密封門裝置的制作方法

本發明涉及液晶顯示面板制造領域，尤其涉及一種液晶顯示面板測量設備的密封門。

背景技術：

伴隨液晶顯示技術正在向高端精細方向發展，對于ltps(lowtemperaturepoly-silicon，簡稱：低溫多晶硅)產品而言，黑色矩陣的線寬從10um到現在4～5um，規格要求越來越細，并且曝光遮罩的形狀精度和位置精度的要求從4～5um到現在1.5～2um。對檢測設備的精度也就要求更高，線寬檢測精度在0.05um以內，精密測長機精度要求在0.3um，因此不僅需要對設備進行防震、測量鏡頭精度校準，而且最重要的是測量基板需放置于密閉恒溫恒濕室中，對設備的溫度要求在±0.1℃，防止溫度對精密測長機測量誤差帶來較大影響。

通常無塵室的溫度控制在23±0.5℃，精密測長機設備量測時，密封門打開，機械手將玻璃基板搬送到精密測長機腔室內，這一過程中腔室內與外界是相通的，若密封門關閉不夠緊密，外界溫度的變化對精密測長機的精度總是會有影響。

現有技術的精密測長機，用于封閉腔室的密封門為雙開門設計，并且需要在精密測長機的表面設置軌道，軌道中存在縫隙，難以實現對腔室的緊密封閉，而且，密封門在開啟及關閉的過程中，兩扇門相對運動，兩門之間空氣流速加快，從而加速了腔室內外空氣交換，導致腔室內溫度不穩定，進一步影響精密測長機的測量精度。

技術實現要素：

本發明提供一種密封門裝置，為一體式密封門，能夠對精密測長機的腔室進行較好地密封，以解決雙開門式密封門的軌道設計會影響腔室密封效果，導致腔室內溫度不穩定，進而影響測量精度的技術問題。

為解決上述問題，本發明提供的技術方案如下：

本發明提供一種密封門裝置，用于對精密測長機的基板進出口進行密閉，其特征在于，包括：

一密封門，貼附于所述基板進出口所在平面，且可平移至所述基板進出口；以及

驅動機構，包括有驅動電機、齒輪以及連接于所述密封門兩端的驅動螺桿；其中，

所述驅動電機連接所述齒輪，位于所述密封門至少一端的所述驅動螺桿套接于所述齒輪的中心，通過齒輪驅動所述驅動螺桿以自身中心線為軸旋轉，使得所述密封門在所述驅動螺桿上移動。

根據本發明一優選實施例，所述密封門在所述基板進出口所在平面上垂直移動。

根據本發明一優選實施例，所述密封門的一端螺接第一驅動螺桿，所述密封門的相對另一端螺接第二驅動螺桿，所述第一驅動螺桿與所述第二驅動螺桿相互平行，并且，所述第一驅動螺桿與所述第二驅動螺桿均垂直于所述精密測長機底部。

根據本發明一優選實施例，所述驅動電機的輸出軸連接第一齒輪，所述第一驅動螺桿套接于第二齒輪的中心，所述第一齒輪與所述第二齒輪相嚙合。

根據本發明一優選實施例，所述第一驅動螺桿與所述第二驅動螺桿之間通過傳動機構連接；其中

所述傳動機構包括：

第一傘形齒輪，套接于所述第一驅動螺桿上；

第二傘形齒輪，與所述第一傘形齒輪相嚙合，以改變所述第一傘形齒輪的傳動方向；

第三傘形齒輪，套接于所述第二驅動螺桿上；

第四傘形齒輪，與所述第三傘形齒輪相嚙合，以驅動所述第三傘形齒輪運轉；以及

傳動連桿，垂直于所述第一驅動螺桿及第二驅動螺桿，所述傳動連桿的一端連接所述第二傘形齒輪，所述傳動連桿的相對另一端連接所述第四傘形齒輪。

根據本發明一優選實施例，所述基板進出口所在平面上，位于所述密封門行程的一端設置有第一擋板，所述第一擋板內側設置有第一緩沖墊，位于所述密封門行程的另一端設置有第二擋板，所述第二擋板內側設置有第二緩沖墊。

根據本發明一優選實施例，所述基板進出口所在平面上設置有止位傳感器，所述密封門上設置有與所述止位傳感器相匹配的識別器，所述止位傳感器電性連接所述驅動機構。

根據本發明一優選實施例，所述密封門的端部設置有連接套筒，所述連接套筒內表面形成有螺紋，所述連接套筒套設于所述驅動螺桿上，且與所述驅動螺桿螺接。

根據本發明一優選實施例，所述密封門朝向所述基板進出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板進出口的外部。

根據本發明一優選實施例，所述密封門端部的斜面與所述密封門外表面的連接處形成圓弧過渡面。

本發明的有益效果為：相較于現有的密封門，本發明所提供的一體式密封門，貼附于機體表面設置，密閉時具有較佳的密封效果，密封門及驅動機構結構簡單，便于拆洗；解決了雙開門式密封門的軌道設計會影響腔室密封效果，導致腔室內溫度不穩定，進而影響測量精度的技術問題。

附圖說明

為了更清楚地說明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明密封門裝置結構示意圖。

具體實施方式

以下各實施例的說明是參考附加的圖示，用以例示本發明可用以實施的特定實施例。本發明所提到的方向用語，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[內]、[外]、[側面]等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發明，而非用以限制本發明。在圖中，結構相似的單元是用以相同標號表示。

本發明針對現有的雙開門式密封門，軌道的設計會影響腔室密封效果，導致腔室內溫度不穩定，進而影響測量精度的技術問題，本實施例能夠解決該缺陷。

本發明所提供的密封門裝置，包括：一密封門，用于封閉精密測長機的基板進出口，所述基板進出口開設于所述精密測長機的一側表面，所述基板進出口用于基板的進入及移出；所述密封門貼附于所述基板進出口所在平面，且可貼附在平面上平移至所述基板進出口；以及驅動機構，包括有驅動電機、齒輪以及連接于所述密封門兩端的驅動螺桿；其中，所述驅動電機連接所述齒輪，位于所述密封門至少一端的所述驅動螺桿套接于所述齒輪的中心，通過齒輪驅動所述驅動螺桿以自身中心線為軸旋轉，使得所述密封門在所述驅動螺桿上移動。

如圖1所示，本發明實施例的密封門裝置，包括一體式的密封門101，所述密封門101貼附于精密測長機102的一側表面，基板進出口103開設于所述精密測長機102一側表面，且與所述密封門101位于所述精密測長機102的同一側；所述密封門101貼附于所述精密測長機102表面平移；所述基板進出口103在打開時，所述密封門101平移至所述基板進出口103的一端，所述基板進出口103需要關閉時，所述密封門101平移至所述基板進出口103所在區域，并覆蓋所述基板進出口103。

所述密封門101由驅動機構驅動平移。

所述驅動機構包括：第一驅動螺桿104，位于所述密封門101的一端，通過第一固定件105與所述密封門101連接，所述第一固定件105螺接于所述第一驅動螺桿104；第二驅動螺桿106，位于所述密封門101的相對另一端，通過第二固定件107與所述密封門101連接；所述第二固定件107螺接于所述第二驅動螺桿106；所述第一驅動螺桿104與所述第二驅動螺桿106相互平行，并且，所述第一驅動螺桿104與所述第二驅動螺桿106垂直于所述精密測長機102的底部；例如，所述第一驅動螺桿104與所述第二驅動螺桿106位于所述精密測長機102邊緣的外側，以避免驅動螺桿阻擋所述密封門101與所述基板進出口103所在平面之間的貼合，又如，所述第一驅動螺桿104與所述第二驅動螺桿106位于所述密封門101貼附面的另一面，同樣能解決所述密封門101與所述基板進出口103所在平面之間的貼合問題。

所述第一固定件105、第二固定件107為固定于所述密封門101端部的連接套筒，所述連接套筒內表面形成有螺紋，所述連接套筒套設于驅動螺桿上，且與驅動螺桿螺接。

通過驅動所述第一驅動螺桿104與第二驅動螺桿106的至少一驅動螺桿旋轉，可使所述密封門101移動；螺接于驅動螺桿的固定件，其內表面的螺紋為靜止狀態，且固定件的外部與所述密封門101固定連接，使得固定件內表面的螺紋與驅動螺桿外表面的螺紋形成抵觸，當驅動螺桿旋轉時，驅動螺桿外表面的螺紋為傳動狀態，逼迫固定件在驅動螺桿上移動，通過控制驅動螺桿向不同方向旋轉以控制固定件的移動方向，進而實現密封門101對基板進出口103的開閉。

所述第一驅動螺桿104的旋轉通過驅動電機驅動，所述驅動電機可以為伺服馬達108；進一步，所述伺服馬達108的輸出軸連接第一齒輪，所述第一齒輪嚙合有第二齒輪，所述第一驅動螺桿104貫穿所述第二齒輪的中心，并與所述第二齒輪固定連接，所述第二齒輪的位置遠離所述基板進出口103；所述伺服馬達108驅動所述第一齒輪旋轉，所述第一齒輪帶動所述第二齒輪旋轉，進而使所述第一驅動螺桿104旋轉；所述第一齒輪與所述第二齒輪位于第一齒輪箱109，用以固定所述第一齒輪與所述第二齒輪的位置。

例如，所述第二驅動螺桿106的旋轉也可通過驅動電機驅動，具體結構及工作原理與所述第一驅動螺桿104的驅動方式相同，此處不再贅述。

又如，所述第二驅動螺桿106藉由所述第一驅動螺桿104的動力傳動；所述第二驅動螺桿106通過傳動機構連接所述第一驅動螺桿104；其中，所述所述傳動機構包括：第一傘形齒輪，套接于所述第一驅動螺桿104上；第二傘形齒輪，與所述第一傘形齒輪相嚙合，以改變所述第一傘形齒輪的傳動方向；第三傘形齒輪，套接于所述第二驅動螺桿106上；第四傘形齒輪，與所述第三傘形齒輪相嚙合，以驅動所述第三傘形齒輪運轉；以及傳動連桿112，垂直于所述第一驅動螺桿104及第二驅動螺桿106，所述傳動連桿112的一端連接所述第二傘形齒輪，所述傳動連桿112的相對另一端連接所述第四傘形齒輪；所述第一傘形齒輪與所述第二傘形齒輪位于第二齒輪箱110，用于固定所述第一傘形齒輪與所述第二傘形齒輪的位置；所述第三傘形齒輪與所述第四傘形齒輪位于第三齒輪箱111，用以固定所述第三傘形齒輪與所述第四傘形齒輪的位置。

在驅動所述密封門101移動時，所述伺服馬達108驅動所述第一驅動螺桿104轉動，使得套接于所述第一驅動螺桿104上的第一傘形齒輪轉動，所述第一傘形齒輪帶動與其相嚙合的第二傘形齒輪轉動，所述第二傘形齒輪帶動所述傳動連桿112旋轉，同時，所述傳動連桿112帶動位于其另一端的第四傘形齒輪轉動，所述第四傘形齒輪帶動與其相嚙合的第三傘形齒輪轉動，與所述第三傘形齒輪固定連接的第二驅動螺桿106旋轉，進而帶動螺接于所述第二驅動螺桿106上的連接套筒移動，從而配合所述第一驅動螺桿104驅動所述密封門101移動。

在所述基板進出口103所在平面、且位于所述密封門101行程的一端設置第一擋板，在所述第一擋板內側設置第一緩沖墊，在位于所述密封門101行程的另一端設置第二擋板，在所述第二擋板內側設置第二緩沖墊；在所述密封門101兩個方向的止位端分別設置一緩沖墊，以保護密封門101邊緣免受撞擊。

在所述基板進出口103所在平面上設置止位傳感器，在所述密封門101上設置與所述止位傳感器相匹配的識別器，所述止位傳感器電性連接所述驅動機構；從而，當所述密封門101上升至能夠封閉所述基板進出口103的位置時，所述密封門101上的識別器與所述止位傳感器近距離接觸以完成適配，所述止位傳感器將適配信息發送至控制端，所述控制端使所述伺服馬達108停止運行；當需要開啟所述基板進出口103時，可驅動所述第一驅動螺桿104反轉，進而使所述密封門101下降至止位點。

將所述密封門101朝向所述基板進出口103的一端設置為斜面，并使所述斜面朝向所述基板進出口103的外部，因此，通過縮小所述密封門101端部的面積，以減小所述密封門101在移動過程中對空氣流速的影響，進而減緩所述精密測長機102的腔室內外空氣的交換，以穩定所述腔室內的溫度。

優選的，所述密封門101端部的斜面與所述密封門101外表面的連接處形成圓弧過渡面，空氣過渡平滑，從而減小所述斜面與所述密封門101外表面的連接處對空氣流速的影響。

有益效果為：相較于現有的雙開門式密封門，本發明所提供的一體式密封門，貼附于機體表面設置，密閉時具有較佳的密封效果，密封門及驅動機構結構簡單，便于拆洗；解決了雙開門式密封門的軌道設計會影響腔室密封效果，導致腔室內溫度不穩定，進而影響測量精度的技術問題。

綜上所述，雖然本發明已以優選實施例揭露如上，但上述優選實施例并非用以限制本發明，本領域的普通技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，均可作各種更動與潤飾，因此本發明的保護范圍以權利要求界定的范圍為準。