光伏制程顯微鏡的制作方法

本實用新型涉及一種光伏制程顯微鏡，尤其是一種具有新型臺面的光伏制程顯微鏡。

背景技術：

光伏制程顯微鏡用于光伏電池制絨、刻蝕、絲網、光刻、分檢工序，現有的光伏制程顯微鏡的臺面主要構件如圖1所示：包括包漆臺面1a，包漆臺面1a的下邊沿通過固定螺釘2a與連接條3a連接，連接條3a上設置連接螺栓4a，連接螺栓4a用于將包漆臺面1a與顯微鏡載物臺一側的移動條5a固定。

現有的顯微鏡的臺面主要存在以下缺陷：（1）由于包漆臺面1a長期使用，漆面磨損金屬面露出，暴露的金屬面與制程中的硅片摩擦，使硅片表面沾污金屬引入制程，污染硅片和產線槽體，產生不良品；（2）此外在放置硅片樣品時極易與突起的螺釘和連接螺栓發生碰撞和摩擦，另外連接條3a與包漆臺面1a的連接處形成臺階，也會與硅片樣品發生碰撞和摩擦，這些都會造成硅片電池劃痕、崩邊、脫硅、斷裂等，使用不便，使不良品增多。

技術實現要素：

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種光伏制程顯微鏡，解決現有顯微鏡用于光伏制程時的不便，降低不良品率。

按照本實用新型提供的技術方案，所述光伏制程顯微鏡，包括顯微鏡機架，在顯微鏡機架上安裝載物臺，載物臺上方的機架上安裝鏡筒和物鏡旋轉座，物鏡旋轉座上安裝物鏡；其特征是：在所述載物臺的前側安裝移動條，在載物臺上放置臺面，臺面的兩表面均為平整的表面，臺面通過雙面膠與移動條固定。

進一步的，所述移動條的上表面與載物臺的上表面平行布置。

進一步的，所述臺面采用兩面平整的有機玻璃板。

進一步的，所述臺面采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板。

本實用新型所述的光伏制程顯微鏡，解決了現有技術中顯微鏡臺面材質和結構的缺陷，保證臺面光潔平整，無臺階，樣品放置過程方便快捷，減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷，而使產品不良率降低；而本實用新型所述的顯微鏡改造方便，造價低廉，耐磨不易壞。

附圖說明

圖1為現有顯微鏡的臺面結構示意圖。

圖2為圖1的側視圖。

圖3為本實用新型所述光伏制程顯微鏡的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖3所示：所述光伏制程顯微鏡包括顯微鏡機架1、載物臺2、鏡筒3、物鏡旋轉座4、物鏡5、移動條6、臺面7、雙面膠8等。

如圖3所示，本實用新型所述光伏制程顯微鏡，包括顯微鏡機架1，在顯微鏡機架1上安裝載物臺2，載物臺2上方的機架1上安裝鏡筒3和物鏡旋轉座4，物鏡旋轉座4上安裝物鏡5；在所述載物臺2的前側安裝移動條6，移動條6的上表面與載物臺2的上表面平行布置；在所述載物臺2上放置臺面7，臺面7的兩表面均為平整的表面，臺面7通過雙面膠8與移動條6固定。

所述臺面7采用兩面平整的有機玻璃板，臺面7采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板，采用非金屬材質能夠杜絕金屬污染，提高產品質量。

本實用新型解決了現有技術中顯微鏡臺面材質和結構的缺陷，保證臺面光潔平整，無臺階，樣品放置過程方便快捷，減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷，而使產品不良率降低；而本實用新型所述的顯微鏡改造方便，造價低廉，耐磨不易壞。