具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機的制作方法

本發明涉及的是具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，屬于機械設備技術領域。

背景技術：

涂布機使用的光刻膠（光阻）經過VCD（真空干燥機臺）動作變為氣態藥劑，由高壓泵處理后，由氣態形式轉變為液態形式，重新供給到藥液供給端，起到循環使用功能；目前使用的涂布藥劑無回收系統，只有循環系統，如果藥劑供給端處于滿狀態或者不供給狀態，則會將循環的藥劑直接從廢液端口排出，對材料造成浪費，故本發明針對藥劑直接從廢液端排出的問題設計解決；

現有技術在藥劑回收中存在設計上的缺陷導致藥劑從廢液端口排出，浪費材料加之藥劑材料價格較高，藥劑采購費用較高而且每個月消耗量極大，造成公司營運費用增加。現有的循環系統沒有考量藥劑回收的狀況，僅僅是在機臺側需要使用時進行供給，在不需要使用時直接排出，造成不必要的浪費。

技術實現要素：

本發明提出的是具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，其目的是在原有的涂布機藥劑循環系統的基礎上增加藥劑回收系統，在涂布機不需要使用時，將排出的藥劑回收存放，在機臺側需要使用時進行供給，從而將藥劑有效回收，達到可控及合理利用，降低不必要的消耗，經測算單月降低成本30%，一年節省成本200萬元。

本發明的技術解決方案：具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環系統和藥劑回收系統；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥、一個氣動閥連接藥劑循環系統，藥劑回收系統的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統的輸出端連接藥劑循環系統。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經過真空干燥裝置作業后轉變為氣態形式存在，經過高壓冷卻泵工作后，轉變為液態形式形成可供使用的藥劑；

（2）當容器液位傳感器感應到4個藥劑儲存系統中的某個藥劑容器處于空狀態時，發出供給信號，供給信號控制的與空狀態的藥劑容器對應的電磁閥收到信號，控制氣動閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態的藥劑容器內進行填充作業，并通過容器供給輸出系統將藥劑輸出，通過藥液信號控制藥液供給開關控制藥劑進入光刻膠輸出口；

（3）當藥劑儲存系統不需要進行供給作業時，供給信號關閉，在信號關閉對應的管道出口處設有藥劑回收系統，通過電磁閥信號控制氣動閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲存系統中的藥劑容器內進行存儲工作；當設備端口需要藥劑時，通過信號引導閥門控制，優先將C藥劑儲存系統中的藥劑容器內藥劑供給到4個藥劑儲存系統中的藥劑容器內。

本發明的優點：增加回收系統，提高藥劑使用率，節省材料消耗，節省費用，降低公司成本。

附圖說明

附圖1是具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機的結構示意圖。

具體實施方式

如附圖1所示，具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環系統和藥劑回收系統；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥、一個氣動閥結構連接藥劑循環系統，藥劑回收系統的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統的輸出端連接藥劑循環系統。

所述的藥劑循環系統包括4個藥劑儲存系統、藥液信號控制藥液供給開關、光刻膠輸出口；其中4個藥劑儲存系統由4個并聯的電磁閥-氣動閥-電磁閥連接而成，4個藥劑儲存系統中的A-1藥劑儲存系統和A-2藥劑儲存系統分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接A藥液信號控制藥液供給開關，B-1藥劑儲存系統和B-2藥劑儲存系統分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接B藥液信號控制藥液供給開關，A藥液信號控制藥液供給開關和B藥液信號控制藥液供給開關分別連接光刻膠輸出口。

所述的藥劑回收系統包括1個C藥劑儲存系統，所述C藥劑儲存系統的輸入端通過1個氣動閥-電磁閥結構連接廢液排出口前的電磁閥，C藥劑儲存系統的輸出端通過1個電磁閥、一個氣動閥連接高壓冷卻泵的輸出端。

所述的藥劑儲存系統包括藥劑容器、容器供給輸出系統、容器液位傳感器；其中容器液位傳感器設于藥劑容器的內部，容器供給輸出系統設于藥劑容器的輸出口。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經過真空干燥裝置作業后轉變為氣態形式存在，經過高壓冷卻泵工作后，轉變為液態形式形成可供使用的藥劑；

（2）當容器液位傳感器感應到4個藥劑儲存系統中的某個藥劑容器處于空狀態時，發出供給信號，供給信號控制的與空狀態的藥劑容器對應的電磁閥收到信號，控制氣動閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態的藥劑容器內進行填充作業，并通過容器供給輸出系統將藥劑輸出，通過藥液信號控制藥液供給開關控制藥劑進入光刻膠輸出口；

（3）當藥劑儲存系統不需要進行供給作業時，供給信號關閉，在信號關閉對應的管道出口處設有藥劑回收系統，通過電磁閥信號控制氣動閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲存系統中的藥劑容器內進行存儲工作；當設備端口需要藥劑時，通過信號引導閥門控制，優先將C藥劑儲存系統中的藥劑容器內藥劑供給到4個藥劑儲存系統中的藥劑容器內。