的穿透率相同，任意兩個曝光單元的開口尺寸不同。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還公開了一種光罩的制造方法，包括步驟：

在透光性的基板上形成半透光層；

在所述半透光層上形成蝕刻阻擋層；

在所述蝕刻阻擋層上形成遮光層；

通過蝕刻的方式形成與顯示面板間隔單元相對應(yīng)的曝光單元。

根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還公開了一種顯示面板的制造方法，所述制造方法包括：

提供一第一基板；

利用光罩在所述第一基板上形成間隔單元；

其中，所述光罩包括多個穿透率不同的曝光單元；

提供一第二基板；

組立所述第一基板以及所述第二基板，在所述第一基板以及第二基板之間形成一液晶層。

本發(fā)明由于在第一光罩上設(shè)置至少兩個曝光單元，利用第一光罩曝光形成多個測試間隔單元，在生產(chǎn)顯示面板之前，經(jīng)過一次或多次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，在實際生產(chǎn)過程中無須反復(fù)調(diào)整生產(chǎn)參數(shù)，只要根據(jù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)就能一次性調(diào)整到位，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保；在后續(xù)的顯示面板的生產(chǎn)中能夠通過精準(zhǔn)的控制曝光能量、曝光單元的透穿透率和曝光單元的開口尺寸實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制間隔單元尺寸，進(jìn)一步的提升間隔單元的高精細(xì)規(guī)格，從而更好的保持較佳的盒間間隙的均勻性，更好的降低顯示面板漏光的情況發(fā)生，進(jìn)一步的提高顯示面板的對比度；通過生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作符合要求的第二光罩，采用第二光罩近準(zhǔn)的控制曝光能量，能夠縮短間隔單元的生產(chǎn)時間，提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，進(jìn)一步的提高顯示面板的生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例的顯示面板的間隔單元制造方法的流程圖；

圖2是本發(fā)明實施例的顯示面板的間隔單元制造方法的流程圖；

圖3是本發(fā)明實施例的顯示面板的間隔單元制造方法的流程圖；

圖4是本發(fā)明實施例的顯示面板的間隔單元制造方法的流程圖；

圖5是本發(fā)明實施例的顯示面板的間隔單元制造方法的流程圖；

圖6是本發(fā)明實施例的第一光罩的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明實施例的第一光罩的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是本發(fā)明實施例的另一實施例方式顯示面板的剖面示意圖；

圖9是本發(fā)明實施例的另一實施例方式顯示面板的剖面示意圖；

圖10是本發(fā)明實施例的另一實施例方式顯示面板的剖面示意圖。

圖11是本發(fā)明實施例的光罩的制造方法的流程圖；

圖12是本發(fā)明實施例的顯示面板的制造方法流程示意圖。

其中：1、基板，2、主動開關(guān)，21、柵極，22、源極，23、漏極，24、半導(dǎo)體層，25、溝道，3、保護(hù)層，4、透明電極層，41、第一透明電極層，42、第二透明電極層，43、第三透明電極層，5、間隔單元，6、第一光罩，61、曝光單元。

具體實施方式

這里所公開的具體結(jié)構(gòu)和功能細(xì)節(jié)僅僅是代表性的，并且是用于描述本發(fā)明的示例性實施例的目的。但是本發(fā)明可以通過許多替換形式來具體實現(xiàn)，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋成僅僅受限于這里所闡述的實施例。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“橫向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。另外，術(shù)語“包括”及其任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

這里所使用的術(shù)語僅僅是為了描述具體實施例而不意圖限制示例性實施例。除非上下文明確地另有所指，否則這里所使用的單數(shù)形式“一個”、“一項”還意圖包括復(fù)數(shù)。還應(yīng)當(dāng)理解的是，這里所使用的術(shù)語“包括”和/或“包含”規(guī)定所陳述的特征、整數(shù)、步驟、操作、單元和/或組件的存在，而不排除存在或添加一個或更多其他特征、整數(shù)、步驟、操作、單元、組件和/或其組合。

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

如圖1所示，一種顯示面板的間隔單元的制造方法，包括步驟：

s11：設(shè)立多色調(diào)的第一光罩，所述第一光罩上設(shè)有至少兩個曝光單元；

s12：利用第一光罩曝光形成多個測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)；

s13：基于生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作用于生產(chǎn)顯示面板的第二光罩；

s14：利用所述第二光罩制作所述顯示面板的間隔單元；

其中，所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包含曝光能量、曝光單元的穿透率、曝光單元的開口尺寸及/或間隔單元尺寸。

由于在第一光罩上設(shè)置至少兩個曝光單元，利用第一光罩曝光形成多個測試間隔單元，在生產(chǎn)顯示面板之前，經(jīng)過一次或多次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，在實際生產(chǎn)過程中無須反復(fù)調(diào)整生產(chǎn)參數(shù)，只要根據(jù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)就能一次性調(diào)整到位，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保；在后續(xù)的顯示面板的生產(chǎn)中能夠通過精準(zhǔn)的控制曝光能量、曝光單元的穿透率和曝光單元的開口尺寸實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制間隔單元尺寸，進(jìn)一步的提升間隔單元的高精細(xì)規(guī)格，從而更好的保持較佳的盒間間隙的均勻性，更好的降低顯示面板漏光的情況發(fā)生，進(jìn)一步的提高顯示面板的對比度；通過生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作符合要求的第二光罩，采用第二光罩精準(zhǔn)的控制曝光能量，能夠有效的縮短間隔單元的生產(chǎn)時間，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，進(jìn)一步的提高顯示面板的生產(chǎn)效率。

如圖2所示，所述利用第一光罩曝光形成測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：

s21：將第一光罩架設(shè)于測試間隔材料上方；

s22：在同一曝光條件下對測試間隔材料進(jìn)行曝光處理形成多個測試間隔單元；

s23：記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

在測試間隔材料的上方設(shè)置第一光罩，通過在第一光罩上設(shè)置的多個不同穿透率或者不同開口尺寸的曝光單元，經(jīng)過一次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保。

如圖3所示，所述利用第一光罩曝光形成測試間隔單元，記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)的步驟包括：

s31：將第一光罩架設(shè)于測試間隔材料上方；

s32：每個曝光單元對應(yīng)設(shè)定相互間隔的獨(dú)立光源；

s33：在不同曝光條件下曝光形成多個所述測試間隔單元；

s34：記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

在測試間隔材料的上方設(shè)置第一光罩，由于每個曝光單元對應(yīng)設(shè)定相互間隔的獨(dú)立光源，可以方便的在每個曝光單元設(shè)定不同的曝光能量，控制曝光單元的穿透率和開口尺寸均相同，經(jīng)過一次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保。

示例的，在第一光罩上設(shè)置穿透率相同且開口尺寸相同的曝光單元，可依實際狀況，設(shè)定6種以上不等的曝光能量，30毫焦耳、40毫焦耳、50毫焦耳、60毫焦耳、70毫焦耳、80毫焦耳等，依照這些不同的曝光能量，搭配同一曝光單元61尺寸1.6x1.6和同一穿透率30％，即可因為曝光能量不同的間隔單元，測量并統(tǒng)計每個間隔單元尺寸數(shù)據(jù)，制作出不同穿透率對應(yīng)不同間隔單元的高度，間隔單元的上底長度和寬度，以及間隔單元的下底長度和寬度的數(shù)據(jù)，形成生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

當(dāng)然也可以在第一光罩上用一個光源，通過改變不同的曝光能量實現(xiàn)，這樣更加的節(jié)約測試成本，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率。

如圖4所示，所述基于生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作用于生產(chǎn)顯示面板的第二光罩的步驟包括：

s41：利用一算法處理生產(chǎn)數(shù)據(jù)；

s42：計算得出生產(chǎn)需要的曝光能量、以及多色調(diào)的第二光罩的曝光單元的穿透率和開口尺寸；

s43：生產(chǎn)第二光罩。

所述算法可以采用內(nèi)插法，根據(jù)實際的間隔單元尺寸需求，通過內(nèi)插法處理生產(chǎn)數(shù)據(jù)，計算得出生產(chǎn)需要的曝光能量、以及多色調(diào)的第二光罩的曝光單元的穿透率和開口尺寸，可以精確的控制間隔單元的尺寸，實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制間隔單元的高度和形狀，進(jìn)一步的提升間隔單元的高精細(xì)規(guī)格，保證更加精準(zhǔn)的間隔單元的高度、上底和下底的面積，以及更好的彈性回復(fù)率，從而更好的保持較佳的盒間間隙的均勻性，更好的降低顯示面板漏光的情況發(fā)生，進(jìn)一步的提高顯示面板的對比度，進(jìn)而有效的提高顯示面板的顯示品質(zhì)，保證顯示面板更好的顯示效果。

如圖5所示，所述顯示面板包括基板和設(shè)在基板上的透明電極層，所述利用所述第二光罩制作所述顯示面板的間隔單元的步驟包括：

s51：在透明電極層上設(shè)置間隔單元材料；

s52：采用所述第二光罩獲得間隔單元的圖案；

s53：采用蝕刻液蝕刻獲得間隔單元。

將間隔單元材料設(shè)在透明電極層上，通過生產(chǎn)數(shù)據(jù)制作符合要求的第二光罩，采用第二光罩近準(zhǔn)的控制曝光能量，能夠有效的縮短間隔單元的生產(chǎn)時間，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，進(jìn)一步的提高顯示面板的生產(chǎn)效率；而且能夠通過精準(zhǔn)的控制曝光能量和光罩的透光率實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制間隔單元的高度和形狀，進(jìn)一步的提升間隔單元的高精細(xì)規(guī)格，保證更加精準(zhǔn)的間隔單元的高度、上底和下底的面積，以及更好的彈性回復(fù)率，從而更好的保持較佳的盒間間隙的均勻性，更好的降低顯示面板漏光的情況發(fā)生，進(jìn)一步的提高顯示面板的對比度，有效的改善點燈出現(xiàn)暗點，使得顯示面板顯示效果更好，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示品質(zhì)。

如圖6所示，所述第一光罩6的曝光單元61的開口尺寸相同，任意兩個曝光單元61的穿透率不同。經(jīng)過一次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保。示例的，在第一光罩6上設(shè)置開口尺寸相同且穿透率不同的曝光單元61，可依實際狀況，開發(fā)6至9種以上不等的穿透范圍，例如6％、12％、18％、24％、30％、36％、42％、48％、54％等，依照這些不同的穿透率數(shù)值，搭配同一曝光條件，例如50毫焦耳下，即可因為不同穿透率造成光阻吸收能力不同，進(jìn)而產(chǎn)生不同的間隔單元，測量并統(tǒng)計每個間隔單元尺寸數(shù)據(jù)，制作出不同穿透率對應(yīng)不同間隔單元的高度，間隔單元的上底長度和寬度，以及間隔單元的下底長度和寬度的數(shù)據(jù)，形成生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

其中，所述第一光罩6有多個，多個第一光罩6之間的曝光單元61的開口尺寸各不相同，多個第一光罩6的在同一位置的曝光單元61的穿透率相同。示例的，第一光罩6設(shè)三個，其中一個第一光罩6的曝光單元61的開口尺寸都是0.8x0.8mm，其中另一個第一光罩6的曝光單元61的開口尺寸都是1.2x1.2mm，其中還有一個第一光罩6的曝光單元61的開口尺寸都是1.6x1.6mm，而且三張第一光罩6在都設(shè)有6種不同的穿透范圍，分別為6％、12％、18％、24％、30％、36％；這樣能夠方便的在不同的曝光能量下進(jìn)行測試并收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)，更加有效的節(jié)約測試時間，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率。

如圖7所示，所述第一光罩6的曝光單元61的穿透率相同，任意兩個曝光單元61的開口尺寸不同。經(jīng)過一次曝光就可以方便的獲得多組生產(chǎn)數(shù)據(jù)，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間以及降低測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；有效的減少光罩開立的次數(shù)，進(jìn)一步的減少材料的浪費(fèi)，可以更加的節(jié)約生產(chǎn)成本，更加的綠色環(huán)保。示例的，在第一光罩6上設(shè)置穿透率相同均為12％，開口尺寸不同的曝光單元61，依實際狀況開發(fā)10種不等的開口尺寸，開口尺寸的單位為毫米，開口尺寸分別0.8x0.8mm、1x1mm、1.2x1.2mm、1.4x1.4mm、1.6x1.6mm、1.8x1.8mm、2x2mm、2.2x2.2mm、2.4x2.4mm、2.6x2.6mm，依照這些不同的開口尺寸數(shù)值，搭配同一曝光條件，例如50毫焦耳下，即可因為不同開口尺寸產(chǎn)生不同的間隔單元，測量并統(tǒng)計每個間隔單元尺寸數(shù)據(jù)，制作出不同穿透率對應(yīng)不同間隔單元的高度，間隔單元的上底長度和寬度，以及間隔單元的下底長度和寬度的數(shù)據(jù)。

示例的，在第一光罩6上設(shè)置穿透率相同均為17％，開口尺寸不同的曝光單元61，依實際狀況開發(fā)10種不等的開口尺寸，開口尺寸的單位為毫米，開口尺寸分別0.8x0.8mm、1x1mm、1.2x1.2mm、1.4x1.4mm、1.6x1.6mm、1.8x1.8mm、2x2mm、2.2x2.2mm、2.4x2.4mm、2.6x2.6mm，依照這些不同的開口尺寸數(shù)值，搭配同一曝光條件，例如60毫焦耳下，即可因為不同開口尺寸產(chǎn)生不同的間隔單元，測量并統(tǒng)計每個間隔單元尺寸數(shù)據(jù)，制作出不同穿透率對應(yīng)不同間隔單元的高度，間隔單元的上底長度和寬度，以及間隔單元的下底長度和寬度的數(shù)據(jù)。

其中，所述第一光罩6有多個，多個第一光罩6之間的曝光單元61的穿透率各不相同，多個第一光罩6的在同一位置的曝光單元61開口尺寸相同，示例的，第一光罩6設(shè)三個，其中一個第一光罩6的曝光單元61的穿透率相同都是6％，其中另一個第一光罩6的曝光單元61的穿透率相同都是18％，其中還有一個第一光罩6的曝光單元61的穿透率相同都是30％，而且三張第一光罩6在都設(shè)有6種不同的曝光單元61的開口尺寸，分別為0.8x0.8mm、1x1mm、1.2x1.2mm、1.4x1.4mm、1.6x1.6mm、1.8x1.8mm，開口尺寸的單位為毫米；這樣能夠方便的在不同的曝光能量下進(jìn)行測試并收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)，更加有效的節(jié)約測試時間，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率。

其中，所述間隔單元尺寸包括間隔單元的高度，間隔單元的上底長度和寬度，以及間隔單元的下底長度和寬度。

如圖8所示，主動開關(guān)2包括柵極21，柵極21設(shè)在基板1上，柵極21上設(shè)有絕緣層，絕緣層上對應(yīng)柵極21設(shè)有半導(dǎo)體層24，半導(dǎo)體層24兩端上設(shè)有分隔的主動開關(guān)2的源極22和漏極23，源極22和漏極23之間設(shè)有溝道25，溝道25底部為半導(dǎo)體層24。

保護(hù)層3能夠有效的避免清洗劑對液晶面板的源極22和漏極23的直接腐蝕，使得源極22和漏極23能夠保持完好，從而減少產(chǎn)生斷線問題，進(jìn)而提升主動開關(guān)陣列基板1的制作成功率進(jìn)而降低報廢成本；由于源極22和漏極23為金屬材料制成，源極22和漏極23的側(cè)邊從微結(jié)構(gòu)來看都有金屬毛刺的現(xiàn)象，通過保護(hù)層3的設(shè)置，能夠更好的對源極22和漏極23上的金屬毛刺進(jìn)行覆蓋，有效的防止金屬毛刺裸露在保護(hù)層3外，使得保護(hù)層3能夠更好的對源極22和漏極23進(jìn)行保護(hù)，有效的避免后續(xù)的制程對源極22和漏極23的影響，從而提高顯示面板的良品率。

在某些實施方式中，可以將保護(hù)層3設(shè)置兩層，分別為第一保護(hù)層和第二保護(hù)層，第一保護(hù)層覆蓋設(shè)在基板1上，第二保護(hù)層覆蓋設(shè)在第一保護(hù)層上，能夠更好的對金屬層上的金屬毛刺進(jìn)行覆蓋，第一保護(hù)層能夠有效的對金屬毛刺進(jìn)行覆蓋，第二保護(hù)層能夠有效的對裸露在第一保護(hù)層上的金屬毛刺進(jìn)行覆蓋，非有效的防止金屬毛刺裸露在保護(hù)層3外，使得保護(hù)層3能夠更好的對金屬層進(jìn)行保護(hù)，能夠有效的避免清洗劑對液晶面板的金屬層的直接腐蝕，使得金屬層能夠保持完好，從而避免產(chǎn)生斷線問題，進(jìn)一步的提高了顯示面板的耐用性；同時采用保護(hù)層3的設(shè)置能夠很好提高顯示面板的良品率，而不需要將主動開關(guān)2陣列基板1進(jìn)行報廢處理，更加的綠色環(huán)保。

透明電極層4設(shè)在間隔單元5和主動開關(guān)2之間，只需要在透明電極層4的制程光罩設(shè)計特定的位置進(jìn)行曝光，就能夠設(shè)置透明電極層4，保證成本不變的情況下使得間隔單元5可以的到更好的支撐，保證顯示面板的更好的顯示品質(zhì)；不需要額外的原材料，降低原材料成本、存儲成本，物料清單不需要增加新的材料，方便流程管理和采購，不需要額外的設(shè)備設(shè)置透明電極層4，可以與像素電極的透明電極層4共用一套設(shè)備，后期蝕刻也不需要額外的設(shè)備和材料。

間隔單元5橫跨溝道25設(shè)置，這樣間隔單元5可以在溝道25的兩端形成有效的支撐，使得間隔單元5可以更加穩(wěn)定的設(shè)置在透明電極層4上，能夠有效的防止間隔單元5發(fā)生位移，保證了液晶盒內(nèi)的液晶能夠有效的進(jìn)行工作，從而保證顯示面板的顏色和亮度更加的均勻，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示效果，使得產(chǎn)品競爭力更好的得到提升；而且間隔單元5的橫截面為四邊形，能夠有效的防止間隔單元5的滾動，使得間隔單元5可以有效的固定在主動開關(guān)2上，而且很好的克服了球形的間隙材料容易聚集的情況，從而有效的避免壞點和彩色濾光片的損壞，更好的對彩色濾光片進(jìn)行有效的保護(hù)，進(jìn)一步的提高了顯示面板的耐用性，使得顯示面板的使用壽命更長。

間隔單元5與透明電極層4相接觸的一端的寬度大于另一端的寬度，即間隔單元5底部寬度大于頂部，使得柵極21的制作更加的方便，成型更加穩(wěn)定，良品率更高，而且使得間隔單元5底部的接觸面積更大，保證了更好的粘接效果，使得間隔單元5的固定更加的牢固，其中間隔單元5的截面優(yōu)選為梯形，特別是等腰梯形，使得在后段偏貼制程/薄化制程/按壓測試等環(huán)節(jié)中，有效的減少外力作用在間隔單元5上進(jìn)而對主動開關(guān)2進(jìn)行擠壓作用，保證主動開關(guān)2電性表現(xiàn)更好，有效的減少出現(xiàn)點燈暗點或按壓暗點。

間隔單元5包含兩種光起始劑；間隔單元5包含兩種光起始劑的感光間隔材料，在不同的穿透率的多色調(diào)光罩情況下，可以通過調(diào)整縮小曝光能量來調(diào)整和控制間隔單元5的形狀大小，無需再浪費(fèi)光罩開立成本，可得到精準(zhǔn)的穿透率設(shè)計值，同時可控制曝光能量，能夠有效的縮短工藝生產(chǎn)時間及測試成本，更好的提高顯示面板的產(chǎn)能和產(chǎn)出，有效的簡化顯示面板的生產(chǎn)流程，更好的顯示面板的生產(chǎn)效率；而且能夠通過精準(zhǔn)的控制曝光能量和光罩的透光率實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制間隔單元5的高度和形狀，進(jìn)一步的提升間隔單元5的高精細(xì)規(guī)格，保證更加精準(zhǔn)的間隔單元5的高度、上底和下底的面積，以及更好的彈性回復(fù)率，從而更好的保持較佳的盒間間隙的均勻性，更好的降低顯示面板漏光的情況發(fā)生，進(jìn)一步的提高顯示面板的對比度；而且由于感光間隔材料具有較好的硬度，能夠保有效的支撐性能，液晶盒內(nèi)的液晶能夠有效的進(jìn)行工作，從而保證顯示面板的顏色和亮度更加的均勻，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示效果，而且能夠很好的減少對主動開關(guān)2電性的影響，進(jìn)一步的改善點燈出現(xiàn)暗點，使得顯示面板顯示效果更好，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示品質(zhì)。

感光間隔材料具有良好的耐熱性和優(yōu)越的耐化學(xué)腐蝕性，保證顯示面板能夠很好的進(jìn)行工作，進(jìn)一步的保證了顯示面板的品質(zhì)；間隔單元5具有高的透光率和對比度，從而保證顯示面板的顏色和亮度更加的均勻，有效的提升顯示面板的品質(zhì)；同時間隔單元5與透明電極層之間具有良好的粘接力，使得間隔單元5更好的被固定，有效的避免間隔單元5發(fā)生位移，保證了液晶盒內(nèi)的液晶能夠有效的進(jìn)行工作，從而保證顯示面板的顏色和亮度更加的均勻，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示效果，使得產(chǎn)品競爭力更好的得到提升；感光間隔材料為高分子樹脂混合物，具有光敏性，其制造方法為：將感光間隔材料涂布在透明電極層上，經(jīng)過曝光、顯影、烘烤等步驟的到所需厚度和形狀的間隔單元5，然后將具有間隔單元5的基板1與另一基板1直接貼合，兩個間隔單元5之間即形成液晶盒；通過光刻過程去控制間隔單元5的形狀，通過控制光罩的形狀和控制光罩的時間，從而能夠有效的控制間隔單元5所述的厚度和形狀，保證了間隔單元5能夠提供有效的支撐性能，有效的改善后續(xù)制程中外力作用在間隔單元5上導(dǎo)致主動開關(guān)2發(fā)生形變，而且能夠很好的減少對主動開關(guān)2電性的影響，進(jìn)一步的改善點燈出現(xiàn)暗點，使得顯示面板顯示效果更好，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示品質(zhì)。

如圖9所示，該實施方式提供的顯示面板包括：基板1、設(shè)置在基板1上的主動開關(guān)2，覆蓋設(shè)置在主動開關(guān)2上的保護(hù)層3，主動開關(guān)2上設(shè)置有間隔單元5，間隔單元5設(shè)在保護(hù)層3上，間隔單元5與保護(hù)層3的相對面之間設(shè)有第一透明電極層41，第一透明電極層41沿所述間隔單元5在保護(hù)層3上的正投影區(qū)域設(shè)置，能夠有效的起到支撐作用的同時有效的節(jié)省耗材，有利于進(jìn)一步的降低顯示面板的生產(chǎn)成本，有效的提升顯示面板的市場競爭力，能夠有效的對間隔單元5進(jìn)行支撐，有效的減小在后續(xù)制程中外力作用在間隔單元5上導(dǎo)致主動開關(guān)2發(fā)生形變，而且能夠很好的減少對主動開關(guān)2電性的影響，進(jìn)一步的改善點燈出現(xiàn)暗點，使得顯示面板顯示效果更好，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示品質(zhì)。

間隔單元5與第一透明電極層41相接觸的一端的寬度大于另一端的寬度，即間隔單元5底部寬度大于頂部，使得柵極21的制作更加的方便，成型更加穩(wěn)定，良品率更高，而且使得間隔單元5底部的接觸面積更大，保證了更好的粘接效果，使得間隔單元5的固定更加的牢固，其中間隔單元5的截面優(yōu)選為梯形，特別是等腰梯形，使得在后段偏貼制程/薄化制程/按壓測試等環(huán)節(jié)中，有效的減少外力作用在間隔單元5上進(jìn)而對主動開關(guān)2進(jìn)行擠壓作用，保證主動開關(guān)2電性表現(xiàn)更好，有效的減少出現(xiàn)點燈暗點或按壓暗點。

如圖10所示，該實施方式提供的顯示面板包括：基板1、設(shè)置在基板1上的主動開關(guān)2，覆蓋設(shè)置在主動開關(guān)2上的保護(hù)層3，主動開關(guān)2上設(shè)置有間隔單元5，間隔單元5設(shè)在保護(hù)層3上，間隔單元5與保護(hù)層3的相對面之間設(shè)有透明電極層4，透明電極層4包括第二透明電極層42和第三透明電極層43，溝道25設(shè)在第二透明電極層42和第三透明電極層43之間，第二透明電極層42設(shè)在源極22上方的保護(hù)層3上，第三透明電極層43設(shè)在漏極23上方的保護(hù)層3上，第二透明電極層42和第三透明電極層43對間隔單元5進(jìn)行支撐，能夠有效的對間隔單元5進(jìn)行支撐，有效的減小在后續(xù)制程中外力作用在間隔單元5上導(dǎo)致主動開關(guān)2發(fā)生形變，而且能夠很好的減少對主動開關(guān)2電性的影響，進(jìn)一步的改善點燈出現(xiàn)暗點，使得顯示面板顯示效果更好，進(jìn)一步的提高了顯示面板的顯示品質(zhì)；而且這種將透明電極層4設(shè)在溝道25的兩端能夠有效的降低制作難度，只需要在透明電極層4的制程光罩設(shè)計特定的位置進(jìn)行曝光，保證成本不變的情況下使得間隔單元5可以的到更好的支撐，保證顯示面板的更好的顯示品質(zhì)；不需要額外的原材料，降低原材料成本、存儲成本，物料清單不需要增加新的材料，方便流程管理和采購，不需要額外的設(shè)備設(shè)置透明電極層4，后期蝕刻也不需要額外的設(shè)備和材料。

如圖11所示，根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本實施方式還公開了一種光罩的制造方法，其特征在于，包括步驟：

s61：在透光性的基板上形成半透光層；

s62：在所述半透光層上形成蝕刻阻擋層；

s63：在所述蝕刻阻擋層上形成遮光層；

s64：通過蝕刻的方式形成與顯示面板間隔單元相對應(yīng)的多個穿透率不同的曝光單元。

本實施方式對應(yīng)的光罩為前述實施例的第二光罩，可直接用于顯示面板的制造過程。

如圖12所示，根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還公開了一種顯示面板的制造方法，所述制造方法包括：

s71、提供一第一基板；

s72、利用光罩在所述第一基板上形成間隔單元；

其中，所述光罩包括多個穿透率不同的曝光單元；

s73、提供一第二基板；

s74、組立所述第一基板以及所述第二基板，在所述第一基板以及第二基板之間形成一液晶層。

本實施方式對應(yīng)的光罩為前述實施例的第二光罩，可直接用于顯示面板的制造過程。

在上述實施例中，所述基板1的材料可以選用玻璃、塑料等。

在上述實施例中，顯示面板包括液晶面板、等離子面板等，以液晶面板為例，液晶面板包括陣列基板和彩膜基板(cf)，所述陣列基板與彩膜基板相對設(shè)置，所述陣列基板上設(shè)有薄膜晶體管(tft)，彩膜基板上設(shè)有彩色濾光層。

在上述實施例中，彩膜基板可包括tft陣列，彩膜及tft陣列可形成于同一基板上，陣列基板可包括彩色濾光層。

該顯示面板可以為tn、ocb、va型、曲面型液晶顯示面板，但并不限于此。該顯示面板可以運(yùn)用直下背光，背光源可以為白光、rgb三色光源、rgbw四色光源或者rgby四色光源，但并不限于此。

在上述實施例中，本發(fā)明的顯示面板可為曲面型面板。

以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實施方式對本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實施只局限于這些說明。對于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。